本公開涉及光學，特別地，涉及一種光學中繼系統(tǒng)和具有其的檢測設備。

背景技術：

1、光學中繼系統(tǒng)通過對入射光束的聚焦、反射和傳輸，可以在長距離傳輸過程中對光信號進行強化和再生，提高光信號的質(zhì)量和傳輸距離。由于這種系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)長距離傳輸而不顯著損失信號質(zhì)量，因而廣泛用于顯微鏡、望遠鏡、通信領域，特別在半導體檢測領域。

2、特別地，遠心鏡頭作為一種高端的工業(yè)鏡頭，具有遠心度小、畸變小、分辨率高和沒有放大倍率的變化等優(yōu)質(zhì)的光學性能，能夠保證成像的一致性和精確度，因而適宜作為光學中繼系統(tǒng)。

3、然而，為了達到高分辨率，遠心鏡頭的光路設計(以下簡稱遠心光路)通常具有較大的數(shù)值孔徑，導致這種光路的光瞳距較小。這使得遠心鏡頭作為光學中繼系統(tǒng)時，無法在其前后加入較大尺寸的光學元件。此外，當遠心鏡頭若作為光學中繼系統(tǒng)使用時，光學畸變很難控制，而且光學加工和裝調(diào)的公差性能較為敏感。

技術實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本公開提供一種光學中繼系統(tǒng)和檢測設備，旨在提高以往的遠心光路的光瞳距小、光學畸變難以控制、光學加工和裝調(diào)的公差性能較敏感的問題。

2、一方面，本公開提供的光學中繼系統(tǒng)包括從入瞳至出瞳依次排列的物鏡光學組件和目鏡光學組件，入瞳位于物鏡光學組件的前焦面，出瞳位于目鏡光學組件的后焦面，物鏡光學組件的后焦點和目鏡光學組件的前焦點相重合。物鏡光學組件用于收集入射光束，目鏡光學組件用于準直經(jīng)過物鏡光學組件的入射光束，物鏡光學組件的光焦度與目鏡光學組件的光焦度為滿足以下關系：的關系。

3、通過對物鏡光學組件和目鏡光學組件的光焦度的合理設計，有利于提升入瞳距和出瞳距，從而有利于更加靈活地在光學中繼系統(tǒng)前后加入不同尺寸和數(shù)量的光學元件，并且有利于降低加工和和裝調(diào)的公差要求，從而降低加工和安裝的工藝難度，提升生產(chǎn)效率，降低成本。此外，通過物鏡光學組件和目鏡光學組件的光路設計和光焦度的合理配合，形成同時具有出射光束與入射光束具有高度的一致性的開普勒望遠鏡系統(tǒng)和具有高分辨率和低畸變的特點的遠心光路系統(tǒng)，確保光束傳輸過程中的穩(wěn)定性和準確性，有助于降低控制光學畸變的難度，從而有利于實現(xiàn)高效、高質(zhì)量的光束傳輸，從而為半導體的多種精確檢測提供了可能。

4、另一方面，本公開提供一種檢測設備包括上述的光學中繼系統(tǒng)，以及光源組件、光路系統(tǒng)和傳感器，以使待檢測元件被所述光源組件照射后，經(jīng)過所述光路系統(tǒng)產(chǎn)生待檢測光信號，并通過所述光學中繼系統(tǒng)的傳輸，并最終被所述傳感器接收。

技術特征：

1.一種光學中繼系統(tǒng)，其特征在于，包括：從入瞳至出瞳依次排列的物鏡光學組件和目鏡光學組件，入瞳位于所述物鏡光學組件的前焦面，出瞳位于所述目鏡光學組件的后焦面，所述物鏡光學組件的后焦點和所述目鏡光學組件的前焦點相重合，

2.根據(jù)權利要求1所述的光學中繼系統(tǒng)，所述物鏡光學組件包括從所述入瞳至所述出瞳依次排列的第一透鏡組和第二透鏡組，

3.根據(jù)權利要求2所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第一透鏡組包括光焦度為負值的第一透鏡，所述第一透鏡為彎月重火石材料，彎曲方向遠離所述入瞳方向。

4.根據(jù)權利要求2所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第一透鏡組還包括光焦度為正值的第二透鏡，所述第二透鏡設置于所述第一透鏡遠離所述入瞳方向，所述第二透鏡為彎月鑭冕牌材料，彎曲方向遠離所述入瞳方向。

5.根據(jù)權利要求2所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第一透鏡組還包括光焦度為正值的第三透鏡，所述第三透鏡設置于所述第二透鏡遠離所述入瞳方向，所述第三透鏡為平凸鑭火石材料，彎曲方向遠離所述入瞳方向。

6.根據(jù)權利要求5所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第二透鏡組包括光焦度為正值的第四透鏡，所述第四透鏡為平凸重鑭火石材料，彎曲方向朝向所述入瞳方向。

7.根據(jù)權利要求1所述的光學中繼系統(tǒng)，所述目鏡光學組件包括從所述入瞳至所述出瞳依次排列的第三透鏡組和第四透鏡組，

8.根據(jù)權利要求7所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第四透鏡組從所述出瞳至所述入瞳依次排列的光焦度為正值的第五透鏡和光焦度為正值的第六透鏡，所述第五透鏡為雙凸重鑭火石材料，所述第六透鏡為彎月重鑭火石材料，彎曲方向朝向所述出瞳方向。

9.根據(jù)權利要求8所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第四透鏡組還包括光焦度為負值的第七透鏡，所述第七透鏡設置于所述第六透鏡遠離所述出瞳一側(cè)，所述第七透鏡為平凹重火石材料，彎曲方向朝向所述出瞳方向。

10.根據(jù)權利要求9所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第四透鏡組還包括光焦度為負值的第八透鏡，所述第八透鏡設置于所述第七透鏡遠離所述出瞳一側(cè)，所述第八透鏡為雙凹冕牌材料。

11.根據(jù)權利要求7所述的光學中繼系統(tǒng)，所述第三透鏡組包括光焦度為正值的第九透鏡，所述第九透鏡為彎月重鑭火石材料，彎曲方向朝向所述入瞳方向。

12.一種檢測設備，其特征在于，所述檢測設備包括如權利要求1至11中任一項所述的光學中繼系統(tǒng)，以及光源組件、光路系統(tǒng)和傳感器，以使待檢測元件被所述光源組件照射后，經(jīng)過所述光路系統(tǒng)產(chǎn)生待檢測光信號，并通過所述光學中繼系統(tǒng)的傳輸和處理，并最終被所述傳感器接收。

技術總結(jié)
本公開提供一種光學中繼系統(tǒng)和檢測設備。光學中繼系統(tǒng)包括從入瞳至出瞳依次排列的物鏡光學組件和目鏡光學組件，入瞳位于物鏡光學組件的前焦面，出瞳位于目鏡光學組件的后焦面，物鏡光學組件的后焦點和目鏡光學組件的前焦點相重合。物鏡光學組件用于收集入射光束，目鏡光學組件用于準直經(jīng)過物鏡光學組件的入射光束，物鏡光學組件的光焦度與目鏡光學組件的光焦度為滿足以下關系：和1.1的關系。這樣設計，有利于提升入瞳距和出瞳距，從而可以更加靈活地在光學中繼系統(tǒng)前后加入不同尺寸和數(shù)量的光學元件，并且有利于降低加工和和裝調(diào)的公差要求，從而降低加工和安裝的工藝難度，還有利于降低控制光學畸變的難度。

技術研發(fā)人員：張國偉,陳建強
受保護的技術使用者：南京中安半導體設備有限責任公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/5/8