本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻，特別是涉及一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體光刻工序主要包括涂膠、曝光和顯影等過程。在批量生產(chǎn)中，涂膠和顯影通常由自動設(shè)備完成，以涂膠為例，待涂膠的基片放置于自動涂膠顯影機臺的卡塞中，運行時機械手臂將基片依次取放到對中腔室、勻膠腔室和烘烤腔室，以完成對基片的對中、勻膠和烘烤，最終機械手臂將基片傳送回卡塞，程序運行的整個過程無需人工操作，既具備了較高的產(chǎn)能，也保證了產(chǎn)品質(zhì)量。

2、然而，目前市場上普遍的自動涂膠顯影設(shè)備是適用于4寸、6寸、8寸或12寸等標(biāo)準(zhǔn)尺寸的基片樣品，以4寸涂膠顯影機臺為例，只有當(dāng)基片主體外形是直徑為100毫米的圓片且厚度滿足一定的規(guī)格時，基片才可以放置于卡塞中，通過機械手臂傳送進(jìn)行自動作業(yè)。當(dāng)基片的外形尺寸并非上述規(guī)格，如樣品外形尺寸為直徑30毫米且厚度為3毫米的基片，則無法使用，此時只能手動作業(yè)，手動作業(yè)往往產(chǎn)能較低，而且容易引入較多的顆粒物污染，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降。如果對設(shè)備進(jìn)行針對性改造，則成本較高，且改造后的設(shè)備兼容性也可能下降。因此，有必要設(shè)計一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，來解決上述問題，可以以較低成本的方式實現(xiàn)一些非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的樣品在自動涂膠顯影機臺上的自動作業(yè)，滿足批量作業(yè)對產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量的要求。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，可以以較低成本的方式實現(xiàn)一些非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的樣品在自動涂膠顯影機臺上的自動作業(yè)，滿足批量作業(yè)對產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量的要求。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下方案：

3、本發(fā)明提供一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片：包括載片主體、吸附臺、限位件；

4、所述載片主體的外形尺寸與自動涂膠顯影機臺的卡塞相匹配；

5、所述吸附臺位于所述載片主體的上表面；

6、所述限位件設(shè)置于所述載片主體的上表面，并分布于所述吸附臺的外周，所述限位件的高度高于所述吸附臺的高度；所述限位件用于對樣品進(jìn)行徑向上的限位；

7、所述吸附臺的上表面分布有通孔，所述通孔貫穿所述載片主體和所述吸附臺。

8、進(jìn)一步的，所述限位件與所述吸附臺的高度差小于所述樣品的厚度。

9、進(jìn)一步的，所述樣品位于所述限位件與所述吸附臺之間的部分懸空設(shè)置。

10、進(jìn)一步的，所述吸附臺的上表面高于所述載片主體的上表面。

11、進(jìn)一步的，在所述載片主體的上表面，圍繞所述吸附臺設(shè)置有凹槽；所述樣品位于所述限位件與所述吸附臺之間的部分懸空設(shè)置在所述凹槽內(nèi)。

12、進(jìn)一步的，還包括螺紋孔，所述螺紋孔分布于所述載片主體上表面，所述限位件通過所述螺紋孔與所述載片主體連接。

13、進(jìn)一步的，還包括有定位片，所述限位件設(shè)置于所述定位片上；所述定位片固定在所述凹槽內(nèi)；所述定位片為至少兩個薄片拼接而成。

14、進(jìn)一步的，所述定位片為玻璃、陶瓷或金屬材質(zhì)；所述載片主體為玻璃、陶瓷或金屬材質(zhì)。

15、進(jìn)一步的，所述定位片與所述載片主體通過膠水粘接固定。

16、進(jìn)一步的，所述限位件為限位柱。

17、本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù)取得了以下技術(shù)效果：

18、本發(fā)明公開的一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，通過采用在載片主體上設(shè)置吸附臺和限位件，吸附臺內(nèi)的通孔與自動涂膠顯影機臺上的真空吸盤對應(yīng)，工作時，樣品置于載片主體的吸附臺上實現(xiàn)軸向限位，限位件對樣品進(jìn)行徑向限位，自動涂膠顯影機臺上的卡塞將載片主體進(jìn)行固定，真空吸盤通過通孔將樣品牢牢吸在載片主體上，實現(xiàn)載片主體和樣品的同步旋轉(zhuǎn)，由于載片主體的外形尺寸與自動涂膠顯影機臺的卡塞相匹配，符合自動作業(yè)外形要求，載片主體上的吸附臺和限位件的配合實現(xiàn)了非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的樣品在自動涂膠顯影機臺上的自動作業(yè)，滿足批量作業(yè)對產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量的要求，同時無需對設(shè)備主體進(jìn)行改造，成本低廉。

技術(shù)特征：

1.一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：包括載片主體(1)、吸附臺(2)、限位件(4)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：所述限位件(4)與所述吸附臺(2)的高度差小于所述樣品(8)的厚度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：所述樣品(8)位于所述限位件(4)與所述吸附臺(2)之間的部分懸空設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：所述吸附臺(2)的上表面高于所述載片主體(1)的上表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：在所述載片主體(1)的上表面，圍繞所述吸附臺(2)設(shè)置有凹槽(5)；所述樣品(8)位于所述限位件(4)與所述吸附臺(2)之間的部分懸空設(shè)置在所述凹槽(5)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：還包括螺紋孔，所述螺紋孔分布于所述載片主體(1)上表面，所述限位件(4)通過所述螺紋孔與所述載片主體(1)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：還包括有定位片(6)，所述限位件(4)設(shè)置于所述定位片(6)上；所述定位片(6)固定在所述凹槽(5)內(nèi)；所述定位片(6)為至少兩個薄片(7)拼接而成。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：所述定位片(6)為玻璃、陶瓷或金屬材質(zhì)；所述載片主體(1)為玻璃、陶瓷或金屬材質(zhì)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：所述定位片(6)與所述載片主體(1)通過膠水粘接固定。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片，其特征在于：所述限位件(4)為限位柱。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種適用于自動涂膠顯影機臺作業(yè)的樣品載片：包括載片主體、吸附臺、限位件，工作時，樣品置于載片主體的吸附臺上實現(xiàn)軸向限位，限位件對樣品進(jìn)行徑向限位，自動涂膠顯影機臺上的卡塞將載片主體進(jìn)行固定，真空吸盤通過通孔將樣品牢牢吸在載片主體上，實現(xiàn)載片主體和樣品的同步旋轉(zhuǎn)，由于載片主體的外形尺寸與自動涂膠顯影機臺的卡塞相匹配，符合自動作業(yè)外形要求，實現(xiàn)了非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的樣品在自動涂膠顯影機臺上的自動作業(yè)，滿足批量作業(yè)對產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量的要求，同時無需對設(shè)備主體進(jìn)行改造，成本低廉。

技術(shù)研發(fā)人員：張一超,龐忠誠,顏吉祥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州邦齊州科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8