本發(fā)明屬于半導(dǎo)體集成電路制造，涉及一種用于組裝平板探測器的設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在醫(yī)療領(lǐng)域，常用數(shù)字x線攝影(digital?radiography，dr)平板探測器普遍使用以玻璃為基底的薄膜晶體管(thin?film?transistor，tft)作為信息采集及輸出的重要載體，但隨著dr平板探測器應(yīng)用領(lǐng)域的拓寬，dr平板探測器不再局限于始終固定在機(jī)架上使用，而是傾向于便攜式、移動(dòng)式、可攜帶式方向發(fā)展，對其重量和防跌落性能的要求更高，由此使用柔性基底tft的dr平板探測器應(yīng)運(yùn)而生，但柔性基底tft封裝前后的面收縮性存在差異，容易導(dǎo)致柔性基底tft發(fā)生翹曲，使得其承壓能力較差，相比玻璃基底tft，柔性基底tft的組裝工藝成為了最大的難點(diǎn)。

2、目前dr平板探測器的組裝方式采用手工作業(yè)方式，即通過人手將柔性基底tft與鉛橡膠固定在一起，這個(gè)過程需要手工牽引移動(dòng)、壓平等操作，容易在固定過程中出現(xiàn)柔性基底tft偏位及翹起等問題。另外，當(dāng)手指直接接觸柔性基底tft時(shí)，應(yīng)力集中在與指腹接觸的位置，受力面積小、單位面積受到的壓力較大，會(huì)導(dǎo)致柔性基底tft抗壓能力差，使得柔性基底tft器件局部收到損害，形成較大的壞點(diǎn)團(tuán)。

3、因此，如何提供一種用于組裝平板探測器的設(shè)備以降低柔性基底tft單位面積受到的壓力，避免柔性基底tft器件不被損壞，提高制備流程的穩(wěn)定性和效率，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)重要問題。

4、應(yīng)該注意，上面對技術(shù)背景的介紹只是為了方便對本申請的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的說明，并方便本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而闡述的。不能僅僅因?yàn)檫@些方案在本申請的背景技術(shù)部分進(jìn)行了闡述而認(rèn)為上述技術(shù)方案為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種用于組裝平板探測器的設(shè)備，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中手動(dòng)組裝dr平板探測器容易在固定過程中出現(xiàn)柔性基底tft偏位及翹起，且手指直接接觸柔性基底tft使得柔性基底tft受力不均，導(dǎo)致器件局部受到損害，形成較大的壞點(diǎn)團(tuán)的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種用于組裝平板探測器的設(shè)備，包括：

3、主柜體，所述主柜體中設(shè)有工作臺(tái)，且所述主柜體的一側(cè)開設(shè)有操作窗口；

4、橫移組件，包括支撐架、第一驅(qū)動(dòng)件及第一滑臺(tái)，所述支撐架包括支撐平臺(tái)及支撐腿，所述支撐平臺(tái)位于所述工作臺(tái)上方并平行于所述工作臺(tái)所在平面，所述支撐腿連接于所述支撐平臺(tái)與所述工作臺(tái)之間，所述第一驅(qū)動(dòng)件固定于所述支撐平臺(tái)上，所述第一滑臺(tái)與所述第一驅(qū)動(dòng)件連接以在所述第一驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)下沿x方向移動(dòng)，所述x方向平行于所述工作臺(tái)所在平面；

5、縱移組件，包括第二驅(qū)動(dòng)件及第二滑臺(tái)，所述第二驅(qū)動(dòng)件與所述第一滑臺(tái)固定連接，所述第二滑臺(tái)與所述第二驅(qū)動(dòng)件連接以在所述第二驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)下沿y方向移動(dòng)，所述y方向平行于所述工作臺(tái)所在平面并與所述x方向垂直；

6、升降組件，包括第三驅(qū)動(dòng)件及升降桿，所述第三驅(qū)動(dòng)件與所述第二滑臺(tái)固定連接，所述升降桿與所述第三驅(qū)動(dòng)件連接以在所述第三驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)下沿z方向移動(dòng)，所述z方向垂直于所述工作臺(tái)所在平面；

7、吸附盤，位于所述升降桿下方并與所述升降桿固定連接；

8、第一放置區(qū)及第二放置區(qū)，沿所述x方向間隔設(shè)置于所述工作臺(tái)上，且所述第一放置區(qū)和所述第二放置區(qū)內(nèi)都設(shè)有真空吸口。

9、可選地，所述吸附盤的底面設(shè)有多個(gè)真空吸嘴，每個(gè)所述真空吸嘴獨(dú)立控制以調(diào)節(jié)所述吸附盤產(chǎn)生吸力的區(qū)域。

10、可選地，所述吸附盤相互垂直的兩側(cè)設(shè)有吸嘴支架以固定所述真空吸嘴。

11、可選地，所述第一放置區(qū)相互垂直的兩側(cè)設(shè)有第一限位條，所述第二放置區(qū)相互垂直的兩側(cè)設(shè)有第二限位條。

12、可選地，所述操作窗口的兩側(cè)還固定有安全光柵。

13、可選地，還包括壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)置于所述吸附盤上以探測所述吸附盤與所述工作臺(tái)之間的壓力數(shù)值。

14、可選地，所述主柜體包括上柜體及下柜體，所述工作臺(tái)位于所述上柜體與所述下柜體之間，所述操作窗口開設(shè)于所述上柜體上。

15、可選地，還包括plc控制屏及plc設(shè)備，所述plc控制屏設(shè)置于所述上柜體的側(cè)壁內(nèi)并與所述plc設(shè)備電連接，所述plc設(shè)備設(shè)置于所述下柜體中并與所述安全光柵、所述橫移組件、所述縱移組件、所述升降組件及所述吸附盤電連接。

16、可選地，還包括電腦，所述電腦與所述plc設(shè)備電連接。

17、可選地，還包括第一ccd鏡頭及第二ccd鏡頭，所述第一ccd鏡頭設(shè)置于所述上柜體的內(nèi)頂壁上，所述第二ccd鏡頭設(shè)置于所述吸附盤的側(cè)壁上。

18、如上所述，本發(fā)明的用于組裝平板探測器的設(shè)備，包括主柜體、橫移組件、縱移組件、升降組件、吸附盤、第一放置區(qū)及第二放置區(qū)，其中，主柜體中設(shè)有工作臺(tái)，且主柜體的一側(cè)開設(shè)有操作窗口，橫移組件位沿x方向設(shè)置于工作臺(tái)上，縱移組件沿y方向與橫移組件固定連接，x方向與y方向平行于所述工作臺(tái)所在平面并相互垂直，升降組件沿z方向與縱移組件固定連接，z方向垂直于所述工作臺(tái)所在平面，吸附盤位于升降桿下方并與升降桿固定連接，第一放置區(qū)和第二放置區(qū)沿x方向間隔設(shè)置于工作臺(tái)上。本發(fā)明的用于組裝平板探測器的設(shè)備可以降低柔性基底tft單位面積受到的壓力，避免柔性基底tft器件不被損壞，提高制備流程的穩(wěn)定性和效率。

技術(shù)特征：

1.一種用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：所述吸附盤的底面設(shè)有多個(gè)真空吸嘴，每個(gè)所述真空吸嘴獨(dú)立控制以調(diào)節(jié)所述吸附盤產(chǎn)生吸力的區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：所述吸附盤相互垂直的兩側(cè)設(shè)有吸嘴支架以固定所述真空吸嘴。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：所述第一放置區(qū)相互垂直的兩側(cè)設(shè)有第一限位條，所述第二放置區(qū)相互垂直的兩側(cè)設(shè)有第二限位條。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：所述操作窗口的兩側(cè)還固定有安全光柵。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：還包括壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)置于所述吸附盤上以探測所述吸附盤與所述工作臺(tái)之間的壓力數(shù)值。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6任意一項(xiàng)所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：所述主柜體包括上柜體及下柜體，所述工作臺(tái)位于所述上柜體與所述下柜體之間，所述操作窗口開設(shè)于所述上柜體上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：還包括plc控制屏及plc設(shè)備，所述plc控制屏設(shè)置于所述上柜體的側(cè)壁內(nèi)并與所述plc設(shè)備電連接，所述plc設(shè)備設(shè)置于所述下柜體中并與所述安全光柵、所述橫移組件、所述縱移組件、所述升降組件及所述吸附盤電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：還包括電腦，所述電腦與所述plc設(shè)備電連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于組裝平板探測器的設(shè)備，其特征在于：還包括第一ccd鏡頭及第二ccd鏡頭，所述第一ccd鏡頭設(shè)置于所述上柜體的內(nèi)頂壁上，所述第二ccd鏡頭設(shè)置于所述吸附盤的側(cè)壁上。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于組裝平板探測器的設(shè)備，包括主柜體、橫移組件、縱移組件、升降組件、吸附盤、第一放置區(qū)及第二放置區(qū)，其中，主柜體中設(shè)有工作臺(tái)，且主柜體的一側(cè)開設(shè)有操作窗口，橫移組件位沿X方向設(shè)置于工作臺(tái)上，縱移組件沿Y方向與橫移組件固定連接，X方向與Y方向平行于所述工作臺(tái)所在平面并相互垂直，升降組件沿Z方向與縱移組件固定連接，Z方向垂直于所述工作臺(tái)所在平面，吸附盤位于升降桿下方并與升降桿固定連接，第一放置區(qū)和第二放置區(qū)沿X方向間隔設(shè)置于工作臺(tái)上。本發(fā)明的用于組裝平板探測器的設(shè)備可以降低柔性基底TFT單位面積受到的壓力，避免柔性基底TFT器件不被損壞，提高制備流程的穩(wěn)定性和效率。

技術(shù)研發(fā)人員：孫金虎,陳春松
受保護(hù)的技術(shù)使用者：奕瑞電子科技集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8