本申請(qǐng)涉及真空鍍膜設(shè)備，尤其涉及一種翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和真空鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、真空鍍膜設(shè)備是一種在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜設(shè)備，通過(guò)將基片與靶材同時(shí)放置在真空腔室中，以將靶材鍍到基片上。通常將靶材設(shè)置在靶體的放置面上，通過(guò)靶體的轉(zhuǎn)動(dòng)放置面的翻轉(zhuǎn)，當(dāng)靶體的放置面翻轉(zhuǎn)至真空腔室之外，從而進(jìn)行更換或放置新的靶材。

2、相關(guān)技術(shù)中用于靶材更換的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通常采用鉸鏈的方式，當(dāng)放置面水平朝上時(shí)，由于鉸鏈連接于靶材與機(jī)架中間，使得靶材在更換過(guò)程中受到鉸鏈的干涉導(dǎo)致靶材更換不方便，或者通過(guò)多個(gè)氣缸和支架結(jié)構(gòu)將機(jī)架與靶體可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，使得翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的實(shí)施例提供一種翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和真空鍍膜設(shè)備，用于達(dá)到兼顧簡(jiǎn)化翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和方便更換靶材的目的。

2、第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于真空鍍膜設(shè)備，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、靶體和氣缸，所述機(jī)架沿所述機(jī)架的高度方向的第一側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有安裝口，所述機(jī)架具有支撐部；所述靶體包括在第一方向上相對(duì)的第一端部和第二端部，所述第一端部通過(guò)第一轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述第一側(cè)壁上，使得所述靶體在第一位置和第二位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)以靠近和遠(yuǎn)離所述安裝口；所述靶體沿所述靶體厚度方向且靠近所述第一側(cè)壁的一邊具有供靶材放置的放置面；所述第一方向垂直于所述靶體的厚度方向；所述氣缸活動(dòng)鉸接于所述機(jī)架的第一表面與所述靶體之間；沿所述高度方向，所述第一表面位于所述第一側(cè)壁與所述第一轉(zhuǎn)軸連接處的下方；所述靶體處于所述第一位置時(shí)，所述氣缸的輸出桿伸長(zhǎng)至最長(zhǎng)位置，所述靶體止擋于所述安裝口處，所述放置面豎直位于所述機(jī)架之內(nèi)；所述靶體處于所述第二位置時(shí)，所述輸出桿收縮至最短位置，所述靶體與所述支撐部相抵接，所述靶體在支撐部向上的支撐力作用下相對(duì)所述機(jī)架固定，所述放置面與所述高度方向相交，所述放置面朝上。

3、在一些實(shí)施例中，所述靶體處于第二位置時(shí)，所述放置面與所述高度方向相垂直。

4、在一些實(shí)施例中，所述第二端部的邊緣開(kāi)設(shè)有桿避讓槽；所述桿避讓槽在所述第一方向上的一端開(kāi)口，另一端封閉；所述第一側(cè)壁上設(shè)有定位桿，所述靶體處于所述第一位置時(shí)，所述定位桿經(jīng)所述開(kāi)口位于所述桿避讓槽中，以限制所述靶體沿第二方向的移動(dòng)，所述第二方向、所述第一方向與所述靶體的厚度方向兩兩相垂直。

5、在一些實(shí)施例中，所述靶體包括靶本體和套設(shè)于所述靶本體上的承載框，所述承載框沿所述第一方向具有所述第一端部和所述第二端部；所述承載框遠(yuǎn)離所述放置面的一側(cè)架設(shè)有支架，所述支架上設(shè)有氣缸頂座，所述輸出桿與所述氣缸頂座通過(guò)第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二轉(zhuǎn)軸與所述第二方向相平行；所述第一表面上設(shè)有氣缸底座，所述氣缸遠(yuǎn)離所述輸出桿的一端與所述氣缸底座鉸接。

6、在一些實(shí)施例中，所述支架沿所述第二方向架設(shè)于所述承載框的所述第一端部與所述第二端部之間的中部位置。

7、在一些實(shí)施例中，所述第二端部與所述第一側(cè)壁通過(guò)緊固件可拆卸固定連接。

8、在一些實(shí)施例中，所述第一側(cè)壁上設(shè)有兩個(gè)連接座，所述連接座沿第二方向間隔設(shè)置，所述連接座上開(kāi)設(shè)有貫穿所述連接座的貫穿孔，所述貫穿孔的軸向與所述第二方向相平行，所述第二方向、所述第一方向與所述靶體的厚度方向兩兩相垂直；所述第一端部位于兩個(gè)所述連接座之間，所述第一轉(zhuǎn)軸與所述第一端部固定連接，所述第一轉(zhuǎn)軸伸入所述貫穿孔中與所述連接座轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

9、在一些實(shí)施例中，所述第一端部間隔設(shè)有兩個(gè)連接耳，兩個(gè)所述連接耳與兩個(gè)所述連接座一一對(duì)應(yīng)。

10、在一些實(shí)施例中，所述機(jī)架包括基座和沿所述高度方向設(shè)置于所述基座上的真空腔室，所述真空腔室具有所述第一側(cè)壁；所述基座沿所述高度方向遠(yuǎn)離所述真空腔室的底面所在平面為所述第一表面，所述第一表面與所述高度方向相垂直；所述機(jī)架還包括設(shè)置于所述第一表面上的輔助座，沿所述靶體的厚度，所述輔助座位于所述基座與所述氣缸與所述機(jī)架連接處之間，所述輔助座遠(yuǎn)離所述第一表面的一側(cè)表面為所述支撐部。

11、在一些實(shí)施例中，所述輔助座遠(yuǎn)離第一表面的一側(cè)表面上開(kāi)設(shè)有用于避讓所述氣缸的氣缸避讓槽，所述氣缸避讓槽沿所述靶體的厚度方向貫穿所述輔助座，所述氣缸避讓槽位于所述氣缸的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡上，所述氣缸避讓槽的槽口端面為所述支撐部。

12、在一些實(shí)施例中，所述靶體遠(yuǎn)離所述放置面的一側(cè)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐桿，所述靶體處于所述第一位置和所述第二位置時(shí)，所述支撐桿與所述高度方向相平行；所述靶體處于所述第二位置時(shí)，沿所述高度方向，所述輔助座的高度與所述支撐桿的長(zhǎng)度之和等于所述第一轉(zhuǎn)軸與所述第一表面之間的高度。

13、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通過(guò)氣缸活動(dòng)鉸接于機(jī)架的第一表面與靶體之間，當(dāng)氣缸的輸出桿在伸長(zhǎng)至最長(zhǎng)位置與縮短至最短位置時(shí)，靶體的第一端部能夠繞第一轉(zhuǎn)軸相對(duì)機(jī)架在第一位置和第二位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；靶體處于第一位置時(shí)，靶體止擋于機(jī)架的安裝口處，同時(shí)放置面位于機(jī)架內(nèi)，此時(shí)可以對(duì)放置于放置面上的靶材進(jìn)行加工；當(dāng)需要更換放置面上的靶材時(shí)，氣缸的輸出桿回縮，靶體的第一端部能夠在自身重力作用下繞第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，直至靶材與機(jī)架的支撐部相抵接，此時(shí)體在支撐部向上的支撐力的作用下止擋于支撐部使得體相對(duì)于機(jī)架固定，此時(shí)靶體的放置面相對(duì)于高度方向傾斜或者垂直且放置面朝上，這樣用戶可以對(duì)位于靶體放置面上方的靶材進(jìn)行更換。本申請(qǐng)技術(shù)方案中的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易操作，便于用戶對(duì)靶材進(jìn)行更換。

14、第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例還提供了一種真空鍍膜設(shè)備，包括如第一方面所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

15、本申請(qǐng)實(shí)施例中的真空鍍膜設(shè)備中的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與第一方面中的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)及所取得的技術(shù)效果相同，在此不再贅述。

技術(shù)特征：

1.一種翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求2～5中任一項(xiàng)所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

12.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括：如權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了一種翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和真空鍍膜設(shè)備，涉及真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，該翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、靶體和氣缸，機(jī)架沿高度方向的第一側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有安裝口，機(jī)架具有支撐部；靶體包括在第一方向上第一端部和第二端部，第一端部通過(guò)第一轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第一側(cè)壁上，使得靶體在第一位置和第二位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)以靠近和遠(yuǎn)離安裝口；靶體具有供靶材放置的放置面；氣缸活動(dòng)鉸接于機(jī)架的第一表面與靶體之間；靶體處于第一位置時(shí)，氣缸的輸出桿伸長(zhǎng)至最長(zhǎng)位置，靶體止擋于安裝口處，放置面豎直位于機(jī)架之內(nèi)；靶體處于第二位置時(shí)，輸出桿收縮至最短位置，靶體至與支撐部相抵接，靶體相對(duì)機(jī)架固定，放置面與高度方向相交，放置面朝上。

技術(shù)研發(fā)人員：吳志堅(jiān),夏健全,胡蓓雷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市星海威真空設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240725
技術(shù)公布日：2025/5/8