本技術(shù)涉及晶體生長爐，尤其涉及一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置。

背景技術(shù)：

1、晶體生長方法及設備對制備出晶體的品質(zhì)有至關重要的影響。常見的晶體生長方法有布里奇曼法、區(qū)域熔煉法、提拉法、熱交換法、澆鑄法等。當前實現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)的晶體主要為單晶硅、多晶硅，多晶硅鑄錠爐的優(yōu)化主要集中在鑄錠爐尺寸的擴大及熱場的優(yōu)化設計，而當前熱場的優(yōu)化設計主要是從加熱器形狀、布置位置及保溫隔熱籠的優(yōu)化設計等角度出發(fā)。

2、中國專利公開號cn219430188u，公開時間20230728，公開了一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，包括主爐體，所述主爐體的內(nèi)部固定連接有壓力管，所述壓力管的側(cè)部固定連接有壓力表，所述壓力管的側(cè)部固定連接有壓力控制閥，所述壓力管遠離主爐體的一端固定連接有凈化管，所述凈化管的頂端內(nèi)部固定連接有霧狀導液環(huán)，所述凈化管的頂端固定連接有導液管，所述凈化管的底端側(cè)部固定連接有筒蓋，所述筒蓋的底部固定連接有過濾筒，所述過濾筒的內(nèi)部中部固定連接有過濾板，所述過濾板的內(nèi)部固定連接有通氣管，所述通氣管的頂部固定連接有活性炭吸附板，所述活性炭吸附板的頂部固定連接有吸氣管。

3、諸如上述現(xiàn)有的晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置是通過蓋控制電機與蓋軸的配合來實現(xiàn)蓋體的翻轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)主爐體的打開，在具體實施過程中，由于籽晶安裝塊需要延伸到反應坩堝內(nèi)，翻轉(zhuǎn)方式打開的蓋體容易初選籽晶安裝塊與反應坩堝碰撞的狀況，故而亟待提出相應的晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置來解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于：為了解決上述問題，而提出的一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

3、一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，包括主爐體、蓋體、凈化組件與籽晶安裝塊，所述主爐體底部固定安裝有底板，所述蓋體頂部通過頂架固定安裝有推動缸，所述推動缸輸出端固定安裝有轉(zhuǎn)動件，且所述轉(zhuǎn)動件輸出端與籽晶安裝塊固定連接，所述主爐體外表壁固定安裝有側(cè)座，所述側(cè)座與蓋體之間設置有用于蓋體豎直移動的開啟組件。

4、優(yōu)選地，所述側(cè)座外表壁固定安裝有連接架，所述連接架呈t型結(jié)構(gòu)，且所述連接架通過鎖緊桿與主爐體固定連接，所述連接架內(nèi)部過盈配合有橡膠塊，所述橡膠塊與鎖緊桿外表壁相抵接。

5、優(yōu)選地，所述開啟組件包括有與側(cè)座底部固定連接的驅(qū)動件，所述驅(qū)動件輸出端固定安裝有螺桿，所述螺桿外表壁旋合連接有與側(cè)座內(nèi)表壁滑動配合的移動座，且所述移動座開放端與蓋體外表壁固定連接。

6、優(yōu)選地，所述側(cè)座底部固定安裝有底架，且所述底架底部與底板底部位于同一水平面。

7、優(yōu)選地，所述蓋體豎直端底部固定安裝有插環(huán)，所插環(huán)通過卡槽插接在主爐體頂部，且所述卡槽內(nèi)部填充有密封墊圈。

8、優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)動件外表壁固定安裝有滑套，且所述滑套內(nèi)表壁與頂架豎直端外表壁滑動連接。

9、綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是：

10、1、本申請中，將反應物放置于反應坩堝的內(nèi)部，將籽晶固定于籽晶安裝塊的側(cè)部，驅(qū)動件帶動傳動桿轉(zhuǎn)動，傳動桿通過與移動座的旋合而帶動移動座與蓋體進行豎直移動，直至蓋體與主爐體穩(wěn)定結(jié)合，氣體通過凈化組件完成凈化之后導入到主爐體，在通過推動缸轉(zhuǎn)動件下行，直至籽晶安裝塊伸入到反應坩堝，最后通過轉(zhuǎn)動件帶動籽晶安裝塊轉(zhuǎn)動，使晶體成柱狀生長，以此保證了反應過程穩(wěn)定進行的同時，通過外設的驅(qū)動件配合上螺桿與移動座實現(xiàn)蓋體的豎直打開，避免了籽晶安裝塊與反應坩堝的碰撞，從而提高了晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置使用的穩(wěn)定性。

11、2、本申請中，側(cè)座是通過連接架與鎖緊桿的配合實現(xiàn)與主爐體的固定，以此實現(xiàn)了側(cè)座與主爐體的可拆卸連接，從而使得側(cè)座拆裝的便捷，同時側(cè)座底部固定連接的底架保持與底板底部位于同一水平面，以此使得主爐體整體受力均勻。

技術(shù)特征：

1.一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，包括主爐體(1)、蓋體(3)、凈化組件(4)與籽晶安裝塊(18)，其特征在于，所述主爐體(1)底部固定安裝有底板(2)，所述蓋體(3)頂部通過頂架(9)固定安裝有推動缸(10)，所述推動缸(10)輸出端固定安裝有轉(zhuǎn)動件(11)，且所述轉(zhuǎn)動件(11)輸出端與籽晶安裝塊(18)固定連接，所述主爐體(1)外表壁固定安裝有側(cè)座(5)，所述側(cè)座(5)與蓋體(3)之間設置有用于蓋體(3)豎直移動的開啟組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述側(cè)座(5)外表壁固定安裝有連接架(7)，所述連接架(7)呈t型結(jié)構(gòu)，且所述連接架(7)通過鎖緊桿(13)與主爐體(1)固定連接，所述連接架(7)內(nèi)部過盈配合有橡膠塊(14)，所述橡膠塊(14)與鎖緊桿(13)外表壁相抵接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述開啟組件包括有與側(cè)座(5)底部固定連接的驅(qū)動件(12)，所述驅(qū)動件(12)輸出端固定安裝有螺桿(15)，所述螺桿(15)外表壁旋合連接有與側(cè)座(5)內(nèi)表壁滑動配合的移動座(8)，且所述移動座(8)開放端與蓋體(3)外表壁固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述側(cè)座(5)底部固定安裝有底架(6)，且所述底架(6)底部與底板(2)底部位于同一水平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述蓋體(3)豎直端底部固定安裝有插環(huán)(17)，所插環(huán)(17)通過卡槽插接在主爐體(1)頂部，且所述卡槽內(nèi)部填充有密封墊圈(16)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動件(11)外表壁固定安裝有滑套，且所述滑套內(nèi)表壁與頂架(9)豎直端外表壁滑動連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置，包括主爐體、蓋體、凈化組件與籽晶安裝塊。本申請中，將籽晶固定于籽晶安裝塊的側(cè)部，驅(qū)動件帶動傳動桿轉(zhuǎn)動，傳動桿通過與移動座的旋合而帶動移動座與蓋體進行豎直移動，直至蓋體與主爐體穩(wěn)定結(jié)合，氣體通過凈化組件完成凈化之后導入到主爐體，在通過推動缸轉(zhuǎn)動件下行，直至籽晶安裝塊伸入到反應坩堝，最后通過轉(zhuǎn)動件帶動籽晶安裝塊轉(zhuǎn)動，使晶體成柱狀生長，以此保證了反應過程穩(wěn)定進行的同時，通過外設的驅(qū)動件配合上螺桿與移動座實現(xiàn)蓋體的豎直打開，避免了籽晶安裝塊與反應坩堝的碰撞，從而提高了晶體生長爐爐壓穩(wěn)定裝置使用的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：孫志剛,毛克勤
受保護的技術(shù)使用者：寧波志方新材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240218
技術(shù)公布日：2024/11/21