本技術(shù)屬于傳感器，具體涉及一種傳感器及車輛。

背景技術(shù)：

1、tpms(tire?pressure?monitoring?system，輪胎氣壓監(jiān)測系統(tǒng))作用是在車輛行駛過程中對輪胎氣壓進行實時自動監(jiān)測，并對輪胎漏氣和低氣壓進行報警，以確保行車安全。

2、輪胎氣壓監(jiān)測系統(tǒng)常用mems(microelectro?mechanical?systems，微電機系統(tǒng))傳感器，其包括氣壓傳感器和加速度傳感器，其中，氣壓傳感器檢測輪胎的壓力，使得控制端根據(jù)數(shù)值進行預警判斷，加速度傳感器實時檢測車輪加速度，并將信號傳遞給控制端以便汽車產(chǎn)生相應的動作，提高行車的安全性。

3、然而相關(guān)技術(shù)中的傳感器無法同時測量壓力及加速度，傳感器的功能集成度較低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型實施例的目的是提供一種傳感器及車輛，能夠解決相關(guān)技術(shù)中傳感器無法同時測量壓力及加速度的問題。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是這樣實現(xiàn)的：

3、第一方面，本實用新型實施例提供了一種傳感器，包括：

4、蓋板，所述蓋板內(nèi)開設有透氣通道及進氣通道，所述透氣通道的一端和所述進氣通道的一端均與外界連通；

5、第一檢測芯片，所述第一檢測芯片設置于所述蓋板內(nèi)，所述第一檢測芯片的一側(cè)與所述蓋板形成真空腔體，所述第一檢測芯片的另一側(cè)與所述進氣通道的另一端連通；

6、第二檢測芯片，所述第二檢測芯片設置于所述蓋板內(nèi)，所述第二檢測芯片與所述透氣通道的另一端連通。

7、可選地，所述蓋板包括第一蓋板及第二蓋板；

8、所述第一蓋板與所述第二蓋板扣合形成容置空間，所述第一檢測芯片與所述第二檢測芯片設置于所述容置空間內(nèi)；

9、所述第一蓋板和/或所述第二蓋板內(nèi)開設有所述透氣通道。

10、可選地，所述第一蓋板的上表面和/或所述第二蓋板的下表面開設有所述透氣通道，所述透氣通道由所述第一蓋板的上表面或所述第二蓋板的下表面延伸至所述第二檢測芯片。

11、可選地，所述第一蓋板的側(cè)面和/或所述第二蓋板的側(cè)面開設有所述透氣通道，所述透氣通道由所述第一蓋板的側(cè)面或所述第二蓋板的側(cè)面延伸至所述第二檢測芯片。

12、可選地，所述第一檢測芯片包括膜片與第一檢測電路；

13、所述膜片的一側(cè)朝向所述真空腔體，所述膜片的另一側(cè)具有凹槽，且所述凹槽與所述進氣通道連通，所述第一檢測電路與所述膜片電連接。

14、可選地，所述第二檢測芯片包括質(zhì)量塊、第二檢測電路及至少一個懸臂梁；

15、所述質(zhì)量塊的至少一側(cè)連接有一個所述懸臂梁的一端，所述懸臂梁的另一端固定于所述蓋板，所述第二檢測芯片在所述懸臂梁處形成振動間隙，所述第二檢測電路與所述懸臂梁電連接。

16、可選地，所述質(zhì)量塊兩相對側(cè)各連接有一個所述懸臂梁。

17、可選地，所述第二檢測芯片的至少部分與所述蓋板間隔設置以形成封裝間隙。

18、可選地，所述蓋板朝向所述第一檢測芯片處內(nèi)凹，與所述第一檢測芯片形成所述真空腔體。

19、可選地，所述第一檢測芯片與所述第二檢測芯片為同一結(jié)構(gòu)層上形成的蝕刻結(jié)構(gòu)。

20、可選地，所述透氣通道為微透氣通道。

21、可選地，所述第一檢測電路包括四個第一壓敏電阻電連接組成的惠斯通電橋。

22、可選地，所述第二檢測電路包括四個第二壓敏電阻電連接組成的惠斯通電橋。

23、第二方面，本實用新型實施例還提供了一種車輛，包括上述任一項所述的傳感器。

24、本實用新型實施例所提供的傳感器包括蓋板、第一檢測芯片及第二檢測芯片。第一檢測芯片及第二檢測芯片設置于蓋板內(nèi)。第一檢測芯片的一側(cè)與蓋板形成真空腔體，第一檢測芯片的另一側(cè)與蓋板上的進氣通道連通，進氣通道內(nèi)輸入外界氣體，使得第一檢測芯片的兩側(cè)之間產(chǎn)生壓力差，在壓差驅(qū)動下，第一檢測芯片的膜片發(fā)生運動，芯片上的電阻隨之發(fā)生變化，用于檢測到氣壓數(shù)據(jù)。在加速度變化時，第二檢測芯片內(nèi)部發(fā)生形變振動，芯片上的電阻隨之發(fā)生變化，檢測到加速度數(shù)據(jù)。而由于第二檢測芯片與透氣通道連通，氣流在透氣通道中流動，使得第二檢測芯片在振動過程中與氣流之間產(chǎn)生摩擦而增加阻尼，利于第二檢測芯片在感知加速度變化而產(chǎn)生振動后的快速復位，提升測量復位的及時性。本實用新型將壓力檢測功能和加速度檢測功能集成于同一傳感器中，可同時測量氣壓值和加速度值，提升了傳感器的功能集成度，同時簡化了傳感器的結(jié)構(gòu)復雜度。

25、本實用新型實施例所提供的車輛，使用上述實施例所提供的傳感器，可在車輛行駛過程中，同時測量輪胎氣壓值和加速度值，提高了車輛輪胎氣壓監(jiān)測系統(tǒng)的功能集成度，并根據(jù)氣壓值和加速度值控制車輛產(chǎn)生相應動作，提高行車的安全性。

26、上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉本實用新型的具體實施方式。

技術(shù)特征：

1.一種傳感器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述蓋板包括第一蓋板及第二蓋板；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述第一蓋板的上表面和/或所述第二蓋板的下表面開設有所述透氣通道，所述透氣通道由所述第一蓋板的上表面或所述第二蓋板的下表面延伸至所述第二檢測芯片。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器，其特征在于，所述第一蓋板的側(cè)面和/或所述第二蓋板的側(cè)面開設有所述透氣通道，所述透氣通道由所述第一蓋板的側(cè)面或所述第二蓋板的側(cè)面延伸至所述第二檢測芯片。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第一檢測芯片包括膜片與第一檢測電路；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第二檢測芯片包括質(zhì)量塊、第二檢測電路及至少一個懸臂梁；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器，其特征在于，所述質(zhì)量塊的兩相對側(cè)各連接有一個所述懸臂梁。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第二檢測芯片的至少部分與所述蓋板間隔設置以形成封裝間隙。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述蓋板朝向所述第一檢測芯片處內(nèi)凹，與所述第一檢測芯片形成所述真空腔體。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述第一檢測芯片與所述第二檢測芯片為同一結(jié)構(gòu)層上形成的蝕刻結(jié)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述透氣通道為微透氣通道。

12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器，其特征在于，所述第一檢測電路包括四個第一壓敏電阻電連接組成的惠斯通電橋。

13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器，其特征在于，所述第二檢測電路包括四個第二壓敏電阻電連接組成的惠斯通電橋。

14.一種車輛，其特征在于，包括權(quán)利要求1至13任一項所述的傳感器。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種傳感器及車輛。傳感器包括蓋板、第一檢測芯片及第二檢測芯片，蓋板內(nèi)開設有透氣通道及進氣通道，透氣通道的一端和進氣通道的一端均與外界連通；第一檢測芯片設置于蓋板內(nèi)，第一檢測芯片的一側(cè)與蓋板形成真空腔體，第一檢測芯片的另一側(cè)與進氣通道的另一端連通；第二檢測芯片設置于蓋板內(nèi)，第二檢測芯片與透氣通道的另一端連通。本技術(shù)的第二檢測芯片與透氣通道連通而內(nèi)外壓力平衡，增加振動過程中的阻尼，利于第二芯片振動后的快速復位。將壓力檢測功能和加速度檢測功能集成于同一傳感器中，可同時測量氣壓值和加速度值，提升了傳感器的功能集成度，同時簡化了傳感器的結(jié)構(gòu)復雜度。

技術(shù)研發(fā)人員：張倩,呂飄萍,賀曉旭,劉國寧,何閔
受保護的技術(shù)使用者：比亞迪半導體股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240229
技術(shù)公布日：2024/11/21