涂布噴頭、具有該涂布噴頭的涂布裝置及其涂布方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在玻璃基板或者其它被處理物的表面上涂布如光阻或者其它涂布液的涂布噴頭，以及具有該涂布噴頭的涂布裝置及其涂布方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在平板顯示器的制作過程中，通常采用具有狹縫式噴嘴的涂布噴頭在大尺寸玻璃基板上進行光阻涂布。光阻由狹縫式噴嘴吐出，在玻璃基板表面上形成均勻的光阻膜。圖1a是現(xiàn)有技術(shù)中的涂布噴頭的立體圖，圖1b是現(xiàn)有技術(shù)的涂布噴頭的立體分解圖。如圖1a和圖1b所示，現(xiàn)有的涂布噴頭100由左主體110和右主體120構(gòu)成，右主體120的對接面121形成為平面，涂布液輸入孔190在右主體120的中間位置上沿寬度方向貫穿右主體120而形成，同時，左主體110的中間位置上形成有沿長度方向延伸的涂布液蓄積槽130，如圖1b中示出的對接面113被涂布液蓄積槽130劃分為上對接面141和下對接面142。上對接面141可形成在涂布液蓄積槽130的上方，以與右主體120的對接面121接合。下對接面142可形成在涂布液蓄積槽130的下方并相對于上對接面141沿寬度方向被更多地研磨，以與右主體120的對接面121形成狹縫式噴出口 160。涂布噴頭100的兩側(cè)端部通過側(cè)板170和180被不透液地封閉。
[0003]圖2是具有圖1a中示出的涂布噴頭的涂布裝置。涂布噴頭100固定在支撐架210上，支撐架210可通過自身所帶的行走軸211沿X方向運動，同時帶動涂布噴頭100沿X方向運動。在涂布噴頭100運動的同時，固定于支撐架210上的送液栗220將光阻注入到涂布噴頭100中，涂布噴頭100的噴出口 160噴出光阻，對放置在承載臺230上的玻璃基板進行涂布。
[0004]如圖2中示出的，現(xiàn)有技術(shù)中的涂布裝置只能實現(xiàn)對玻璃基板的整板涂布，也就是說，利用同一塊玻璃基板只能生產(chǎn)相同尺寸的產(chǎn)品。然而，為了提高玻璃基板的利用率，當利用同一塊玻璃基板生產(chǎn)不同尺寸的產(chǎn)品時，目前通常采用混合排列模式(Mult1-ModelGlass)進行切割，S卩，對玻璃基板進行大尺寸切割后，剩余的空白部分進行小尺寸切割，但是現(xiàn)有技術(shù)中的同一涂布裝置無法對采用混合排列模式的整個玻璃基板進行涂布。另外，隨著技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了區(qū)域涂布的需求。即，以往只要通過涂布裝置對玻璃基板進行整體涂布即可，但是近來玻璃基板被劃分成不同的區(qū)域，有些區(qū)域需要涂布，而有些區(qū)域則不需要涂布。此外，隨著制造行業(yè)的發(fā)展，機械設(shè)備逐漸朝向小型化和纖薄化方向發(fā)展，同時也對機械設(shè)備的多功能性提出了更高的要求。也就是說，同一機械設(shè)備應(yīng)能根據(jù)產(chǎn)品的要求(例如，尺寸要求)進行生產(chǎn)而盡量不更換機械設(shè)備。例如，同一機械設(shè)備應(yīng)能根據(jù)產(chǎn)品尺寸的變化而生產(chǎn)不同尺寸的產(chǎn)品。然而，現(xiàn)有的涂布裝置比較單一和固定，因此，如何增加涂布裝置的功能性，也是亟需解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供了一種涂布噴頭，所述涂布噴頭由左主體和右主體結(jié)合而成，在所述左主體和所述右主體中的至少一個主體的對接面上形成有決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部，所述涂布噴頭還包括可拆卸地安裝在所述左主體的對接面與所述右主體的對接面之間的至少一個分隔件，所述至少一個分隔件位于所述凹部以將所述涂布噴頭分隔成多個子涂布噴頭并通過調(diào)節(jié)所述至少一個分隔件的位置來調(diào)節(jié)所述多個子涂布噴頭的涂布面積。
[0006]所述左主體和右主體中的一個主體中形成有沿寬度方向貫穿所述一個主體的多個第一螺紋孔，所述至少一個分隔件中形成有至少一個第二螺紋孔，以通過連接螺釘將所述至少一個分隔件固定連接到所述一個主體的對接面。
[0007]所述左主體和所述右主體中分別形成有沿寬度方向貫穿所述左主體和所述右主體的多個第一螺紋孔，所述至少一個分隔件中形成有沿寬度方向貫穿所述至少一個分隔件的至少一個第二螺紋孔，以通過連接螺釘將所述至少一個分隔件固定連接到所述左主體和所述右主體之間。
[0008]所述多個第一螺紋孔沿長度方向排列，未使用的第一螺紋孔使用螺釘鎖閉。
[0009]所述多個第一螺紋孔沿長度方向等距排列。
[0010]在形成有所述凹部的對接面上，在所述凹部上方形成涂布液蓄積槽，所述至少一個分隔件的頂部位于該涂布液蓄積槽之下。
[0011]形成有所述凹部的主體的頂部形成有與所述涂布液蓄積槽連通的涂布液輸入孔，用于注入涂布液。
[0012]所述至少一個分隔件的與所述左主體的對接面和所述右主體的對接面中的至少一個對接面接合的接合面上附著有可防酸性腐蝕且彈性良好的橡膠貼膜。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一方面，還提供了一種涂布裝置，所述涂布裝置包括:承載臺，承載被處理物；涂布噴頭，向被處理物噴涂涂布液；支撐架，支撐所述涂布噴頭并帶動所述涂布噴頭水平運動；送液栗，抽取涂布液并將涂布液注入到所述涂布噴頭中；控制系統(tǒng)，控制所述支撐架的運動以及調(diào)節(jié)所述送液栗的吐液速率；其中，所述涂布噴頭使用上述的涂布噴頭。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，還提供了一種使用上述的涂布裝置對被處理物進行涂布的涂布方法，所述方法包括:將至少一個分隔件螺釘連接到涂布噴頭的左主體和右主體之間；將待涂布的被處理物置于承載臺上；將涂布噴頭的分隔件與被處理物上的涂布區(qū)域的分界帶對齊；確定送液栗的吐液速率；控制支撐架運動，從而帶動所述涂布噴頭沿著水平方向運動，以實現(xiàn)對所述被處理物的涂布。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，可通過調(diào)節(jié)分隔件的安裝位置來調(diào)節(jié)涂布噴頭的子涂布噴頭的噴涂面積，從而可使用同一涂布噴頭對不同的涂布區(qū)域進行涂布而無需更換涂布噴頭。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，可通過調(diào)節(jié)分隔件的個數(shù)來調(diào)節(jié)子涂布噴頭的個數(shù)，從而可使用同一涂布噴頭對不同個數(shù)的涂布區(qū)域進行涂布。而且，可通過安裝不同長度的分隔件以及調(diào)節(jié)安裝數(shù)量，可以調(diào)節(jié)涂布區(qū)域的數(shù)量以及噴涂面積。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，由于涂布液蓄積槽未被分隔件隔開，因此只需要設(shè)置一個涂布液輸入孔即可，簡化了涂布噴頭的結(jié)構(gòu)。此外，由于分隔件通過連接螺釘可拆卸地安裝在左主體的對接面與右主體的對接面之間，因此無需在左主體和右主體上形成用于安裝分隔件的構(gòu)件，即使調(diào)節(jié)分隔件的位置，也不會對涂布液的流動產(chǎn)生不良影響。
【附圖說明】
[0016]圖1a是現(xiàn)有技術(shù)中的涂布噴頭的立體圖；
[0017]圖1b是現(xiàn)有技術(shù)中的涂布噴頭的立體分解圖；
[0018]圖2是具有圖1a中示出的涂布噴頭的涂布裝置的示意圖；
[0019]圖3a是根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭的立體分解圖；
[0020]圖3b是根據(jù)本發(fā)明的實施例的移除了側(cè)板的涂布噴頭的側(cè)視圖；
[0021]圖4是具有圖3a中示出的涂布噴頭的涂布裝置的示意圖；
[0022]圖5是使用圖3a中示出的涂布噴頭涂布被處理物的示意圖。
【具體實施方式】
[0023]在下文中，將參照附圖詳細地描述本發(fā)明的實施例。
[0024]然而，本發(fā)明可以以多種不同的形式實施，而不應(yīng)該被解釋為局限于闡述于此的實施例。更確切地說，提供這些實施例僅是為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員易于理解本發(fā)明。
[0025]在附圖中，為了清楚起見，可能夸大了元件的形狀和尺寸，并且相同的標號將始終用于指示相同或相似的元件。
[0026]為了描述的方便，首先對方向進行定義。在附圖中，X方向指的是長度方向，Y方向指的是寬度方向，Z方向指的是高度方向。
[0027]下面，將參照圖3a和圖3b詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭300。
[0028]圖3a是根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭300的立體分解圖；圖3b是根據(jù)本發(fā)明的實施例的移除了側(cè)板370和380的涂布噴頭300的側(cè)視圖。
[0029]如圖3a和圖3b所示，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭300可由左主體310和右主體320構(gòu)成。下面，將對左主體310和右主體320進行詳細的描述。
[0030]如圖3a所示，左主體310的對接面311上可形成有涂布液蓄積槽330，涂布液蓄積槽330可沿寬度方向從對接面311內(nèi)凹一定深度并沿長度方向延伸至左主體310的兩端，以對注入到涂布噴頭300中的涂布液進行緩沖，從而保證涂布液的流動性以及實現(xiàn)均勻涂布。此外，圖3a中示出的對接面311被涂布液蓄積槽330劃分為上對接面341和下對接面342。上對接面341可形成在涂布液蓄積槽330的上方，以與右主體320接合。下對接面342可形成在涂布液蓄積槽330的下方并相對于上對接面341沿寬度方向被更多地研磨(即，下對接面342部分呈凹部)，以與右主體320形成狹縫式噴出口 360 (將在下面描述)。此夕卜，左主體310的頂部可形成有與涂布液蓄積槽330連通的涂布液輸入孔312，以注入涂布液。
[0031]右主體320的對接面321形成為平面，以更好地與左主體310的上對接面341接合。當左主體310的上對接面341與右主體120的對接面321完全接合時，左主體310的下對接面342與右主體320的對接面321之間形成間隙，所述間隙決定涂布噴頭300的狹縫式噴出口 360 (見圖3b)的寬度尺寸。此外，右主體320中形成有沿寬度方向貫穿右主體320的多個第一螺紋孔322。所述多個第一螺紋孔322優(yōu)選為沿長度方向等距排列。優(yōu)選地，第一螺紋孔322可以沿長度方向從右主體320的一端布置到右主體320的另一端。優(yōu)選地，第一螺紋孔322可排成兩行(如圖3a所示)。此外，在左主體310和右主體320完全接合的狀態(tài)下，由于涂布液蓄積槽330的存在以及上述形成的狹縫式噴出口 360導(dǎo)致在涂布噴頭300的兩端形成有開口，因此，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭還包括側(cè)板370和380，用于分別不透液地封閉所述開口。在本發(fā)明的實施例中，側(cè)板370和380可由樹脂等疏水性材料構(gòu)成，但是不限于此，只要能夠不透液地封閉所述開口即可。另外，側(cè)板370和380可通過螺釘或者黏結(jié)劑分別固定到左主體310和右主體320的兩端。在此，側(cè)板370和380并非是必須的，可以在左主體310的對接面311上，在長度方向兩端形成凸臺，鎖閉涂布液蓄積槽330和狹縫式噴出口 360，防止涂布液泄露，或者可以在右主體320的對接面321上形成類似結(jié)構(gòu)，