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一種仿壁虎結(jié)構(gòu)粘合劑的制備方法本發(fā)明涉及一種仿壁虎腳微陣列的制備方法。在仿生學(xué)備受關(guān)注的當(dāng)今，一些動物的特殊性能使人們驚訝，例如壁虎、蚊子、蒼蠅等超強的吸、脫附能力。研究壁虎腳掌的結(jié)構(gòu)及受力機理，借鑒其腳掌黏附的黏附機制，制造出仿壁虎微結(jié)構(gòu)材料，并依此研制的仿壁虎機器人在故障檢測、...

MEMS模塊及基于該模塊的控制系統(tǒng)本發(fā)明涉及通信領(lǐng)域，更具體的，本發(fā)明涉及一種基于FPC的MEMS模塊及基于該模塊的MEMS控制系統(tǒng)。MEMS系統(tǒng)是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS傳感器能夠?qū)⑿畔⒌墨@取、處理和執(zhí)行集...

使用雙釋放層的功能納米顆粒的納米壓印光刻形成相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2010年11月5日提交的，申請?zhí)枮?1/410,632的美國臨時申請的優(yōu)先權(quán)，將該申請通過援引納入于此。背景信息納米制造包括制造具有在100納米或更小量級上的特征的非常小的結(jié)構(gòu)。盡管在集成電路行業(yè)內(nèi)被熟知，納米制造技術(shù)可應(yīng)用...

一種基于Parylene填充的隔熱結(jié)構(gòu)及其制備方法本發(fā)明屬于MEMS，具體涉及一種基于Parylene填充的隔熱結(jié)構(gòu)及其制備方法。硅作為MEMS技術(shù)常用的基底材料具有很好的導(dǎo)熱性。然而，對于氣體傳感器、流量傳感器、熱加速度計、紅外傳感器等基于溫度的傳感器，聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)（P...

基于MEMS的電化學(xué)地震檢波器電極敏感核心及其制造方法本發(fā)明涉及地震檢波和MEMS(微電子機械系統(tǒng))，尤其涉及一種基于MEMS的電化學(xué)地震檢波器電極敏感核心及其制造方法。地震檢波器屬于振動傳感器的一種，測量過程中被測振動參量(如位移、速度、加速度等)被轉(zhuǎn)變?yōu)椴煌男?..

大面積表面增強拉曼活性基底的傾斜生長制備方法本發(fā)明屬于生物傳感、電化學(xué)監(jiān)測、環(huán)境分析等拉曼光譜分析檢測技術(shù)和納米材料領(lǐng)域，具體是一種大面積表面增強拉曼活性基底的傾斜生長制備方法。拉曼光譜是一種光譜分子檢測手段，其可鑒別物質(zhì)及確定它的化學(xué)組成和相對含量，在傳感檢測領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前...

一種起爆序列用冷熱臂結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器本發(fā)明涉及引信，具體涉及一種起爆序列用冷熱臂結(jié)構(gòu)MEMS執(zhí)行器。引信是利用目標(biāo)和環(huán)境信息，在預(yù)定條件下引爆或引燃彈藥戰(zhàn)斗部裝藥的控制裝置（系統(tǒng)），通常安裝在火箭、導(dǎo)彈彈頭和炮/坦克/迫擊炮彈藥等上，根據(jù)彈藥種類的不同和對付目標(biāo)的需要選擇...

一種熱應(yīng)力隔離的MEMS微加熱器互聯(lián)基板及其制備方法本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)領(lǐng)域，尤其涉及一種熱應(yīng)力隔離的MEMS微加熱器互聯(lián)基板及其制備方法。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，半導(dǎo)體行業(yè)在著名的摩爾定律的推動下，半導(dǎo)體制造工藝水平不斷提高，芯片的集成度增加，封裝體積越來越小。人們發(fā)現(xiàn)，大部分敏...

本發(fā)明涉及液滴自驅(qū)動表面制備領(lǐng)域，特別是一種梯度漸變液滴自驅(qū)動功能表面制備方法。、功能表面指的是具有一定形狀和表面形貌以實現(xiàn)特定功能的表面結(jié)構(gòu)，已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、熱學(xué)、電子、能源、機械和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。、現(xiàn)有的制備功能表面的技術(shù)需要涂層–掩膜–光刻等多道步驟，導(dǎo)致整體工藝周期長、成本高，不...

本發(fā)明涉及一種用于制造半導(dǎo)體構(gòu)件的方法和一種借助所述方法制造的微鏡組件。、由文件us/a已知用于制造mems裝置的方法，在該mems裝置中通過形成部分連續(xù)的溝槽結(jié)構(gòu)使單個的mems芯片與其余的mems晶圓分開，其中，保留單個的接片作為連接結(jié)構(gòu)。因此，單個的芯片可以在制造完成之后通過從mem...

金納米簇的制備方法及其應(yīng)用本發(fā)明屬于納米材料，涉及一種金納米簇的制備方法及其應(yīng)用。金納米簇是由幾個到幾十個金原子組成的一種新型納米材料，其尺寸和費爾米波長相當(dāng)。他們超小的尺寸決定了他們的光學(xué)及化學(xué)性質(zhì)與比其尺寸大的金納米粒子有著顯著的區(qū)別。因為金納米簇的特殊電子，催化，光學(xué)...

本申請涉及半導(dǎo)體制造，具體涉及一種基于硅-玻璃鍵合基底的非等高垂直梳齒自對準(zhǔn)制備方法。、微機電系統(tǒng)(mems)是以微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))為基礎(chǔ)發(fā)展起來的，其融合了光刻、腐蝕、薄膜、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)。特征尺寸在微米量級，集傳感技術(shù)、制動技術(shù)和控制技術(shù)于一體。采用...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種mems壓力傳感器及其制造方法、電子裝置。、mems壓力傳感器是在mems工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來的前沿研究領(lǐng)域，其適用于高沖擊、高過載、導(dǎo)電、腐蝕、輻射等惡劣環(huán)境，并廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、工業(yè)、醫(yī)療衛(wèi)生與環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。其中，相比于壓阻式壓力傳感器，電容式...

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體封裝，具體涉及一種應(yīng)力可調(diào)的半導(dǎo)體模塊封裝結(jié)構(gòu)及其應(yīng)力調(diào)整方法。、目前，高壓大功率半導(dǎo)體模塊尤其是采用碳化硅（sic）器件的模塊，仍普遍沿用dbc（direct?bonded?copper）或dcb（direct?copper?bonded）陶瓷基板配合鋁線焊接的傳統(tǒng)封裝方...

本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)(mems)與半導(dǎo)體集成，具體涉及一種地磁傳感器與微控制單元(mcu)的微型化單片集成方法。、傳統(tǒng)地磁傳感器與mcu的集成方案長期面臨體積、功耗與工藝兼容性的多重矛盾?，F(xiàn)有技術(shù)多采用分立封裝或高溫工藝實現(xiàn)傳感器與電路集成，導(dǎo)致傳感器模塊體積較大(通常超過×mm)，難以滿...

本申請涉及mems器件，尤其涉及一種mems晶圓的分割方法。、mems(micro-electromechanical?systems)也稱微機電系統(tǒng)，是以機、電技術(shù)，尤其是微機械為基礎(chǔ)，運用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)，進(jìn)行微納米和微機電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設(shè)計、制造及測試。在mems器件...

本發(fā)明屬于微機械電子。具體是一種面陣列微鏡的鏡面光學(xué)膜制備方法。、金屬鏡面在mems芯片中的廣泛應(yīng)用，本質(zhì)上是光學(xué)性能需求與硅基mems工藝優(yōu)勢的融合結(jié)果。隨著先進(jìn)鍍膜技術(shù)（如ebe、ald）和驅(qū)動結(jié)構(gòu)創(chuàng)新（如多自由度控制），金屬反射鏡正從“功能補充”向“核心光學(xué)組件”演進(jìn)，推動mems在...

本申請涉及mems器件，尤其涉及一種mems器件的制備方法及其制備裝置。、mems(micro-electromechanical?systems)也稱微機電系統(tǒng)，是以機、電技術(shù)，尤其是微機械為基礎(chǔ)，運用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)，進(jìn)行微納米和微機電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設(shè)計、制造及測試。在...

本發(fā)明屬于材料表面處理，尤其涉及一種熱力耦合高能粒子沉積同步復(fù)合非平衡態(tài)光蝕微結(jié)構(gòu)的制備裝置。、在精密機械、航空航天及生物醫(yī)療等領(lǐng)域，高性能涂層的界面結(jié)合強度、抗疲勞性能及功能性(如耐磨、耐蝕或生物相容性)需求日益嚴(yán)苛。傳統(tǒng)涂層制備技術(shù)中，基體表面預(yù)處理(如噴砂、化學(xué)刻蝕或機械拋光)常被用...

本發(fā)明屬于應(yīng)變傳感器的制備，涉及一種基于預(yù)加載的超穩(wěn)定寬線性柔性應(yīng)變傳感器及其制備方法，具體為一種長服役壽命、超高循環(huán)穩(wěn)定性、寬應(yīng)變范圍內(nèi)線性信號響應(yīng)的柔性應(yīng)變傳感器的制備方法。、柔性電子技術(shù)是二十一世紀(jì)重要變革性科技之一，柔性應(yīng)變傳感器作為其核心元件在諸如人機交互、人體健康和結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測...