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本申請涉及微電子，更具體地，涉及一種壓力傳感器及其制備方法和電子設備。、現(xiàn)有的mems壓力傳感器主要包括壓阻式壓力傳感器和電容式壓力傳感器，其中電容式壓力傳感器是一種利用電容值的變化來測量壓力的傳感器，相對于壓阻式壓力傳感器，電容式壓力傳感器通常可以實現(xiàn)較高的測量精度。然而，現(xiàn)有電容式壓力...

本發(fā)明屬于導電基板，特別涉及一種玻璃通孔導電互連基板及其制備方法與應用。、由于g、智能汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)的進步，電子產(chǎn)品被設計得更便攜、更方便。在傳感器的制造、集成和封裝方面投入了大量研究，旨在提高性能和可靠性并降低成本。而其中的mems傳感器的封裝可占器件生產(chǎn)成本的％，其密封能力和互連...

本公開涉及機械魯棒性改進的具有可移動質量塊和止動結構的微機電(mems)器件。、慣性微機電(mems)器件(諸如，例如陀螺儀和加速度計)使它們的操作基于通過撓曲件耦合到支撐體(例如，半導體材料的框架或襯底)的質量塊，目的是檢測物理量變化或用作致動器，撓曲件允許質量塊沿著一個或多個方向振蕩。...

本發(fā)明涉及微納制造，具體涉及一種金屬薄膜腔體結構及其制備方法。、微納結構金屬空腔微陣列由于其高的金屬陣列密度、大的比表面積可以較大提高雷達吸收特性和較大的散熱性能，因此金屬微納結構及其制造方法與工藝在航空航天、能源與生物醫(yī)學檢測等諸多領域備受關注，已成為微納結構制備研究的熱點。目前的三維微...

本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)，具體是一種基于可調fabry-perot諧振腔的moems加速度敏感單元及其制備方法。、fabry-perot諧振腔由兩面平行的透鏡以及透鏡之間的空腔構成，基于多光束干涉的原理，入射光在進入諧振腔后經(jīng)過多次反射、透射，最終只有特定波長的入射光可以干涉相長而透射出諧...

本公開的實施例屬于壓力傳感器，具體涉及一種高可靠性壓力傳感器制備方法及壓力傳感器。、壓力傳感器是一種用于測量壓力的微機電系統(tǒng)(mems)器件。這類傳感器廣泛應用于汽車、工業(yè)控制、氣象監(jiān)測、醫(yī)療設備以及消費電子產(chǎn)品等多個領域。它們能夠將物理壓力變化轉換為電信號輸出，從而實現(xiàn)對環(huán)境或系統(tǒng)內壓力...

本發(fā)明屬于芯片，涉及微珠芯片的制備，具體涉及一種微珠芯片的絲桿入孔式制備方法。、芯片檢測作為一種成本低、通量大、準確度高的檢測方法已成為大規(guī)模分析的有力檢測工具，為遺傳學研究分析、個體化醫(yī)療及農(nóng)業(yè)育種等領域研究提供強有力的技術保障?；蛐酒苽渲胁牧系墓潭ǚ绞街饕ㄔ缓铣煞āⅫc樣法以及...

本發(fā)明屬于半導體器件，具體涉及一種氣敏元件制備方法、氣敏元件、傳感器芯片、電子設備和車輛。、汽車在行駛過程中會排放大量有毒有害的尾氣，如co、no、so等。這些氣體達到一定濃度并被車內人員吸入后，就會對人體健康造成極大危害。因此亟需開發(fā)一種氣體傳感器來監(jiān)測這些有毒氣體的濃度，從而自動控制汽...

本公開的實施例屬于壓力傳感器，具體涉及一種高可靠性壓力傳感器制備方法及壓力傳感器。、壓力傳感器是一種用于測量壓力的微機電系統(tǒng)器件。這類傳感器廣泛應用于汽車、工業(yè)控制、氣象監(jiān)測、醫(yī)療設備以及消費電子產(chǎn)品等多個領域。它們能夠將物理壓力變化轉換為電信號輸出，從而實現(xiàn)對環(huán)境或系統(tǒng)內壓力的精確監(jiān)控。...

本發(fā)明涉及mems探針，特別涉及一種利用離子注入提高電性能表現(xiàn)的mems探針制作方法。、隨著ai技術和高性能計算的快速發(fā)展，大功率、高傳輸速率的芯片在數(shù)據(jù)中心、超級計算機等領域得到廣泛應用。這些芯片的性能測試對探針的要求極高，探針需要滿足高精度、大電流和高速數(shù)據(jù)傳輸這三個主要要求。傳統(tǒng)的探...

本申請屬于mems，尤其涉及一種表面貼裝imu及其制備方法。、現(xiàn)階段，自動駕駛領域蓬勃發(fā)展，慣性測量單元(inertial?measurement?unit，imu)作為其核心器件之一，可以在汽車行駛的過程中，采集到車輛的運動數(shù)據(jù)，imu由陀螺儀和加速度計組成，陀螺儀采集車輛的旋轉數(shù)據(jù)，加...

本發(fā)明屬于織構化表面減阻領域，涉及具有分級微織構的穩(wěn)定減阻表面及其制備方法。、摩擦，這一普遍存在于人造、自然及生物系統(tǒng)中滑動、滾動和旋轉接觸界面的現(xiàn)象，不僅構成了現(xiàn)代工程學的核心課題之一，更是能量耗散的主要來源，對于工業(yè)過程中的能效和成本效率具有深遠影響。據(jù)統(tǒng)計，全球總能源消耗中，約有％是...

本發(fā)明屬于傳感器，尤其涉及一種mems聲學器件封裝結構及mems傳感器。、mems（micro-electro-mechanical?system）技術是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化、低能耗的重要推動力，mems技術促進了傳感器的極大發(fā)展，mems主要采用微電子...

本發(fā)明涉及自動控制和微納，具體為金屬驅動自卷曲交指結構靜電微執(zhí)行器。、靜電執(zhí)行器結構容易實現(xiàn)，應用的也比較多。由于其多功能性、簡單性以及與ic制造技術的高兼容性，目前已成為應用最廣泛的驅動器。典型微器件應用的熱點有數(shù)字光處理器中的數(shù)字微鏡，光通訊中的靜電驅動mems微開關，微慣性傳感器-微...

本發(fā)明涉及傳感器，具體為一種壓力傳感器用硅膜片表面加工工藝。、mems?壓力傳感器經(jīng)過幾十年的發(fā)展，已經(jīng)在汽車電子、消費電子、衛(wèi)生醫(yī)療、工業(yè)、農(nóng)業(yè)以及航空航天等各個領域得到廣泛地應用。根據(jù)壓力傳感器的工作原理，mems?壓力傳感器可分為壓阻式，壓電式、電容式、諧振式、聲表面波式、光纖式幾種...

本申請涉及半導體，具體而言涉及一種mems器件及其制造方法。、基于微機電系統(tǒng)(mems，micro-electro-mechanical?system)工藝制備形成的mems麥克風，因與傳統(tǒng)麥克風相比具有體積小、成本低且性能穩(wěn)定等優(yōu)點而被廣泛應用。、mems麥克風朝著輕薄化的方向不斷發(fā)展，...

本發(fā)明涉及半導體，具體而言涉及一種mems器件及其制造方法、電子裝置。、在mems(micro-electro-mechanical?system，微電子機械系統(tǒng))器件的制備過程中，存在將一個半導體襯底通過金屬鍵合方式鍵合在另一個半導體襯底上的工藝，在鍵合之后對其中一個半導體襯底的背面進行...

本發(fā)明涉及半導體器件，具體涉及一種基于硅基c-sic的單片異質集成結構及其制備方法。、電子系統(tǒng)正朝著小型化、多樣化、智能化的方向發(fā)展，旨在形成具有感知、通信、處理、傳輸?shù)榷喙δ芪⑾到y(tǒng)。微系統(tǒng)的核心技術在于集成，三維異質異構集成逐漸成為從芯片制造到系統(tǒng)集成的連接紐帶；在這種集成方式下，不同的...

本公開涉及具有防潮接觸墊的微機電器件及其制造方法。特別地，所考慮的慣性mems器件包括一個或多個慣性傳感器，諸如加速計和/或陀螺儀，該慣性傳感器形成在至少一個硅結構層中并且限定至少一個可移動結構。可移動結構通常在延伸平面中具有主延伸部，并且在平面內或平面外可移動。、眾所周知，這種類型的慣性...

本發(fā)明涉及觸覺傳感器，特別涉及一種雙螺旋觸覺傳感器及其制備方法。、觸覺傳感器作為人機交互界面具有交互過程準確、反應速度快等無法替代的優(yōu)勢。受限于傳感器供能方式，目前觸覺傳感器主要分為兩類：通過有線方式進行供電的觸覺傳感器和基于電池式的觸覺傳感器。然而，通過有線方式進行供電的觸覺傳感器存在線...