一種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)及其測試方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)及其測試方法，涉及光學(xué)檢測領(lǐng)域，包括按光路依次放置的激光器、液晶光閥、光束分束器、透鏡一、測試樣品、吸收陷阱、直視CCD、反射鏡、能量卡計、透鏡二和監(jiān)視CCD，本發(fā)明的損傷閾值測試方法為通過建立液晶光閥與光斑近場的映射關(guān)系獲得傳遞函數(shù)，將光斑中損傷點(diǎn)的坐標(biāo)帶入傳遞函數(shù)確定液晶光閥遮擋區(qū)域，當(dāng)遮擋區(qū)域覆蓋損傷點(diǎn)后計算局部通量，提高損傷閾值的計算精度。
【專利說明】
一種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)及其測試方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域，具體涉及一種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)及其測 試方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前光學(xué)元件激光損傷閾值檢測，主要是測試光學(xué)元件表面缺陷在強(qiáng)激光輻照下 引起光學(xué)元件表面發(fā)生的不可逆的破壞，光學(xué)元件表面缺陷主要是指由磨削等加工過程引 入的結(jié)構(gòu)性缺陷和殘留的雜質(zhì)元素，激光輻照時會引起光學(xué)元件表面損傷，損傷閾值檢測 主要就是檢測缺陷引起的損傷閾值。
[0003] 然而，現(xiàn)有損傷閾值測試方法通常計算激光光斑內(nèi)的平均通量作為損傷閾值，由 于激光光斑強(qiáng)區(qū)分布的差異、元件表面缺陷種類和分布、測試激光光斑口徑選取等原因，弓丨 起光學(xué)元件實(shí)際損傷的局部區(qū)域通量并不等于整個激光光斑的平均通量，造成測試結(jié)果的 系統(tǒng)性誤差，損傷閾值測試結(jié)果有較大波動。
[0004] 2011國際標(biāo)準(zhǔn)化委員會重新修訂損傷閾值測試方法，新編寫的ISO 21254增加了 損傷閾值測試基本原則，修改后的標(biāo)準(zhǔn)旨在提高損傷閾值的檢測精度，同時更新了元件損 傷判定的依據(jù)和探測方法，其中ISO 21254-3規(guī)定了損傷閾值的計算方法，主要目的是規(guī)范 參數(shù)計算以便不同測試條件下、不同測試設(shè)備獲得的損傷閾值能夠相互比較。但是，該測試 方法仍不能準(zhǔn)確描述缺陷的損傷閾值，存在的不足主要表現(xiàn)在：
[0005] 1.元件表面初始損傷點(diǎn)尺度通常為IOwii~50μπι，測試光斑面積通常為毫米量級， 遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于損傷點(diǎn)面積，計算整個光斑的平均通量造成準(zhǔn)確度下降。
[0006] 2.損傷閾值測試中使用的激光光斑通常為高斯光斑和平頂光斑，其中高斯光斑的 強(qiáng)度分布為中間強(qiáng)兩邊弱，而平頂光斑強(qiáng)度分布也不均勻，兩種光斑的平均通量和峰值通 量都有很大差異，造成測試結(jié)果不準(zhǔn)確。
[0007 ] 3.光學(xué)元件表面損傷的直接原因是缺陷周圍局部通量超過了缺陷的損傷閾值，在 激光輻照下缺陷發(fā)生損傷形成損傷點(diǎn)，而激光光斑的其他區(qū)域的并未引起損傷，全部計算 整個光斑的光強(qiáng)降低了與損傷的相關(guān)性。
[0008] 4.不同種類缺陷的損傷閾值并不相同，現(xiàn)有的損傷測試技術(shù)不能避免低閾值缺陷 在高通量激光輻照損傷的情況，測試的損傷閾值結(jié)果表示缺陷的損傷閾值不高于測試時的 激光通量。測試結(jié)果和缺陷真實(shí)的損傷閾值有一定的偏差造成測試結(jié)果不準(zhǔn)確。
[0009]是故，現(xiàn)有損傷閾值檢測系統(tǒng)和測試方法很難保證光學(xué)元件損傷閾值測試的精度 和準(zhǔn)確性，急需發(fā)明一種更為精確表征光學(xué)元件損傷時的測試方法和測試系統(tǒng)，準(zhǔn)確反映 光學(xué)元件損傷發(fā)生時所承受的激光通量，提高損傷閾值測試精度，實(shí)現(xiàn)對光學(xué)元件表面缺 陷局部區(qū)域損傷閾值的精確測試，其結(jié)果對于評估光學(xué)元件質(zhì)量具有重要的意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]為了克服上述技術(shù)不足，本發(fā)明提供一種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)及其測 試方法。
[0011] 本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：
[0012] -種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)，包括按光路依次放置的激光器、液晶光閥、 光束分束器、透鏡一、測試樣品、吸收陷阱、直視CCD、反射鏡、能量卡計、透鏡二和監(jiān)視CCD， 由激光器發(fā)出的激光束，經(jīng)液晶光閥整形后到達(dá)光束分束器，光束分束器透射方向的激光 經(jīng)過透鏡一匯聚到測試樣品表面，經(jīng)過測試樣品的激光經(jīng)過吸收陷阱到達(dá)直視CCD，光束分 束器反射方向的激光經(jīng)過反光鏡，反光鏡反射方向的激光到達(dá)透鏡二最后匯聚到監(jiān)視CCD， 反光鏡透視方向的激光到達(dá)能量卡計。
[0013] 進(jìn)一步地，所述激光器發(fā)出激光波長為1053nm、527nm或351nm，脈沖寬度可調(diào)整范 圍為0.2ns~20ns，所述激光器輸出能量調(diào)整范圍為2 J~100 J。
[0014] 進(jìn)一步地，所述透鏡一和透鏡二對激光束進(jìn)行聚焦，所述光束分束器按1000:1的 比例將小能量的激光導(dǎo)入激光測試分析單元進(jìn)行能量光束分析。
[0015] 進(jìn)一步地，所述的監(jiān)視CXD和直視CXD位于光學(xué)共輒位置。
[0016] 進(jìn)一步地，在測試樣品和直視CCD之間設(shè)置有吸收陷阱，所述的吸收陷阱為中性密 度吸收濾光片和陶瓷擋光片組成的激光能量吸收裝置。
[0017] 進(jìn)一步地，其特征在于，所述分束器透過激光經(jīng)由所述透鏡在待測樣品的表面匯 聚激光進(jìn)入所述直視CCD進(jìn)行光斑近場測試，所述分束器反射的激光經(jīng)由反射鏡反射至所 述透鏡匯聚至監(jiān)視C⑶進(jìn)行激光光束近場分析；
[0018] 測試步驟如下：
[0019] 步驟1):建立液晶光閥-靶面坐標(biāo)關(guān)系，計算傳輸函數(shù)；
[0020] 步驟2):采集損傷點(diǎn)在直視CCD中的坐標(biāo)信息，利用傳輸函數(shù)計算出液晶光閥上位 置信息，
[0021] 步驟3):獲得在監(jiān)視CCD上的位置信息，選取一定像素矩陣?yán)帽O(jiān)視CCD采集的光 斑近場分布計算局部的通量。
[0022] 進(jìn)一步地，激光束的光斑直徑典型值為IOmm~12mm，光斑為平頂分布的光斑。
[0023] 進(jìn)一步地，液晶光閥-靶面激光傳輸關(guān)系的計算方法：
[0024] 為了實(shí)現(xiàn)損傷點(diǎn)和局部通量的映射，建立損傷點(diǎn)位置和近場圖像局部通量的映
[0025] 射關(guān)系，首先需要確定液晶光閥到直視CCD的傳輸函數(shù)，激光經(jīng)過光學(xué)元件
[0026] 傳輸圖像會產(chǎn)生膨脹、旋轉(zhuǎn)、平移變換，根據(jù)變換形式建立傳遞函數(shù)的數(shù)學(xué)模 [0027] 型，如下所示：
[0028] Xa = AXb+BYb+C
[0029] Ya = DXb+EYb+F
[0030] 在液晶光閥上設(shè)置三個亮點(diǎn)坐標(biāo)(Xal，Yal)，（X a2，Ya2)，（Xa3Ja3)經(jīng)過激光傳輸后在 直視CCD上獲得亮點(diǎn)坐標(biāo)為(X bl，Ybl)，（Xb2，Yb2)，（Xb3，Y b3)帶入方程計算傳遞函數(shù)系數(shù)，A，B， C，D，E，F(xiàn);
[0031] 其中：
[0032]
[0033]
[0038] 方程系數(shù)矩陣可用如下方程表示：
[0034]
[0035]
[0036]
[0037]
[0039]
[0040] 通過計算獲得的傳輸函數(shù)能夠利用液晶光閥實(shí)現(xiàn)監(jiān)視CCD和直視CCD近場圖像的 坐標(biāo)對應(yīng)。
[0041] 進(jìn)一步地，局部通量的計算公式為：
[0042]
[0043] 進(jìn)一步地，監(jiān)視CXD和直視C⑶選取分辨率相同的(XD。
[0044]系統(tǒng)中主要部分的功能說明：
[0045] 激光器:產(chǎn)生激光用于光學(xué)元件損傷檢測。
[0046] 液晶光閥：為激光器中一個部件，用于激光光斑近場整形，同時用于損傷映射方法 中的坐標(biāo)調(diào)整，其坐標(biāo)系用(Xa，Y a)表示
[0047] 光束分束器:激光光斑取樣測量
[0048] 透鏡:匯聚主激光至元件表面進(jìn)行損傷測試 [0049]測試樣品:待測試光學(xué)元件
[0050]吸收陷阱：吸收主光路激光能量
[0051] 直視CCD:采集激光光斑近場圖像，圖像中包含損傷點(diǎn)在近場中的位置信息，其坐 標(biāo)用(Xb, Yb)表示
[0052] 反射鏡:反射激光，改變激光傳輸方向
[0053] 能量卡計:激光能量測試
[0054]透鏡:匯聚取樣激光至監(jiān)視C⑶測試激光近場圖像
[0055] 監(jiān)視(XD:采集損傷測試時激光光斑近場圖像，其坐標(biāo)系用(U。)表示。
[0056] 其中監(jiān)視CXD和直視CCD位于光學(xué)共輒位置，根據(jù)光學(xué)傳輸理論近場分布完全相同 其坐標(biāo)關(guān)系滿足下列方程：
[0057] Xb = Xc
[0058] Yb = Yc。
[0059] 測試原理:在現(xiàn)有損傷閾值測試方法(R-on-1測試方法或1-on-l測試方法)上加入 光斑近場映射技術(shù)，具體是利用在線顯微成像系統(tǒng)觀察元件表面是否發(fā)生損傷，直到元件 表面觀察到損傷點(diǎn)，通過監(jiān)視CCD采集損傷發(fā)生的激光束近場分布，撤去吸收陷阱，調(diào)整激 光器輸出低能量在直視CCD上采集激光束近場分布圖像，近場分布圖像中包含損傷點(diǎn)在光 斑中的位置信息，利用位置信息根據(jù)傳輸函數(shù)計算在監(jiān)視CCD上的坐標(biāo)，以該坐標(biāo)為中心在 監(jiān)視CCD采集損傷時的近場圖像選取合適的區(qū)域計算通量，計算區(qū)域根據(jù)損傷點(diǎn)的尺寸確 定，通量計算依據(jù)監(jiān)視CCD采集的近場圖像灰度值，完成損傷閾值的計算，獲得損傷點(diǎn)局部 區(qū)域的通量即為該缺陷的損傷閾值。
[0060] 本發(fā)明的有益效果如下：
[0061 ] 1 )、提高損傷閾值測試精度。本發(fā)明以光斑映射方法為基礎(chǔ)，在滿足國際損傷閾值 測試標(biāo)準(zhǔn)的前提下，有效地克服了缺陷在元件表面隨機(jī)分布，激光束近場分布，不同種類缺 陷對損傷閾值檢測結(jié)果的影響，可以計算光斑內(nèi)任意位置出現(xiàn)損傷點(diǎn)的局部通量。損傷閾 值和缺陷密切相關(guān)，具有較高的檢測精度，測試結(jié)果有較高的置信度。
[0062] 2)、方法適用性強(qiáng)。本發(fā)明可同時實(shí)現(xiàn)1-on-l和R-on-1以及Raster scan測試模式 下的激光損傷閾值檢測，并且通過液晶-靶面光斑映射技術(shù)計算缺陷的損傷閾值，既可用于 對不同材料的激光損傷性能分析，還可用于精密拋光的光學(xué)元件表面缺陷的分類表征。此 外，本發(fā)明的待測樣品種類包含各類光學(xué)元件、各類介質(zhì)膜元件、晶體類元件。
[0063] 3)、便于開發(fā)應(yīng)用。本發(fā)明的使用的測試系統(tǒng)均具備較高的技術(shù)成熟度，可實(shí)現(xiàn)自 動化控制，因此可方便實(shí)現(xiàn)儀器化，對于光學(xué)元件檢測應(yīng)用有重要意義。4)、損傷測試方法 有很強(qiáng)的通用性，能夠適應(yīng)不同的損傷閾值測試方法，同時提高損傷閾值的計算精度，對于 光學(xué)元件表面缺陷的表征和分類有重要的作用。
【附圖說明】
[0064] 圖1是光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)的測試方法的流程；
[0065] 圖2是光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0066] 附圖標(biāo)記：1_激光器，2-液晶光閥，3-光束分束器，4-透鏡一，5-測試樣品，6-吸收 陷阱，7-直視CXD，8-反射鏡，9-能量卡計，10-透鏡二，11-監(jiān)視CXD。
【具體實(shí)施方式】
[0067] 為了本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好的理解本發(fā)明，下面結(jié)合附圖和以下實(shí)施例對本發(fā)明 作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0068] 實(shí)施例1
[0069] 如圖1和2所示，本實(shí)施例提供一種光學(xué)元件表面損傷閾值測試系統(tǒng)，由激光器1發(fā) 出的高能量激光(波長351nm，脈寬5ns )，經(jīng)過液晶光閥2整形后由的激光經(jīng)由透鏡一 4匯聚 作用到待測樣品5表面后進(jìn)入吸收陷阱6;同時采集光束分束器3反射的激光經(jīng)由反射鏡8反 射的激光經(jīng)由透鏡10匯聚至監(jiān)視CXDll，透射的激光進(jìn)入能量卡計9,采集經(jīng)過透鏡二10匯 聚的激光光斑近場，記錄監(jiān)視CCDl 1數(shù)據(jù)，記錄卡計9能量數(shù)據(jù)。
[0070] 按照R-οη-Ι損傷閾值測試流程以固定能量為臺階增加激光能量直到元件表面出 現(xiàn)損傷點(diǎn)，記錄損傷發(fā)生時的激光近場圖像和能量。將吸收陷阱6移除光路，由激光器發(fā)生 低能量激光(波長351nm，脈寬5ns)，經(jīng)過液晶光閥2整形后經(jīng)由透鏡一 4匯聚作用到待測樣 品5表面后進(jìn)入直視(XD7。
[0071] 直視CCD7采集的近場圖像中包含損傷點(diǎn)的位置信息，利用液晶光閥-靶面?zhèn)鬟f函 數(shù)計算液晶上的坐標(biāo)信息，通過液晶坐標(biāo)信息確定損傷點(diǎn)在監(jiān)視CCD上的坐標(biāo)位置，計算坐 標(biāo)位置的局部通量。
[0072] 液晶光閥-靶面激光傳輸關(guān)系的計算方法：
[0073] 為了實(shí)現(xiàn)損傷點(diǎn)和局部通量的映射，建立損傷點(diǎn)位置和近場圖像局部通量的映射 關(guān)系，首先需要確定液晶光閥到直視CCD7的傳輸函數(shù)，激光經(jīng)過光學(xué)元件傳輸圖像會產(chǎn)生 膨脹、旋轉(zhuǎn)、平移變換，根據(jù)變換形式建立傳遞函數(shù)的數(shù)學(xué)模型，如下所示：
[0074] Xa = AXb+BYb+C
[0075] Ya = DXb+EYb+F
[0076] 在液晶光閥上設(shè)置三個亮點(diǎn)坐標(biāo)(Xal，Yal)，（Xa2，Ya2)，（Xa3，Ya3)經(jīng)過激光傳輸 后在直視(XD7上獲得亮點(diǎn)坐標(biāo)為(Xbl，Ybl)，（Xb2，Yb2)，（Xb3，Yb3)帶入方程計算傳遞函數(shù) 系數(shù)，A，B，C，D，E，F(xiàn)。
[0084] 方程系數(shù)矩陣可用如下方程表示：
[0077] I 由.
[0078]
[0079]
[0080]
[0081]
[0082]
[0083]
[0085]
[0086]通過計算獲得的傳輸函數(shù)能夠利用液晶光閥實(shí)現(xiàn)監(jiān)視CCDll和直視CCD7近場圖像 的坐標(biāo)對應(yīng)。
[0087]監(jiān)視C⑶損傷點(diǎn)區(qū)域局部通量的計算方法：
[0088] 優(yōu)選的，監(jiān)視CCDll和直視CCD7選取分辨率相同的CXD，可以選用同一型號產(chǎn)品，以 方便坐標(biāo)計算。
[0089] 優(yōu)選的，根據(jù)液晶-靶面的傳遞函數(shù)確定損傷點(diǎn)在監(jiān)視CCDll采集的激光近場的坐 標(biāo)位置，監(jiān)視CCDll近場選取的局部區(qū)域大小與損傷點(diǎn)尺度相關(guān)，為確保局部區(qū)域包含損傷 點(diǎn)，局部區(qū)域的大小應(yīng)為損傷點(diǎn)尺寸的2~3倍。
[0090] 以50μπι的損傷點(diǎn)為例，若CCD的像素點(diǎn)為12μπι、分辨率為1024 X 1024的監(jiān)視CCDll， 局部區(qū)域的大小選取10 X 10像素區(qū)域或者15 X 15像素區(qū)域。
[0091] 局部通量的計算公式：
[0092]
[0093] 式中：
[0094] Fth--局部通量，單位J/cm2
[0095] E(pixelvalue)一一選取區(qū)域所有像素點(diǎn)的灰度值之和，單位J
[0096] Pixelarea--選取區(qū)域的像素點(diǎn)面積之和，單位cm2
[0097] 像素大小由CCD參數(shù)決定，像素灰度值由監(jiān)視CCD損傷圖像讀取。
[0098] 同時利用損傷點(diǎn)的位置坐標(biāo)還能夠計算損傷前該坐標(biāo)的通量數(shù)據(jù)，從而獲得該缺 陷的最大不損傷閾值。
[0099] 采用本發(fā)明的基于光斑映射技術(shù)的損傷閾值測試系統(tǒng)，不僅可有效地克服缺陷在 元件表面隨機(jī)分布，激光束近場分布，不同種類缺陷對損傷閾值檢測的影響，同時提高損傷 閾值測試結(jié)果的精度和準(zhǔn)確性，提高測試結(jié)果和損傷的相關(guān)性，提高測試結(jié)果的置信度。同 時滿足1-on-l、R-〇n_l和Raster scan等測量模式。
[0100] 以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，本發(fā)明的專利保護(hù)范 圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)，凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均 應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1. 一種光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)，包括按光路依次放置的激光器（1)、液晶光閥 (2)、光束分束器(3)、透鏡一 (4)、測試樣品巧）、吸收陷阱(6)、直視CCD(7)、反射鏡(8)、能量 卡計(9)、透鏡二（10)和監(jiān)視CCD(11)，其特征在于，由激光器(1)發(fā)出的激光束，經(jīng)液晶光閥 (2)整形后到達(dá)光束分束器(3)，光束分束器(3)透射方向的激光經(jīng)過透鏡一 (4)匯聚到測試 樣品（5)表面，經(jīng)過測試樣品（5)的激光經(jīng)過吸收陷阱（6)到達(dá)直視CCD(7)，光束分束器(3) 反射方向的激光經(jīng)過反光鏡(8)，反光鏡(8)反射方向的激光到達(dá)透鏡二（10)最后匯聚到監(jiān) 視CCD (11)，反光鏡(8)透視方向的激光到達(dá)能量卡計(9)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器 (1)發(fā)出激光波長為l〇53nm、527nm或351nm，脈沖寬度可調(diào)整范圍為0.化S~20ns，所述激光 器輸出能量調(diào)整范圍為2J~100J。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)，其特征在于，所述透鏡一 (4) 和透鏡二（10)對激光束進(jìn)行聚焦，所述光束分束器(3)按1000:1的比例將小能量的激光 導(dǎo)入激光測試分析單元進(jìn)行能量光束分析。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)，其特征在于，所述的監(jiān)視 CCD (11)和直視CCD (7)位于光學(xué)共輛位置。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)，其特征在于，在測試樣品 (5) 和直視CCD(7)之間設(shè)置有吸收陷阱(6)，所述的吸收陷阱(6)由吸收型中性密度濾光片 和陶瓷擋光片組成激光能量吸收裝置。6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)的測試方 法，其特征在于，所述分束器(3)透過激光經(jīng)由所述透鏡(4)在待測樣品（5)的表面匯聚激光 進(jìn)入所述直視CCD(7)進(jìn)行光斑近場測試，所述分束器(3)反射的激光經(jīng)由反射鏡(8)反射至 所述透鏡（10)匯聚至監(jiān)視CCD( 11)進(jìn)行激光光束近場分析； 測試步驟如下： 步驟1):建立液晶光閥-祀面坐標(biāo)關(guān)系，計算傳輸函數(shù)； 步驟2):采集損傷點(diǎn)在直視CCD(7)中的坐標(biāo)信息，利用傳輸函數(shù)計算出液晶光閥上位 置信息， 步驟3):獲得在監(jiān)視CCD(ll)上的位置信息，選取一定像素矩陣?yán)帽O(jiān)視CCD(ll)采集 的光斑近場分布計算局部的通量。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)的測試方法，其特征在于，激 光束的光斑直徑典型值為10mm~12mm，光斑為平頂分布的光斑。8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)的測試方法，其特征在于， 液晶光閥-祀面激光傳輸關(guān)系的計算方法： 為了實(shí)現(xiàn)損傷點(diǎn)和局部通量的映射，建立損傷點(diǎn)位置和近場圖像局部通量的映射關(guān) 系，首先需要確定液晶光閥到直視CCD的傳輸函數(shù)，激光經(jīng)過光學(xué)元件傳輸圖像會產(chǎn)生膨 脹、旋轉(zhuǎn)、平移變換，根據(jù)變換形式建立傳遞函數(shù)的數(shù)學(xué)模型，如下所示： Xa=AXb+BYb+C Ya = DXb+EYb+F 在液晶光閥上設(shè)置Ξ個亮點(diǎn)坐標(biāo)(Xal，Yal)，（Xa2，Ya2)，（Xa3，Ya3)經(jīng)過激光傳輸后在直視 CCD上獲得亮點(diǎn)坐標(biāo)為(Xbl，化1)，口62而2)，村63而3)帶入方程計算傳遞函數(shù)系數(shù)，4,8，(：，0， E，F(xiàn); 其中：方程系數(shù)矩陣可用如下方程表示：通過計算獲得的傳輸函數(shù)能夠利用液晶光閥實(shí)現(xiàn)監(jiān)視CCD和直視CCD近場圖像的坐標(biāo) 對應(yīng)。9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)的測試方法，其特征在于，局 部通量的計算公式為：式中： Fth--局部通量，單位J/cm2 S (pixelvalue)--選取區(qū)域所有像素點(diǎn)的灰度值之和，單位J Pixelarea--選取區(qū)域的像素點(diǎn)面積之和，單位cm2。10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)元件表面損傷闊值測試系統(tǒng)的測試方法，其特征在于， 監(jiān)視CCD (11)和直視CCD (7)選取分辨率相同的CCD。
【文檔編號】G01N21/88GK105842248SQ201610169105
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年3月23日
【發(fā)明人】周信達(dá), 丁磊, 鄭垠波, 巴榮聲, 袁靜, 姜宏振, 徐宏磊, 張霖, 李 東, 楊, 楊 一, 楊曉瑜, 陳波, 柴立群, 鄭萬國
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心