用于測(cè)量閃爍噪聲的電路及其使用方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種閃爍噪聲測(cè)量電路，包括第一部分。第一部分包括串聯(lián)連接的多個(gè)第一級(jí)。第一部分包括：第一反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將多個(gè)第一級(jí)的輸出選擇性地反饋至多個(gè)第一級(jí)的輸入端。第一部分包括第一部分連接開(kāi)關(guān)元件。閃爍噪聲測(cè)量電路包括連接至第一部分的第二部分。第二部分包括串聯(lián)連接的多個(gè)第二級(jí)，其中第一部分連接開(kāi)關(guān)元件被配置為將多個(gè)第二級(jí)選擇性地連接至多個(gè)第一級(jí)。第二部分包括：第二反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將多個(gè)第二級(jí)的輸出選擇性地反饋至多個(gè)第一級(jí)的輸入端。本發(fā)明還提供了一種確定閃爍噪聲的方法。
【專利說(shuō)明】
用于測(cè)量閃爍噪聲的電路及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明總體涉及電子電路，更具體地，涉及用于測(cè)量閃爍噪聲的電路及其使用方法。
【背景技術(shù)】
[0002]閃爍噪聲是存在于使用直流(DC)工作的電子器件中的一種電子噪聲類(lèi)型。在一些示例中，閃爍噪聲是由器件的溝道中的雜質(zhì)或器件中的電荷生成或消除的變化引起的。閃爍噪聲是器件的電阻的變化并且基于歐姆定律表示為電壓或電流的變化。
[0003]因?yàn)殡S著噪聲量的增加，電子噪聲影響器件的穩(wěn)定性，所以精確地確定器件的輸出變得更加困難。在高頻器件中，因?yàn)榘自肼暤牧吭陂W爍噪聲的量中占有主導(dǎo)作用，所以閃爍噪聲占據(jù)器件的總噪聲的較小部分。在低頻器件中，總噪聲被降低至器件的固有噪聲(即，相位噪聲)。在高頻器件與低頻器件之間的過(guò)渡區(qū)域中，閃爍噪聲被確定為是確定器件的總噪聲的重要因素。隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)縮小，器件的總噪聲的過(guò)渡區(qū)域的頻率增大。
[0004]在一些示例中，使用外部設(shè)備來(lái)測(cè)量閃爍噪聲。在一些示例中，隨著器件的工作頻率的改變，基于模擬的噪聲來(lái)推算閃爍噪聲。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種閃爍噪聲測(cè)量電路，包括:第一部分和第二部分。第一部分包括:多個(gè)第一級(jí)，串聯(lián)連接;第一反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將多個(gè)第一級(jí)的輸出選擇性地反饋至多個(gè)第一級(jí)的輸入端;和第一部分連接開(kāi)關(guān)元件。第二部分，連接至第一部分，其中，第二部分包括:多個(gè)第二級(jí)，串聯(lián)連接，其中，第一部分連接開(kāi)關(guān)元件被配置為將多個(gè)第二級(jí)選擇性地連接至多個(gè)第一級(jí)；和第二反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將多個(gè)第二級(jí)的輸出選擇性地反饋至多個(gè)第一級(jí)的輸入端。
[0006]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)中的每一級(jí)都是可變反相器。
[0007]優(yōu)選地，可變反相器被配置為接收用于調(diào)節(jié)可變反相器的驅(qū)動(dòng)電壓的第一偏壓和第二偏壓。
[0008]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)中的每一級(jí)都是放大器，并且放大器包括反相輸入端、非反相輸入端、反相輸出端和非反相輸出端。
[0009]優(yōu)選地，第一反饋開(kāi)關(guān)元件位于多個(gè)第一級(jí)中的最后一級(jí)的非反相輸出端與多個(gè)第一級(jí)中的最初一級(jí)的非反相輸入端之間。
[0010]優(yōu)選地，第一部分連接開(kāi)關(guān)元件位于多個(gè)第一級(jí)中的最后一級(jí)的非反相輸出端與多個(gè)第二級(jí)中的最初一級(jí)的反相輸入端之間。
[0011 ]優(yōu)選地，第一反饋開(kāi)關(guān)元件是傳輸門(mén)、邏輯門(mén)、晶體管或晶閘管。
[0012]優(yōu)選地，第一部分連接開(kāi)關(guān)元件是傳輸門(mén)、邏輯門(mén)、晶體管或晶閘管。
[0013]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)中的級(jí)數(shù)與多個(gè)第二級(jí)中的級(jí)數(shù)不同。
[0014]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)中的級(jí)數(shù)與多個(gè)第二級(jí)中的級(jí)數(shù)相同。
[0015]優(yōu)選地，當(dāng)?shù)谝徊糠诌B接開(kāi)關(guān)元件被配置為處于激活狀態(tài)時(shí)，第一反饋開(kāi)關(guān)元件被配置為處于未激活狀態(tài)。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種閃爍噪聲測(cè)量電路，包括:第一子電路，包括串聯(lián)連接的多個(gè)第一級(jí)；第二子電路，包括串聯(lián)連接的多個(gè)第二級(jí)，其中，多個(gè)第二級(jí)中的級(jí)數(shù)與多個(gè)第一級(jí)中的級(jí)數(shù)不同，并且第二子電路與第一子電路分離；以及第三子電路，包括串聯(lián)連接的多個(gè)第三級(jí)，其中，多個(gè)第三級(jí)中的級(jí)數(shù)與第二級(jí)中的級(jí)數(shù)和多個(gè)第一級(jí)中的級(jí)數(shù)不同，并且第三子電路與第一子電路和第二子電路均分離。
[0017]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)中的每一級(jí)都包括可變反相器。
[0018]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)中的每一級(jí)都包括放大器，放大器具有反相輸入端、非反相輸入端、反相輸出端和非反相輸出端。
[0019]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)、多個(gè)第二級(jí)和多個(gè)第三級(jí)中的每一個(gè)的級(jí)數(shù)都是奇數(shù)。
[0020]優(yōu)選地，多個(gè)第一級(jí)、多個(gè)第二級(jí)和多個(gè)第三級(jí)中的每一個(gè)的級(jí)數(shù)都是偶數(shù)。
[0021]優(yōu)選地，第一子電路、第二子電路和第三子電路中的每一個(gè)都是環(huán)形振蕩器。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種確定閃爍噪聲的方法，方法包括:使用第一閃爍噪聲的測(cè)量電路來(lái)測(cè)量第一相位噪聲，其中，第一閃爍噪聲測(cè)量電路具有第一級(jí)數(shù)和第一上升斜率/下降斜率比率;使用第二閃爍噪聲的測(cè)量電路來(lái)測(cè)量第二相位噪聲，其中，第二閃爍噪聲測(cè)量電路具有第二級(jí)數(shù)和第二上升斜率/下降斜率比率;確定第一上升斜率/下降斜率比率;確定第二上升斜率/下降斜率比率;基于測(cè)得的第一相位噪聲、第一級(jí)數(shù)以及確定的第一上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算第一閃爍噪聲；以及基于測(cè)量的第二相位噪聲、第二級(jí)數(shù)以及確定的第二上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算第二閃爍噪聲。
[0023]優(yōu)選地，計(jì)算第一閃爍噪聲包括:基于第一相位噪聲、第一級(jí)數(shù)和第一上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算第一閃爍噪聲。
[0024]優(yōu)選地，測(cè)量第二相位噪聲包括:使用與測(cè)量第一相位噪聲的電路相同的電路來(lái)測(cè)量第二相位噪聲。
【附圖說(shuō)明】
[0025]當(dāng)結(jié)合附圖進(jìn)行閱讀時(shí)，根據(jù)下面詳細(xì)的描述可以更好地理解本發(fā)明的各個(gè)方面。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是，根據(jù)工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，各種部件沒(méi)有按比例繪制。實(shí)際上，為了清楚的討論，各種部件的尺寸可以被任意增加或減少。
[0026]圖1是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路的原理圖。
[0027]圖2是根據(jù)一些實(shí)施例的可變反相器的原理圖。
[0028]圖3是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路的原理圖。
[0029]圖4A是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路的原理圖。
[0030]圖4B是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路的原理圖。
[0031 ]圖5是根據(jù)一些實(shí)施例的測(cè)量閃爍噪聲的方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下公開(kāi)內(nèi)容提供了許多不同實(shí)施例或?qū)嵗?，用于?shí)現(xiàn)所提供主題的不同特征。以下將描述組件和布置的特定實(shí)例以簡(jiǎn)化本發(fā)明。當(dāng)然，這些僅是實(shí)例并且不旨在限制本發(fā)明。例如，在以下描述中，在第二部件上方或上形成第一部件可以包括第一部件和第二部件直接接觸的實(shí)施例，也可以包括形成在第一部件和第二部件之間的附加部件使得第一部件和第二部件不直接接觸的實(shí)施例。另外，本發(fā)明可以在多個(gè)實(shí)例中重復(fù)參考標(biāo)號(hào)和/或字符。這種重復(fù)是為了簡(jiǎn)化和清楚的目的，并且其本身不指示所討論的各個(gè)實(shí)施例和/或配置之間的關(guān)系。
[0033]閃爍噪聲顯著地影響諸如鎖相環(huán)(PLL)、模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)和數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)的器件的器件性能。對(duì)于較小的技術(shù)節(jié)點(diǎn)，閃爍噪聲的精確確定有助于精確確定使用該較小技術(shù)節(jié)點(diǎn)所制造的器件的性能。隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)縮小，使閃爍噪聲成為器件總噪聲的主要因素的頻率增大。例如，在約為N28的節(jié)點(diǎn)尺寸下，使閃爍噪聲成為重要因素的頻率為幾百兆赫(MHz);然而，隨著節(jié)點(diǎn)尺寸減小至約N10，使閃爍噪聲成為重要因素的頻率為幾千兆赫(GHz)0
[0034]在一些示例中，使用外部設(shè)備測(cè)量閃爍噪聲。這種外部設(shè)備通常非常昂貴。在一些示例中，基于模擬結(jié)果或?qū)χ圃斓钠骷?zhí)行的測(cè)量來(lái)推算閃爍噪聲。然而，這種推算經(jīng)常包括可觀的誤差因子。在一些示例中，推算的閃爍噪聲具有十倍或者更多的誤差因子。
[0035]計(jì)算器件中閃爍噪聲的簡(jiǎn)化且精確的方式可能是通過(guò)測(cè)量器件內(nèi)的閃爍噪聲測(cè)量電路的輸出波形和通過(guò)測(cè)量器件中的相位噪聲。然后，能夠基于相位噪聲、閃爍噪聲測(cè)量電路中的級(jí)數(shù)以及輸出波形的上升斜率與輸出波形的下降斜率的比率來(lái)確定閃爍噪聲。
[0036]將作為器件的一部分的閃爍噪聲測(cè)量電路和基于相位噪聲、閃爍噪聲測(cè)量電路中的多級(jí)以及輸出波形的上升斜率與輸出波形的下降斜率的比率的計(jì)算一起使用來(lái)為確定器件的閃爍噪聲提供一種低廉且精確的方法。
[0037]圖1是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路100的原理圖。閃爍噪聲測(cè)量電路100包括第一部分110a，其選擇性地連接至第二部分110b。第一部分IlOa包括多個(gè)串聯(lián)連接的可變反相器112a。多個(gè)可變反相器112a中的每一個(gè)可變反相器都被當(dāng)作一級(jí)(stage)。反饋傳輸門(mén)114a被配置為將反相器112a的輸出端選擇性地返回連接至反相器的輸入端。連接傳輸門(mén)116a被配置為將第一部分IlOa選擇性地連接至第二部分110b。第二部分IlOb包括串聯(lián)連接的多個(gè)可變反相器112b?？勺兎聪嗥?12b中的每一個(gè)可變反相器都被當(dāng)作一級(jí)(stage)。反饋傳輸門(mén)114b被配置為將反相器112b的輸出端選擇性地返回連接至可變反相器112a的輸入端。連接傳輸門(mén)116b被配置為將第二部分IlOb選擇性地連接至閃爍噪聲測(cè)量電路100的后續(xù)部分。
[0038]閃爍噪聲測(cè)量電路100包括兩個(gè)部分IlOa和110b。部分IlOa和IlOb中的每一個(gè)都分別是環(huán)形振蕩器。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路100包括多于兩個(gè)部分。在一些實(shí)施例中，第一部分IlOa包括奇數(shù)級(jí)(例如，奇數(shù)個(gè)可變反相器112a)，而閃爍噪聲測(cè)量電路100的其他每一個(gè)部分(例如，第二部分IlOb)都包括偶數(shù)級(jí)(例如，偶數(shù)個(gè)可變反相器112b)。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路中的級(jí)數(shù)是五級(jí)、七級(jí)、九級(jí)或2X+1級(jí)，其中X是大于或等于I的整數(shù)。
[0039]第一部分IlOa包括三個(gè)可變反相器112a。在一些實(shí)施例中，第一部分IlOa包括多于或少于三個(gè)可變反相器112a。在一些實(shí)施例中，第一部分IlOa包括一個(gè)可變反相器、五個(gè)可變反相器或七個(gè)可變反相器。每一個(gè)可變反相器112a都具有相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，至少一個(gè)可變反相器112a具有與其他至少一個(gè)可變反相器112a不同的結(jié)構(gòu)。
[0040]第一部分IlOa也包括反饋傳輸門(mén)114a，以將第一部分的輸出端選擇性地反饋至第一部分的輸入端。在一些實(shí)施例中，反饋傳輸門(mén)114a被配置為通過(guò)外部電路來(lái)控制。在一些實(shí)施例中，外部電路包括與閃爍噪聲測(cè)量電路100集成在同一器件中的控制電路、與閃爍噪聲測(cè)量電路位于不同器件的測(cè)試電路或其他合適的控制電路。在第一部分IlOa與第二部分IlOb斷開(kāi)(例如，未激活連接傳輸門(mén)116a部分)的測(cè)量設(shè)置中，激活反饋傳輸門(mén)114a，以將可變反相器112a的輸出端連接至可變反相器的輸入端。在一些實(shí)施例中，通過(guò)不同的開(kāi)關(guān)元件來(lái)替換反饋傳輸門(mén)114a。在一些實(shí)施例中，通過(guò)晶體管、邏輯門(mén)、晶閘管或其他合適的開(kāi)關(guān)元件來(lái)替換反饋傳輸門(mén)114a。
[0041]連接傳輸門(mén)116a被配置為將可變反相器112a選擇性地連接至可變反相器112b。將可變反相器112a與可變反相器112b選擇性地連接有助于調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，連接傳輸門(mén)116a被配置為通過(guò)外部電路來(lái)控制。在一些實(shí)施例中，控制連接傳輸門(mén)116a的外部電路與控制反饋傳輸門(mén)114a的外部電路相同。在一些實(shí)施例中，控制連接傳輸門(mén)116a的外部電路與控制反饋傳輸門(mén)114a的外部電路不同。在一些實(shí)施例中，連接傳輸門(mén)116a具有與反饋傳輸門(mén)114a相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，連接傳輸門(mén)116a具有與反饋傳輸門(mén)114a不同的結(jié)構(gòu)。
[0042]第二部分IlOb包括兩個(gè)可變反相器112b。在一些實(shí)施例中，第二部分IlOb包括多于或少于兩個(gè)可變反相器112b。在一些實(shí)施例中，第二部分IlOb包括一個(gè)可變反相器、四個(gè)可變反相器或六個(gè)可變反相器。每一個(gè)可變反相器112b都具有相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，至少一個(gè)可變反相器112b具有與其他至少一個(gè)可變反相器112b不同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，可變反相器112b具有與可變反相器112a相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，可變反相器112b具有與可變反相器112a不同的結(jié)構(gòu)。
[0043]第二部分IlOb也包括反饋傳輸門(mén)114b，以將第二部分的輸出端選擇性地反饋至第一部分的輸入端。在一些實(shí)施例中，反饋傳輸門(mén)114b被配置為通過(guò)外部電路來(lái)控制。在一些實(shí)施例中，通過(guò)與反饋傳輸門(mén)114a和連接傳輸門(mén)116a中的至少一個(gè)相同的外部電路來(lái)控制反饋傳輸門(mén)114b。在一些實(shí)施例中，通過(guò)與反饋傳輸門(mén)114a和連接傳輸門(mén)116a中的至少一個(gè)不同的外部電路來(lái)控制反饋傳輸門(mén)114b。在第一部分IlOa與第二部分IlOb連接(例如，激活連接傳輸門(mén)116a)并且第二部分IlOb與后續(xù)部分?jǐn)嚅_(kāi)(例如，未激活連接傳輸門(mén)116b)的測(cè)量布置中，激活反饋傳輸門(mén)114b，以將可變反相器112b的輸出端連接至可變反相器112a的輸入端。在一些實(shí)施例中，反饋傳輸門(mén)114b具有與反饋傳輸門(mén)114a和連接傳輸門(mén)116a中的至少一個(gè)相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，反饋傳輸門(mén)114b具有與反饋傳輸門(mén)114a和連接傳輸門(mén)116a中的至少一個(gè)不同的結(jié)構(gòu)。
[0044]連接傳輸門(mén)116b被配置為將可變反相器112b選擇性地連接至閃爍噪聲測(cè)量電路100的后續(xù)部分中的可變反相器。將可變反相器112b與后續(xù)部分中的可變反相器選擇性地連接有助于調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，連接傳輸門(mén)116b被配置為通過(guò)外部電路來(lái)控制。在一些實(shí)施例中，控制連接傳輸門(mén)116b的外部電路與控制反饋傳輸門(mén)114a、連接傳輸門(mén)116a和反饋傳輸門(mén)114b中的至少一個(gè)的外部電路相同。在一些實(shí)施例中，控制連接傳輸門(mén)116b的外部電路與控制反饋傳輸門(mén)114a、連接傳輸門(mén)116a和反饋傳輸門(mén)114b中的至少一個(gè)的外部電路不同。在一些實(shí)施例中，連接傳輸門(mén)116b具有與反饋傳輸門(mén)114a、連接傳輸門(mén)116a和反饋傳輸門(mén)114b中的至少一個(gè)相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，連接傳輸門(mén)116b具有與反饋傳輸門(mén)114a、連接傳輸門(mén)116a和反饋傳輸門(mén)114b中的至少一個(gè)不同的結(jié)構(gòu)。
[0045]在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路100的每一個(gè)后續(xù)部分都具有與第二部分IlOb相同的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路100的至少一個(gè)后續(xù)部分具有與第一部分I1a和第二部分I1b中的至少一個(gè)相同的級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路100的至少一個(gè)后續(xù)部分具有與第一部分I 1a和第二部分I 1b中的至少一個(gè)不同的級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路100的至少一個(gè)后續(xù)部分不包括反饋傳輸門(mén)和連接傳輸門(mén)中的至少一個(gè)。例如，最終的部分(即，在電路上距離第一部分IlOa最遠(yuǎn)的部分)不具有反饋傳輸門(mén)和連接傳輸門(mén)。
[0046]可通過(guò)光譜分析儀來(lái)測(cè)量閃爍噪聲測(cè)量電路的相位噪聲。在操作中，閃爍噪聲測(cè)量電路100可用于調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)和上升斜率/下降斜率的比率。通過(guò)選擇性地激活和未激活閃爍噪聲測(cè)量電路100的反饋傳輸門(mén)和連接傳輸門(mén)來(lái)調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)。通過(guò)改變施加于閃爍噪聲測(cè)量電路100的可變反相器(例如，可變反相器112a或可變反相器112b)的驅(qū)動(dòng)力來(lái)調(diào)節(jié)上升斜率/下降斜率的比率。調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)和上升斜率/下降斜率的比率有助于確定測(cè)量的相位噪聲的精度。調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)和上升斜率/下降斜率的比率還產(chǎn)生關(guān)于閃爍噪聲的大量可能的結(jié)果。結(jié)果池(pool)用于確定器件的閃爍噪聲。在一些實(shí)施例中，一閃爍噪聲(即，最大的閃爍噪聲)從結(jié)果池中被選作最差的結(jié)果。在一些實(shí)施例中，一閃爍噪聲(即，最小的閃爍噪聲)從結(jié)果池中被選作最好的結(jié)果。在一些實(shí)施例中，基于結(jié)果池的平均值、中間值、眾值(mode)、標(biāo)準(zhǔn)差計(jì)算來(lái)確定閃爍噪聲。
[0047]圖2是根據(jù)一些實(shí)施例的可變反相器200的原理圖?？勺兎聪嗥?00包括第一P型晶體管212、第一 η型晶體管214、第二 P型晶體管216和第二 η型晶體管218。第一 P型晶體管212的源極連接至第二 P型晶體管216的漏極。第一 P型晶體管212的漏極連接至第一 η型晶體管214的漏極并且被配置為提供輸出信號(hào)Vout。第一 P型晶體管212的柵極連接至第一 η型晶體管214的柵極并且被配置為接收輸入信號(hào)Vin。第一 η型晶體管214的源極連接至第二 η型晶體管218的漏極。第二 P型晶體管216的源極連接至電源電壓VDD。第二 P型晶體管216的柵極被配置為接收第一偏壓Vp。第二 η型晶體管218的源極連接至參考電壓VSS。第二 η型晶體管218的柵極被配置為接收第二偏壓Vn。
[0048]在一些實(shí)施例中，第一P型晶體管212、第一η型晶體管214、第二P型晶體管216和第二 η型晶體管218中的至少一個(gè)是金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(M0SFET)、鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FinFET)、圍柵晶體管、雙極結(jié)型晶體管(BJT)或其他合適的晶體管。
[0049]在一些實(shí)施例中，可變反相器112a(圖1)或可變反相器112b具有可變反相器200的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，從閃爍噪聲測(cè)量電路(例如，閃爍噪聲測(cè)量電路100)的前一級(jí)接收輸入信號(hào)Vin。在一些實(shí)施例中，輸入信號(hào)Vin是閃爍噪聲測(cè)量電路的輸入。在一些實(shí)施例中，將輸出信號(hào)Vout提供給閃爍噪聲測(cè)量電路的后一級(jí)。在一些實(shí)施例中，測(cè)量輸出信號(hào)Vout，以確定器件的閃爍噪聲。
[0050]第一偏壓信號(hào)Vp被配置為調(diào)節(jié)可變反相器200中的電源電壓VDD的驅(qū)動(dòng)力。在一些實(shí)施例中，電源電壓VDD是器件的工作電壓。在一些實(shí)施例中，電源電壓VDD與器件的工作電壓不同。在一些實(shí)施例中，通過(guò)外部控制電路提供第一偏壓信號(hào)Vp。在一些實(shí)施例中，用于提供第一偏壓信號(hào)Vp的外部控制電路與用于控制反饋傳輸門(mén)114a(圖1)、連接傳輸門(mén)116a、反饋傳輸門(mén)114b和連接傳輸門(mén)116b中的至少一個(gè)的外部控制電路相同。在一些實(shí)施例中，用于提供第一偏壓信號(hào)Vp的外部控制電路與用于控制反饋傳輸門(mén)114a(圖1)、連接傳輸門(mén)116a、反饋傳輸門(mén)114b和連接傳輸門(mén)116b中的至少一個(gè)的外部控制電路不同。
[0051]第二偏壓信號(hào)Vn被配置為調(diào)節(jié)可變反相器200中的參考電壓VSS的驅(qū)動(dòng)力。在一些實(shí)施例中，參考電壓VSS是器件的參考電壓。在一些實(shí)施例中，參考電壓VSS與器件的參考電壓不同。在一些實(shí)施例中，參考電壓VSS是接地電壓。在一些實(shí)施例中，參考電壓VSS與接地電壓不同。在一些實(shí)施例中，通過(guò)外部控制電路提供第二偏壓信號(hào)Vn。在一些實(shí)施例中，用于提供第二偏壓信號(hào)Vn的外部控制電路與用于控制反饋傳輸門(mén)114a(圖1)、連接傳輸門(mén)116a、反饋傳輸門(mén)114b和連接傳輸門(mén)116b中的至少一個(gè)的外部控制電路或用于提供第一偏壓信號(hào)Vp的外部控制電路相同。在一些實(shí)施例中，用于提供第二偏壓信號(hào)Vn的外部控制電路與用于控制反饋傳輸門(mén)114a(圖1 )、連接傳輸門(mén)116a、反饋傳輸門(mén)114b和連接傳輸門(mén)116b中的至少一個(gè)的外部控制電路或用于提供第一偏壓信號(hào)Vp的外部控制電路不同。
[0052]通過(guò)調(diào)節(jié)電源電壓VDD和參考電壓VSS的驅(qū)動(dòng)力，得到了閃爍噪聲測(cè)量電路(例如，閃爍噪聲測(cè)量電路100(圖1))的上升斜率/下降斜率的不同比值β。在一些實(shí)施例中，向閃爍噪聲測(cè)量電路的每一個(gè)可變反相器(例如，可變反相器112a或可變反相器112b)都提供相同的第一偏壓信號(hào)Vp和第二偏壓信號(hào)Vn。在一些實(shí)施例中，與閃爍噪聲測(cè)量電路的另一可變反相器相比，向閃爍噪聲測(cè)量電路的至少一個(gè)可變反相器提供不同的第一偏壓信號(hào)Vp或第二偏壓信號(hào)Vn。
[0053]圖3是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路300的原理圖。閃爍噪聲測(cè)量電路300包括第一子電路310、第二子電路320和第三子電路330。每一個(gè)子電路310、320和330都分別是環(huán)形振蕩器。子電路310、320和330相互分離，S卩，子電路之間不共用信號(hào)。第一子電路310包括串聯(lián)連接的三個(gè)反相器312。電容器314連接至每一個(gè)反相器312的輸出端。反相器312串列中的最后一個(gè)反相器的輸出端反饋至第一子電路310的反相器串列的輸入端。第二子電路320包括串聯(lián)連接的五個(gè)反相器322。電容器324連接至每一個(gè)反相器322的輸出端。反相器322串列中的最后一個(gè)反相器的輸出端反饋至第二子電路320的反相器串列的輸入端。第三子電路330包括串聯(lián)連接的2X+1個(gè)反相器332，其中X是大于或等于I的整數(shù)。電容器334連接至每一個(gè)反相器332的輸出端反相器332串列中的最后一個(gè)反相器的輸出端反饋至第三子電路330的反相器串列的輸入端。
[0054]與閃爍噪聲測(cè)量電路100(圖1)相比，閃爍噪聲測(cè)量電路300包括固定的級(jí)數(shù)。閃爍噪聲測(cè)量電路300的每一個(gè)子電路都包括不同的級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路300包括多于三個(gè)子電路。隨著子電路數(shù)量的增加，閃爍噪聲測(cè)量的結(jié)果池中的結(jié)果的數(shù)量增加。然而，隨著子電路數(shù)量的增加，閃爍噪聲測(cè)量電路300所占的器件的面積增大。在一些實(shí)施例中，反相器312、反相器322和反相器332中的至少一個(gè)是可變反相器(例如，可變反相器200(圖2))。在第一子電路310、第二子電路320和第三子電路330中包括可變反相器為每一個(gè)子電路提供了調(diào)節(jié)上升斜率/下降斜率的比率β的能力。
[0055]在操作中，測(cè)量每一個(gè)子電路(例如，第一子電路310、第二子電路320和第三子電路330)的輸出，以確定閃爍噪聲的結(jié)果池。在包括可變反相器的一些實(shí)施例中，也可以調(diào)節(jié)上升斜率/下降斜率的比率β，以增加結(jié)果池中的結(jié)果的數(shù)量。在一些實(shí)施例中，一閃爍噪聲(即，最大的閃爍噪聲)從結(jié)果池中被選作最差的結(jié)果。在一些實(shí)施例中，一閃爍噪聲(即，最小的閃爍噪聲)從結(jié)果池中被選作最好的結(jié)果。在一些實(shí)施例中，基于結(jié)果池的平均值、中間值、眾值、標(biāo)準(zhǔn)差計(jì)算來(lái)確定閃爍噪聲。
[0056]圖4A是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路400的原理圖。閃爍噪聲測(cè)量電路400包括第一子電路41 O、第二子電路420和第三子電路430。每一個(gè)子電路410、420和430分別是環(huán)形振蕩器。子電路410、420和430彼此分離(S卩，子電路之間不共用信號(hào))。第一子電路410包括串聯(lián)連接的兩個(gè)放大器412。每一個(gè)放大器412都包括反相輸入端、非反相輸入端、反相輸出端和非反相輸出端。一個(gè)放大器412的反相輸出端連接至后一放大器412的非反相輸入端。一個(gè)放大器412的非反相輸出端連接至后一放大器412的反相輸入端。放大器412串列中的最后一個(gè)放大器的非反相輸出端反饋至第一子電路410的放大器串列的非反相輸入端。放大器412串列中的最后一個(gè)放大器的反相輸出端反饋至第一子電路410的放大器串列的反相輸入端。第二子電路420包括串聯(lián)連接的三個(gè)放大器422。每一個(gè)放大器422都包括反相輸入端、非反相輸入端、反相輸出端和非反相輸出端。一個(gè)放大器422的反相輸出端連接至后一放大器422的非反相輸入端。一個(gè)放大器422的非反相輸出端連接至后一放大器422的反相輸入端。放大器422串列中的最后一個(gè)放大器的非反相輸出端反饋至第二子電路420的放大器串列的非反相輸入端。放大器422串列中的最后一個(gè)放大器的反相輸出端反饋至第二子電路420的放大器串列的反相輸入端。第三子電路430包括串聯(lián)連接的X個(gè)放大器432，其中X是大于或等于I的整數(shù)。每一個(gè)放大器432都包括反相輸入端、非反相輸入端、反相輸出端和非反相輸出端。一個(gè)放大器432的反相輸出端連接至后一放大器432的非反相輸入端。一個(gè)放大器432的非反相輸出端連接至后一放大器432的反相輸入端。放大器432串列中的最后一個(gè)放大器的非反相輸出端反饋至第三子電路430的放大器串列的非反相輸入端。放大器432串列中的最后一個(gè)放大器的反相輸出端反饋至第三子電路430的放大器串列的反相輸入端。
[0057]與閃爍噪聲測(cè)量電路100(圖1)相比，閃爍噪聲測(cè)量電路400包括固定的級(jí)數(shù)。然而，閃爍噪聲測(cè)量電路400的每一個(gè)放大器(例如，放大器412、放大器422或放大器432)都被當(dāng)作兩級(jí)。例如，子電路430中的級(jí)數(shù)是2X ο閃爍噪聲測(cè)量電路400的每一個(gè)子電路都包括不同的級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，閃爍噪聲測(cè)量電路400包括多于三個(gè)子電路。隨著子電路數(shù)量的增加，閃爍噪聲測(cè)量的結(jié)果池中的結(jié)果的數(shù)量增加。然而，隨著子電路數(shù)量的增加，閃爍噪聲測(cè)量電路400所占的器件的面積增大。
[0058]在操作中，測(cè)量每一個(gè)子電路(例如，第一子電路410、第二子電路420和第三子電路430)的輸出，以確定閃爍噪聲的結(jié)果池。在一些實(shí)施例中，一閃爍噪聲(即，最大的閃爍噪聲)從結(jié)果池中被選作最差的結(jié)果。在一些實(shí)施例中，一閃爍噪聲(即，最小的閃爍噪聲)從結(jié)果池中被選作最好的結(jié)果。在一些實(shí)施例中，基于結(jié)果池的平均值、中間值、眾值、標(biāo)準(zhǔn)差計(jì)算來(lái)確定閃爍噪聲。
[0059]圖4B是根據(jù)一些實(shí)施例的用于測(cè)量閃爍噪聲的閃爍噪聲測(cè)量電路400’的原理圖。閃爍噪聲測(cè)量電路400’與閃爍噪聲測(cè)量電路100(圖1)類(lèi)似。與閃爍噪聲測(cè)量電路100相比，閃爍噪聲測(cè)量電路400’包括代替可變反相器的放大器412’和放大器422’。使用反饋傳輸門(mén)414’來(lái)控制閃爍噪聲測(cè)量電路400 ’的部分410 ’內(nèi)的反饋。通過(guò)連接傳輸門(mén)416 ’來(lái)控制部分410 ’與部分420 ’之間的連接。使用反饋傳輸門(mén)424 ’來(lái)控制閃爍噪聲測(cè)量電路400 ’的部分420’內(nèi)的反饋。通過(guò)連接傳輸門(mén)426’來(lái)控制部分420’與后續(xù)部分之間的連接。
[0060]閃爍噪聲測(cè)量電路400’中傳輸門(mén)的結(jié)構(gòu)和控制與以上關(guān)于閃爍噪聲測(cè)量電路100(圖1)所述的結(jié)構(gòu)和控制類(lèi)似。與閃爍噪聲測(cè)量電路100相比，由于閃爍噪聲測(cè)量電路400’中包括代替可變反相器的放大器，所以閃爍噪聲測(cè)量電路400’中控制反饋和部分連接均采用兩個(gè)傳輸門(mén)。
[0061]圖5是根據(jù)一些實(shí)施例的測(cè)量閃爍噪聲的方法500的流程圖。方法500開(kāi)始于操作502，其中使用不同的設(shè)置來(lái)測(cè)量相位噪聲。在一些實(shí)施例中，使用光譜分析儀來(lái)測(cè)量相位噪聲。光譜分析儀測(cè)量閃爍噪聲測(cè)量電路(例如，閃爍噪聲測(cè)量電路100(圖1)、300(圖3)、400(圖4A)或400’(圖4B))的輸出。
[0062]測(cè)量在不同級(jí)數(shù)N時(shí)的相位噪聲。在一些實(shí)施例中，通過(guò)控制閃爍噪聲測(cè)量電路(例如，閃爍噪聲測(cè)量電路100或400’)的不同部分之間的連接來(lái)調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)。在一些實(shí)施例中，通過(guò)測(cè)量具有不同級(jí)數(shù)的不同子電路(例如，閃爍噪聲測(cè)量電路300或400)的輸出來(lái)調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)。
[0063]在一些實(shí)施例中，使用不同的上升斜率/下降斜率的比率β來(lái)測(cè)量相位噪聲。在一些實(shí)施例中，通過(guò)改變施加于閃爍噪聲測(cè)量電路中一級(jí)的驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)調(diào)節(jié)上升斜率/下降斜率的比率。
[0064]方法500繼續(xù)操作504，其中測(cè)量上升斜率/下降斜率的比率。在一些實(shí)施例中，通過(guò)檢測(cè)閃爍噪聲測(cè)量電路的占空比來(lái)測(cè)量上升斜率/下降斜率的比率。在一些實(shí)施例中，使用時(shí)間電流轉(zhuǎn)換(TCC)電路來(lái)檢測(cè)閃爍噪聲測(cè)量電路的占空比。在一些實(shí)施例中，TCC電路與美國(guó)申請(qǐng)第13/221,628號(hào)的美國(guó)早期公開(kāi)2013/0049810中所描述的TCC電路類(lèi)似，其內(nèi)容結(jié)合于此作為參考。TCC電路用于檢測(cè)閃爍噪聲測(cè)量電路的占空比。通過(guò)確定信號(hào)從參考電壓(例如，參考電壓VSS)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娫措妷?例如，電源電壓VDD)的時(shí)長(zhǎng)，能夠計(jì)算出上升斜率的值。同樣地，信號(hào)從電源電壓轉(zhuǎn)變?yōu)閰⒖茧妷旱臅r(shí)長(zhǎng)的確定能夠計(jì)算出下降斜率的值。使用上升斜率的值和下降斜率的值能夠計(jì)算出上升斜率/下降斜率的比率β。在一些實(shí)施例中，同時(shí)執(zhí)行操作504與操作502。在一些實(shí)施例中，在操作502之后執(zhí)行操作504。
[0065]在操作506中，基于測(cè)量的相位噪聲、測(cè)量的上升斜率/下降斜率的比率以及閃爍噪聲測(cè)量電路中所使用的級(jí)數(shù)來(lái)計(jì)算閃爍噪聲?；谙辔辉肼?、閃爍噪聲測(cè)量電路中的級(jí)數(shù)以及輸出波形的上升斜率與輸出波形的下降斜率的比率來(lái)計(jì)算閃爍噪聲。在一些實(shí)施例中，方法500重復(fù)多次，以生成閃爍噪聲結(jié)果池。在一些實(shí)施例中，從閃爍噪聲結(jié)果池中選擇閃爍噪聲(例如，選擇最好的閃爍噪聲值、選擇最差的閃爍噪聲值或選擇最常見(jiàn)的閃爍噪聲值)。在一些實(shí)施例中，基于閃爍噪聲結(jié)果池(例如，通過(guò)確定平均值、通過(guò)識(shí)別中間值或使用標(biāo)準(zhǔn)差計(jì)算)來(lái)計(jì)算閃爍噪聲。
[0066]在一些實(shí)施例中，使用相同的器件(例如，光譜分析儀)來(lái)執(zhí)行操作502、504和506。在一些實(shí)施例中，操作502、504和506中的至少一個(gè)所使用的器件與操作502、504和506中的至少一個(gè)其他的操作所使用的器件不同。在一些實(shí)施例中，方法500包括附加的操作，諸如，將閃爍噪聲結(jié)果儲(chǔ)存在查找表中以用于與其他制造的器件相比較、校準(zhǔn)測(cè)量設(shè)備或其他合適的操作。在一些實(shí)施例中，調(diào)整方法500的操作順序(例如，在操作502之前執(zhí)行操作504)。
[0067]該說(shuō)明書(shū)的一個(gè)方面涉及一種閃爍噪聲測(cè)量電路。閃爍噪聲測(cè)量電路包括第一部分。第一部分包括串聯(lián)連接的多個(gè)第一級(jí)。第一部分還包括:第一反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將多個(gè)第一級(jí)的輸出選擇性地反饋至多個(gè)第一級(jí)的輸入端。第一部分還包括第一部分連接開(kāi)關(guān)元件。閃爍噪聲測(cè)量電路還包括連接至第一部分的第二部分。第二部分包括串聯(lián)連接的多個(gè)第二級(jí)，其中第一部分連接開(kāi)關(guān)元件被配置為將多個(gè)第二級(jí)選擇性地連接至多個(gè)第一級(jí)。第二部分還包括:第二反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將多個(gè)第二級(jí)的輸出選擇性地反饋至多個(gè)第一級(jí)的輸入端。
[0068]該說(shuō)明書(shū)的另一方面涉及一種閃爍噪聲測(cè)量電路。閃爍噪聲測(cè)量電路包括第一子電路，第一子電路包括串聯(lián)連接的多個(gè)第一級(jí)。閃爍噪聲測(cè)量電路還包括第二子電路，第二子電路包括串聯(lián)連接的多個(gè)第二級(jí)，其中多個(gè)第二級(jí)的級(jí)數(shù)與多個(gè)第一級(jí)的級(jí)數(shù)不同，并且第二子電路與第一子電路分離。閃爍噪聲測(cè)量電路還包括第三子電路，第三子電路包括串聯(lián)連接的多個(gè)第三級(jí)，其中多個(gè)第三級(jí)的級(jí)數(shù)與多個(gè)第二級(jí)的級(jí)數(shù)和多個(gè)第一級(jí)的級(jí)數(shù)不同，并且第三子電路與第一子電路分離并且與第二子電路分離。
[0069]該說(shuō)明書(shū)的又一方面涉及一種確定閃爍噪聲的方法。方法包括使用第一閃爍噪聲測(cè)量電路來(lái)測(cè)量第一相位噪聲，其中第一閃爍噪聲測(cè)量電路具有第一級(jí)數(shù)和第一上升斜率/下降斜率比率。方法還包括使用第二閃爍噪聲測(cè)量電路來(lái)測(cè)量第二相位噪聲，其中第二閃爍噪聲測(cè)量電路具有第二級(jí)數(shù)和第二上升斜率/下降斜率比率。方法還包括確定第一上升斜率/下降斜率比率。方法還包括確定第二上升斜率/下降斜率比率。方法還包括基于測(cè)量的第一相位噪聲、第一級(jí)數(shù)以及確定的第一上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算第一閃爍噪聲。該方法還包括基于測(cè)量的第二相位噪聲、第二級(jí)數(shù)以及確定的第二上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算第二閃爍噪聲。
[0070]上面論述了若干實(shí)施例的部件，使得本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以更好地理解本發(fā)明的各個(gè)方面。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，可以很容易地使用本發(fā)明作為基礎(chǔ)來(lái)設(shè)計(jì)或更改其他用于達(dá)到與這里所介紹實(shí)施例相同的目的和/或?qū)崿F(xiàn)相同優(yōu)點(diǎn)的處理和結(jié)構(gòu)。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員也應(yīng)該意識(shí)到，這種等效構(gòu)造并不背離本發(fā)明的精神和范圍，并且在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以進(jìn)行多種變化、替換以及改變。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種閃爍噪聲測(cè)量電路，包括: 第一部分，所述第一部分包括: 多個(gè)第一級(jí)，串聯(lián)連接； 第一反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將所述多個(gè)第一級(jí)的輸出選擇性地反饋至所述多個(gè)第一級(jí)的輸入端;和 第一部分連接開(kāi)關(guān)元件；以及 第二部分，連接至所述第一部分，其中，所述第二部分包括: 多個(gè)第二級(jí)，串聯(lián)連接，其中，所述第一部分連接開(kāi)關(guān)元件被配置為將所述多個(gè)第二級(jí)選擇性地連接至所述多個(gè)第一級(jí);和 第二反饋開(kāi)關(guān)元件，被配置為將所述多個(gè)第二級(jí)的輸出選擇性地反饋至所述多個(gè)第一級(jí)的輸入端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閃爍噪聲測(cè)量電路，其中，所述多個(gè)第一級(jí)中的每一級(jí)都是可變反相器。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閃爍噪聲測(cè)量電路，其中，所述可變反相器被配置為接收用于調(diào)節(jié)所述可變反相器的驅(qū)動(dòng)電壓的第一偏壓和第二偏壓。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閃爍噪聲測(cè)量電路，其中，所述多個(gè)第一級(jí)中的每一級(jí)都是放大器，并且所述放大器包括反相輸入端、非反相輸入端、反相輸出端和非反相輸出端。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的閃爍噪聲測(cè)量電路，其中，所述第一反饋開(kāi)關(guān)元件位于所述多個(gè)第一級(jí)中的最后一級(jí)的非反相輸出端與所述多個(gè)第一級(jí)中的最初一級(jí)的非反相輸入端之間。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的閃爍噪聲測(cè)量電路，其中，所述第一部分連接開(kāi)關(guān)元件位于所述多個(gè)第一級(jí)中的最后一級(jí)的非反相輸出端與所述多個(gè)第二級(jí)中的最初一級(jí)的反相輸入端之間。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閃爍噪聲測(cè)量電路，其中，所述第一反饋開(kāi)關(guān)元件是傳輸門(mén)、邏輯門(mén)、晶體管或晶閘管。8.一種閃爍噪聲測(cè)量電路，包括: 第一子電路，包括串聯(lián)連接的多個(gè)第一級(jí)； 第二子電路，包括串聯(lián)連接的多個(gè)第二級(jí)，其中，所述多個(gè)第二級(jí)中的級(jí)數(shù)與所述多個(gè)第一級(jí)中的級(jí)數(shù)不同，并且所述第二子電路與所述第一子電路分離；以及 第三子電路，包括串聯(lián)連接的多個(gè)第三級(jí)，其中，所述多個(gè)第三級(jí)中的級(jí)數(shù)與所述第二級(jí)中的級(jí)數(shù)和所述多個(gè)第一級(jí)中的級(jí)數(shù)不同，并且所述第三子電路與所述第一子電路和所述第二子電路均分離。9.一種確定閃爍噪聲的方法，所述方法包括: 使用第一閃爍噪聲的測(cè)量電路來(lái)測(cè)量第一相位噪聲，其中，所述第一閃爍噪聲測(cè)量電路具有第一級(jí)數(shù)和第一上升斜率/下降斜率比率； 使用第二閃爍噪聲的測(cè)量電路來(lái)測(cè)量第二相位噪聲，其中，所述第二閃爍噪聲測(cè)量電路具有第二級(jí)數(shù)和第二上升斜率/下降斜率比率； 確定所述第一上升斜率/下降斜率比率； 確定所述第二上升斜率/下降斜率比率； 基于測(cè)得的所述第一相位噪聲、所述第一級(jí)數(shù)以及確定的所述第一上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算所述第一閃爍噪聲；以及 基于測(cè)量的所述第二相位噪聲、所述第二級(jí)數(shù)以及確定的所述第二上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算所述第二閃爍噪聲。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，計(jì)算所述第一閃爍噪聲包括:基于所述第一相位噪聲、所述第一級(jí)數(shù)和所述第一上升斜率/下降斜率比率來(lái)計(jì)算所述第一閃爍噪聲。
【文檔編號(hào)】G01R29/26GK106053972SQ201510565931
【公開(kāi)日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2015年9月8日
【發(fā)明人】黎兆杰, 沈瑞濱
【申請(qǐng)人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司