一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體爐管設(shè)備運(yùn)作過(guò)程中，氣體管路大多需要加熱以保證管路暢通以及管路內(nèi)化學(xué)品特性穩(wěn)定，現(xiàn)有的大多數(shù)半導(dǎo)體爐管設(shè)備都采用如圖1所示包裹加熱帶，通過(guò)溫度控制器來(lái)控制溫度。這一方式需要手動(dòng)設(shè)定溫度控制器的預(yù)定值，且該溫度在半導(dǎo)體爐管設(shè)備的運(yùn)作過(guò)程中恒定不變，無(wú)法通過(guò)程序控制。
[0003]實(shí)際運(yùn)用中，很多情況下我們需要改變?cè)O(shè)定的管路溫度以滿足特定條件下的需要，這就需要工程師手動(dòng)更改溫度控制器的設(shè)定值，并在作業(yè)結(jié)束后恢復(fù)初始狀態(tài)，并作口頭和書面交接。
[0004]為改變溫度控制器的設(shè)定值，現(xiàn)有技術(shù)中也有少數(shù)機(jī)臺(tái)采用可編程邏輯控制器(PLC)進(jìn)行程序控制，可以在軟件中自由設(shè)定加熱帶溫度，但通常這種控制方式集成度較高，成本也會(huì)提高數(shù)倍。
[0005]由此我們可以看出，現(xiàn)有的溫度設(shè)定模式一旦有人為疏失，會(huì)使制程條件發(fā)生改變，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢；而若進(jìn)行PLC程控升級(jí)改造，會(huì)花費(fèi)大量的成本，大概每臺(tái)設(shè)備需要花費(fèi)數(shù)萬(wàn)美金。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)，通過(guò)增加數(shù)個(gè)外接溫度控制器，每個(gè)所述溫度控制器設(shè)定不同的溫度，利用控制電路中的交流接觸器根據(jù)外部輸出信號(hào)在多個(gè)溫度控制器之間自動(dòng)切換，實(shí)現(xiàn)與溫度控制器連接的加熱帶溫度程序控制，避免手動(dòng)操作失誤的風(fēng)險(xiǎn)，且控制電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。
[0007]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:
[0008]提供一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度控制系統(tǒng)包括:
[0009]內(nèi)部溫度控制器，設(shè)置有第一設(shè)定溫度；
[0010]外接溫度控制器，設(shè)置有第二設(shè)定溫度；
[0011]控制電路，分別與所述內(nèi)部溫度控制器以及所述外接溫度控制器連接；
[0012]其中，所述控制電路中設(shè)置有交流接觸器，利用該交流接觸器來(lái)控制所述內(nèi)部溫度控制器或所述外接溫度控制器的接通或斷開，以使所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備的工作溫度在所述第一設(shè)定溫度和所述第二設(shè)定溫度之間切換。
[0013]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述控制電路還包括:
[0014]加熱帶，分別與所述內(nèi)部溫度控制器以及所述外接溫度控制器通過(guò)所述交流接觸器連接；
[0015]其中，所述交流接觸器控制所述加熱帶與所述內(nèi)部溫度控制器連接，以將所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備的工作溫度加熱到所述第一設(shè)定溫度；或者
[0016]控制所述加熱帶與所述外接溫度控制器連接，以將所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備的工作溫度加熱到所述第二設(shè)定溫度。
[0017]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備包括:
[0018]控制模塊，分別與所述內(nèi)部溫度控制器和所述外接溫度控制器連接；
[0019]其中，所述控制模塊發(fā)送控制信號(hào)，以啟動(dòng)所述內(nèi)部溫度控制器同時(shí)關(guān)閉所述外接溫度控制器，或者
[0020]關(guān)閉所述內(nèi)部溫度控制器同時(shí)啟動(dòng)所述外接溫度控制器。
[0021]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述溫度控制系統(tǒng)還包括:
[0022]熱電偶電路，分別與所述內(nèi)部溫度控制器以及所述外接溫度控制器連接，以分別實(shí)現(xiàn)對(duì)所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備工作溫度的偵測(cè)。
[0023]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述溫度控制系統(tǒng)還包括:
[0024]供電電源，分別與所述內(nèi)部溫度控制器以及所述外接溫度控制器連接，以提供給所述內(nèi)部溫度控制器和所述外接溫度控制器電能。
[0025]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述外接溫度控制器的輸入輸出規(guī)格與所述內(nèi)部溫度控制器的輸入輸出規(guī)格相同。
[0026]—種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度控制系統(tǒng)包括:
[0027]若干溫度控制器，分別設(shè)定有互不相同的若干固定溫度；
[0028]控制電路，分別與所述若干溫度控制器連接；
[0029]其中，所述控制電路中設(shè)置有交流接觸器，所述交流接觸器控制所述若干溫度控制器的接通或斷開，以切換所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備的工作溫度。
[0030]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述交流接觸器每次僅與所述若干溫度控制器中的一個(gè)溫度控制器連接，以將所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備的工作溫度切換至由該溫度控制器設(shè)定的固定溫度。
[0031]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述控制電路還包括:
[0032]加熱帶，分別與所述若干溫度控制器通過(guò)所述交流接觸器連接；
[0033]其中，所述交流接觸器控制所述加熱帶與所述若干溫度控制器中的一個(gè)溫度控制器連接，以將所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度切換至由該溫度控制器設(shè)定的固定溫度。
[0034]優(yōu)選的，上述的溫度控制系統(tǒng)，其中，所述半導(dǎo)體爐管設(shè)備包括控制模塊，分別與所述若干溫度控制器連接；
[0035]其中，所述控制模塊發(fā)送控制信號(hào)，以啟動(dòng)所述若干溫度控制器中的一個(gè)溫度控制器，同時(shí)關(guān)閉除該一個(gè)溫度控制器之外的所有剩余溫度控制器。
[0036]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:本實(shí)用新型提供的一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)，通過(guò)增加數(shù)個(gè)外接溫度控制器，每個(gè)所述溫度控制器設(shè)定不同的溫度，利用控制電路中的交流接觸器根據(jù)外部輸出信號(hào)在多個(gè)溫度控制器之間自動(dòng)切換，實(shí)現(xiàn)與溫度控制器連接的加熱帶溫度程序控制，避免手動(dòng)操作失誤的風(fēng)險(xiǎn)，且控制電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。
【附圖說(shuō)明】
[0037]通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。
[0038]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)；
[0039]圖2是本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)；
[0040]圖3是本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)的電路原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0041]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明，但是不作為本實(shí)用新型的限定。
[0042]參照?qǐng)D2，本實(shí)用新型提供的一種半導(dǎo)體爐管設(shè)備的溫度控制系統(tǒng)，包括內(nèi)部溫度控制器I (因該溫度控制器是機(jī)臺(tái)端控制器，因此稱之為內(nèi)部溫度控制器)，其上設(shè)置有輸入端11、溫度偵測(cè)端12、輸出端13以及控制端14。
[0043]外接溫度控制器2(因該溫度控制器是額外加裝的，因此稱之為外接溫度控制器)，其上相應(yīng)的也設(shè)置有輸入端21、溫度偵測(cè)端22、輸出端23以及控制端24。
[0044]作為一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，本實(shí)施例中采用輸入輸出規(guī)格與內(nèi)部溫度控制器I相同的外接溫度控制器2，以方便接線，不需要對(duì)電路進(jìn)行額外調(diào)試。
[0045]其中，內(nèi)部溫度控制器I的輸入端11和外接溫度控制器2的輸入端21并聯(lián)接入供電電源電路(圖中未標(biāo)示供電電源)，該供電電源提供給內(nèi)部溫度控制器I和外接溫度控制器2正常運(yùn)行所需要的工作電壓。內(nèi)部溫度控制器I的溫度偵測(cè)端12和外接溫度控制器2的溫度偵測(cè)端22并聯(lián)接入熱電偶電路(圖中標(biāo)記3表示熱電偶)，該熱電偶3用于實(shí)時(shí)偵測(cè)內(nèi)部溫度控制器I和外接溫度控制器2在工作時(shí)的升溫情況，在溫度升到設(shè)定值時(shí)發(fā)送相應(yīng)的控制信號(hào)以使內(nèi)部溫度控制器I或外接溫度控制器2保持相應(yīng)的設(shè)定溫度持續(xù)工作。
[0046]作為一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，本實(shí)施例中給內(nèi)部溫度控制器I和外接溫度控制器2分別設(shè)定不同的溫度，其中內(nèi)部溫度控制器I的設(shè)定溫度稱為第一設(shè)定溫度，外接溫度控制器2的設(shè)定溫度為第二設(shè)定溫度，以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體爐管設(shè)備在這兩個(gè)設(shè)定溫度之間相互切換。第一設(shè)定溫度和第二設(shè)定溫度的具體值根據(jù)工藝需求設(shè)定，如設(shè)定為半導(dǎo)體爐管設(shè)備在運(yùn)作時(shí)常用的兩個(gè)溫度。
[0047]內(nèi)部溫度控制器I的輸出端13和外接溫度控制器2的輸出端23并聯(lián)接入控制電路，該控制電路包括加熱帶4、交流接觸器KMl和KM2。交流接觸器KMl有四個(gè)開關(guān)K11、K12、K13、K14，交流接觸器KM2有四個(gè)開關(guān)K21、K22、K23、K24。內(nèi)部溫度控制器I的輸出端13通過(guò)交流接觸器KMl的開關(guān)Kll和Κ12，以及交流接觸器ΚΜ