本技術主要應用于半導體晶片加工使用倒角機的領域，具體涉及一種倒角機校正片固定裝置。

背景技術：

1、半導體晶片生產一般都會涉及邊緣倒角生產，邊緣倒角生產需要用到倒角機，倒角機必須進過校正才能生產。目前倒角機校正時校正片一般是通過手工放置固定進行校正的，手動固定時由于無法準確控制用力大小，校正片固定后在x軸和y軸方向都會有偏差。如若將校正片拉的緊，那么y軸方向校正值就會偏正值比較大，拉的輕，那么y方向校正值就會偏負值比較大，拉力大小忽大忽小，y軸校正值就會出現(xiàn)忽正忽負的狀況，比較難校正到目標值內。×軸方向如果拉力大小不同以及拉力方向偏差也都會出現(xiàn)同樣的狀況。

2、隨著半導體種類的增多，特別是碳化硅半導體晶片的生產，對倒角機校正準確度要求更高。硅晶片材質相對更軟，砂輪研削時比較容易，每次倒角邊時可以去除更多的直徑，校正偏差比較大時也不會有影響，碳化硅材質很硬，僅次于金剛石，金剛石砂輪研削很不容易，每次只能去除很小的直徑量，校正偏差值大時很容易出現(xiàn)圓周局部位置研削不到的狀況，并且對稱的位置由于研削量大容易出現(xiàn)碎邊，嚴重時會出現(xiàn)晶片破裂、局部破碎以及損傷砂輪溝槽狀況。因此研削此類超硬質材質晶片時需要將校正值控制很小，使整個圓周直徑去除量比較均勻。但手動放置固定又偏差比較大，需要多次校正才能將校正值控制在較小的范圍內，不僅耗時而且精度也不高。

技術實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有的技術不足，本實用新型提供了一種倒角機校正片固定裝置，解決了上述背景問題。

2、本實用新型的目的可通過下列技術方案來實現(xiàn)：一種倒角機校正片固定裝置。裝置包含四根支撐桿、兩根固定桿、一個固定軸、四個軸套、一個圓盤、一個標尺、一個拉力計和一根拉桿，支撐桿由支撐桿橫桿和支撐桿豎桿組成，固定桿由固定桿橫桿和固定桿豎桿組成；支撐桿與固定桿在圓盤一周，拉力計在圓盤中心位置，拉桿在拉力計中心位置，圓盤一側標有標尺。所述四根支撐桿可以轉動，所述兩根固定桿可以轉動，所述固定軸固定不動、所述軸套可以轉動、所述圓盤固定不動、所述拉力計固定不動、所述拉桿固定不動。

3、在本實用新型的一實施例中，所述支撐桿可以轉動，作為裝置的支撐腳，起去撐固定裝置作用。支撐桿可以轉動，支撐桿橫桿可以伸縮，適應不同形狀和大小的校正片放置盤。

4、在本實用新型的一實施例中，所述固定桿可以轉動，對校正片起固定作用。固定桿可以轉動，固定豎桿可以伸縮，適應不同尺寸的校正片，固定桿橫桿可以伸縮，適應不同形狀和大小的校正片放置盤。

5、在本實用新型的一實施例中，所述固定軸固定不動，起支撐圓盤和固定軸套作用，并為軸套轉動提供中心軸。

6、在本實用新型的一實施例中，所述軸套可以轉動，起固定支撐桿、固定桿和帶著支撐桿、固定桿轉動的作用。

7、在本實用新型的一實施例中，所述圓盤固定不動，為標尺和拉力計提供支撐作用。

8、在本實用新型的一實施例中，所述標尺固定不動，為固定桿轉動提供刻度依據(jù)，為拉力計和拉桿安裝提供方向指示作用。

9、在本實用新型的一實施例中，所述拉力計固定不動，為裝置固定校正片提供拉力依據(jù)作用，為拉桿固定提供支撐。

10、在本實用新型的一實施例中，所述拉桿固定不動，為操作人員拉動和推動裝置提供受力部件。

11、基于上述，本實用新型實施例的優(yōu)點與特點是，本裝置設計方案能為校正片固定時提供固定的拉力和固定的力作用方向，使每次校正時拉力和力作用方向一致，減少校正片固定時的偏差為倒角機校正帶入誤差。

技術特征：

1.一種倒角機校正片固定裝置，其特征是，該裝置由四根支撐桿、兩根固定桿、一個固定軸、四個軸套、一個圓盤、一個標尺、一個拉力計和一根拉桿構成，支撐桿由支撐桿橫桿和支撐桿豎桿組成，固定桿由固定桿橫桿和固定桿豎桿組成；支撐桿與固定桿在圓盤一周，拉力計在圓盤中心位置，拉桿在拉力計中心位置，圓盤一側標有標尺。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種倒角機校正片固定裝置，其特征是，該裝置的支撐桿橫桿可以伸縮，可以構成不同長度的支架，適應不同大小的校正片放置盤。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種倒角機校正片固定裝置，其特征是，該裝置的固定桿可以轉動，可以組成不同的夾角的固定桿，適應不同形狀的校正片放置盤。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種倒角機校正片固定裝置，其特征是，該裝置的固定桿橫桿可以伸縮，適應不同大小的校正片。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種倒角機校正片固定裝置，其特征是，該裝置的固定桿豎桿可以伸縮，適應不同形狀的校正片放置盤。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種倒角機校正片固定裝置，其特征是，該裝置安裝有拉力計，為固定校正片提供拉力依據(jù)。

技術總結
本技術提供一種倒角機校正片固定裝置，可以應用于半導體晶片生產中使用倒角機的各個領域。該裝置由四根支撐桿、兩根固定桿、四個軸套、一根固定軸、一個圓盤、一個標尺、一個拉力計和一根拉桿構成；支撐桿由支撐桿橫桿和支撐桿豎桿組成，固定桿由固定桿橫桿和固定桿豎桿組成；支撐桿與固定桿在圓盤一周，拉力計在圓盤中心位置，拉桿在拉力計中心位置，圓盤一側標有標尺。只要每次使用相同的拉力，就可以使校正片的固定位置偏差很小，避免手動固定時每次校正片的X軸和Y軸方向作用力因手動拉力大小不一樣出現(xiàn)校大的偏差，難達到校正目標值。

技術研發(fā)人員：黃秀揚,王超,李漢升,蔡雪良,朱雄雄
受保護的技術使用者：昆山中辰矽晶有限公司
技術研發(fā)日：20240330
技術公布日：2025/5/8