本申請涉及硅片生產(chǎn)，特別涉及一種石墨舟的硅片拍舟方法、裝置、設備及存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、隨著科技的進步和社會的發(fā)展，對硅片的需求也逐步增加。在相關(guān)技術(shù)中，硅片生產(chǎn)過程中可以將硅片放置在石墨舟上，進而在石墨舟的基礎上對硅片進行后續(xù)加工。

2、然而，在上述相關(guān)技術(shù)中，從高溫爐加工出來的硅片很大程度會產(chǎn)生翹片，下一流程直接給到機械臂插吸會插碎硅片，所以需要人工將硅片拍平整掉落到固定的卡槽內(nèi)，人力成本高。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請實施例提供了一種石墨舟的硅片拍舟方法、裝置、設備及存儲介質(zhì)，能夠降低硅片生產(chǎn)過程中的人力成本。所述技術(shù)方案如下：

2、一方面，本申請實施例提供了一種石墨舟的硅片拍舟方法，所述方法包括：

3、采用第一拍舟頻率，對第一翹片區(qū)域進行拍舟處理；其中，第一翹片區(qū)域是指基于石墨舟獲取的包括至少一個硅片翹片的區(qū)域；

4、基于拍舟處理后的第一翹片區(qū)域，確定第二翹片區(qū)域；其中，所述第二翹片區(qū)域包括至少一個硅片翹片；

5、采用第二拍舟頻率對所述第二翹片區(qū)域進行拍舟處理。

6、另一方面，本申請實施例提供了一種石墨舟的硅片拍舟裝置，所述裝置包括：

7、拍舟處理模塊，用于采用第一拍舟頻率，對第一翹片區(qū)域進行拍舟處理；其中，第一翹片區(qū)域是指基于石墨舟獲取的包括至少一個硅片翹片的區(qū)域；

8、區(qū)域確定模塊，用于基于拍舟處理后的第一翹片區(qū)域，確定第二翹片區(qū)域；其中，所述第二翹片區(qū)域包括至少一個硅片翹片；

9、所述拍舟處理模塊，還用于采用第二拍舟頻率對所述第二翹片區(qū)域進行拍舟處理。

10、再一方面，本申請實施例提供了一種計算機設備，所述計算機設備包括處理器和存儲器，所述存儲器中存儲有計算機程序，所述計算機程序由所述處理器加載并執(zhí)行以實現(xiàn)上述石墨舟的硅片拍舟方法。

11、又一方面，本申請實施例提供了一種非臨時性計算機可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)上述石墨舟的硅片拍舟方法。

12、還一方面，本申請實施例提供了一種計算機程序產(chǎn)品，當所述計算機程序產(chǎn)品運行時，使得計算機設備執(zhí)行上述石墨舟的硅片拍舟方法。

13、本申請實施例提供的技術(shù)方案可以帶來如下有益效果：

14、提供了一種針對石墨舟的自動化拍舟方法，不需要人工將硅片拍平整，降低了硅片生產(chǎn)過程中的人力成本；在對第一翹片區(qū)域進行拍舟處理后，基于第一翹片區(qū)域確定第二翹片區(qū)域，并繼續(xù)對第二翹片區(qū)域進行拍舟處理，多次拍舟提高了拍舟成功率；采用不同的拍舟頻率對不同的翹片區(qū)域進行拍舟，提高了拍舟的靈活性，在具體的生產(chǎn)過程中，可以根據(jù)不同的生產(chǎn)節(jié)拍對拍舟頻率進行靈活設置和調(diào)整，高生產(chǎn)節(jié)拍對應高拍舟頻率以提高拍舟處理與生產(chǎn)過程的適配程度，低生產(chǎn)節(jié)拍對應低拍舟頻率以降低拍舟能耗節(jié)約資源。

技術(shù)特征：

1.一種石墨舟的硅片拍舟方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二拍舟頻率大于所述第一拍舟頻率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述方法，其特征在于，所述采用第二拍舟頻率對所述第二翹片區(qū)域進行拍舟處理，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述第二翹片區(qū)域中硅片的翹片數(shù)量，確定所述第二拍舟頻率，包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述第二翹片區(qū)域中包括至少一個第二翹片子區(qū)域，所述第二翹片子區(qū)域中包括至少一個硅片翹片；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一翹片區(qū)域中包括至少一個第一翹片子區(qū)域，所述第一翹片子區(qū)域中包括至少一個硅片翹片；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于拍舟處理后的第一翹片區(qū)域，確定第二翹片區(qū)域，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用第一拍舟頻率，對第一翹片區(qū)域進行拍舟處理之前，還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項所述的方法，其特征在于，所述基于拍舟處理后的第一翹片區(qū)域，確定第二翹片區(qū)域之前，還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述圖像處理結(jié)果指示拍舟處理后的第一翹片區(qū)域存在硅片翹片的情況下，所述方法還包括：

11.一種石墨舟的硅片拍舟裝置，其特征在于，所述裝置包括：

12.一種計算機設備，其特征在于，所述計算機設備包括處理器和存儲器，所述存儲器中存儲有計算機程序，所述計算機程序由所述處理器加載并執(zhí)行以實現(xiàn)如權(quán)利要求1至10任一項所述的方法。

13.一種非臨時性計算機可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權(quán)利要求1至10任一項所述的方法。

技術(shù)總結(jié)
本申請實施例公開了一種石墨舟的硅片拍舟方法、裝置、設備及存儲介質(zhì)，屬于硅片生產(chǎn)技術(shù)領域，該方法包括：采用第一拍舟頻率，對第一翹片區(qū)域進行拍舟處理；基于拍舟處理后的第一翹片區(qū)域，確定第二翹片區(qū)域；采用第二拍舟頻率對第二翹片區(qū)域進行拍舟處理。本申請中提供了一種針對石墨舟的自動化拍舟方法，不需要人工將硅片拍平整，降低了硅片生產(chǎn)過程中的人力成本，多次拍舟提高了拍舟成功率，提高了拍舟的靈活性。

技術(shù)研發(fā)人員：楊歡,王宏軍,李國,馮瑞,孟亞軍,王祥峰,杭太鵬
受保護的技術(shù)使用者：蘇州玖物智能科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8