Led襯底結構的制作方法
【專利摘要】LED襯底結構，包括藍寶石基板，在所述藍寶上基板上刻蝕形成以陣列形式排列的半球形凸起，所述半球形凸起的外表面均勻連續(xù)設有正六邊形平面，在正六邊形平面所在圖形層上還設有氮化鋁層，本實用新型的半球形凸起采用復眼式結構，把反射面設計成正六邊形平面結構，改變光的折射曲線，折射點，有效提高了襯底的光提取效率，很好的控制了炫光，在正六邊形平面所在圖形層上還設有氮化鋁層，該氮化鋁層與氧化鎵結構相似，能有效對氧化鎵的材料的應力進行有效釋放，減少氧化鎵生長缺陷，本實用新型相比使用普通藍寶石襯底生長的氧化鎵基發(fā)光二極管的亮度提升60%以上，具有很高的工業(yè)化前景。
【專利說明】
LED襯底結構
技術領域
[0001 ]本實用新型屬于半導體材料領域，特別是涉及一種LED襯底結構?！颈尘凹夹g】
[0002]隨著人們生活水平的提高，環(huán)保意識的增強，對家具環(huán)境、休閑和舒適度追求的不斷提高，燈具燈飾也逐漸由單純的照明功能，轉(zhuǎn)向照明和裝飾共存的局面，LED取代傳統(tǒng)光源進入人們的日常生活成為必然之勢;但是目前LED襯底結構折射光效果一般，有很大的光資源浪費，沒有很好的把光源本身的亮度體現(xiàn)出來，襯底的光提取效率較低。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于為解決現(xiàn)有技術的不足提供一種LED襯底結構，其采用復眼式圖形凸起結構，增加了反射面，有效提高了襯底的光提取效率。
[0004]本實用新型解決其技術問題所采取的技術方案是:LED襯底結構，包括藍寶石基板，在所述藍寶上基板上刻蝕有橫豎排列的半球形凸起，其特征是:所述半球形凸起的外表面均勻連續(xù)設有正六邊形平面，所述半球形凸起的底面直徑為0.1-50M1，在正六邊形平面所在圖形層表面還設有氮化鋁層。作為優(yōu)選，氮化鋁層的厚度為l〇_15nm。
[0005]本實用新型的有益效果是:本實用新型的半球形凸起采用復眼式結構，把反射面設計成連續(xù)的正六邊形平面結構，改變光的折射曲線、折射點，有效提高了襯底的光提取效率，很好的控制了炫光，在正六邊形平面所在圖形層上還設有氮化鋁層，該氮化鋁層與氧化鎵結構相似，能有效對氧化鎵的材料的應力進行有效釋放，減少氧化鎵生長缺陷，本實用新型相比使用普通藍寶石襯底生長的氧化鎵基發(fā)光二極管的亮度提升60%以上，具有很高的工業(yè)化前景。【附圖說明】
[0006]圖1為本實用新型的結構示意圖。圖中:
[0007]1.半球形凸起，2.氮化鋁層，3.正六邊形平面，4.藍寶石基板?！揪唧w實施方式】
[0008]下面通過具體實施例進一步說明本實用新型的技術方案。
[0009]如圖1所示:LED襯底結構，包括藍寶石基板4,在所述藍寶上基板4上刻蝕形成以陣列形式排列的半球形凸起1，所述半球形凸起1的外表面均勻連續(xù)設有正六邊形平面3,該半球形凸起1采用復眼式結構，把反射面設計成正六邊形平面3結構，改變光的折射曲線、折射點，有效提高了襯底的光提取效率，很好的控制了炫光，所述半球形凸起1的底面直徑為 0.1-50M1，在正六邊形平面3所在圖形層表面還設有氮化鋁層2,氮化鋁層2的厚度為10-15nm，該氮化鋁層2與氧化鎵結構相似，能有效對氧化鎵的材料的應力進行有效釋放，減少氧化鎵生長缺陷，本實用新型相比使用普通藍寶石襯底生長的氧化鎵基發(fā)光二極管的亮度提升60%以上，具有很高的工業(yè)化前景。
[0010]除說明書所述技術特征外，均為本專業(yè)技術人員已知技術。
【主權項】
1.LED襯底結構，包括藍寶石基板(4)，在所述藍寶上基板(4)上刻蝕有橫豎均勻排列的 半球形凸起(1)，其特征是所述半球形凸起(1)的外表面均勻連續(xù)設置有正六邊形平面(3)， 所述半球形凸起(1)的底面直徑為0.1-50M1，在正六邊形平面(3)所在圖形層表面還設有氮 化鋁層(2)。2.根據(jù)權利要求1所述的LED襯底結構，其特征是:氮化鋁層(2)的厚度為10-15nm。
【文檔編號】H01L33/60GK205595371SQ201620401634
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年5月3日
【發(fā)明人】丁澤, 何亞東, 房觀耀
【申請人】元鴻（山東）光電材料有限公司