本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種冷卻裝置及基板支撐裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制程的晶圓涂膠工藝中，晶圓由吸盤真空吸附，通過設(shè)定的程序由電機(jī)驅(qū)動(dòng)吸盤旋轉(zhuǎn)，便于光刻膠均勻涂抹在晶圓表面。但電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的熱量會通過空氣和吸盤傳遞到附近的光刻膠。隨著電機(jī)的溫度不斷升高，光刻膠的溫度隨之升高，光刻膠的粘度也隨溫度的變化而變化。因此需要對電機(jī)采取冷卻措施，否則電機(jī)的溫度升高會造成晶圓涂膠的不充分和不均勻。

2、目前，市面上電機(jī)的冷卻方式大多為風(fēng)冷或水冷。風(fēng)冷式電機(jī)是在電機(jī)上裝有風(fēng)扇和散熱鰭片，利用風(fēng)扇吹出的風(fēng)把熱量轉(zhuǎn)移到散熱鰭片，從而達(dá)到降溫的效果，但是風(fēng)冷的散熱效果不是很明顯。水冷式電機(jī)是在機(jī)體內(nèi)部裝有通液管路，或是在機(jī)體外部裝有水冷裝置，通過水流的流動(dòng)將熱量帶出去達(dá)到降溫的效果，但是導(dǎo)致了電機(jī)本身的整體尺寸過大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中電機(jī)冷卻結(jié)構(gòu)的冷卻效率差，以及導(dǎo)致電機(jī)本身整體尺寸較大的問題。

2、為解決上述問題，本發(fā)明的實(shí)施方式提出一種冷卻裝置，用于對電機(jī)進(jìn)行冷卻，冷卻裝置包括：

3、主體，可拆卸地套設(shè)在電機(jī)的殼體外周；

4、兩個(gè)端蓋，分別連接在主體的兩端；

5、多個(gè)導(dǎo)流板，沿主體的周向間隔設(shè)置在主體內(nèi)部，以分隔出多個(gè)軸向通道，且各導(dǎo)流板的一端與和各導(dǎo)流板一端相對設(shè)置的端蓋之間具有流動(dòng)空間，多個(gè)流動(dòng)空間沿主體的周向交替地分布在主體的兩端，使得多個(gè)軸向通道首尾相連形成流通冷卻介質(zhì)的蛇形流道；

6、進(jìn)液口和出液口，其中冷卻介質(zhì)適于由進(jìn)液口進(jìn)入到主體內(nèi)，經(jīng)主體內(nèi)部的蛇形流道流至出液口流出。

7、在一個(gè)實(shí)施例中，冷卻裝置和電機(jī)的殼體之間具有導(dǎo)熱填充劑。

8、在一個(gè)實(shí)施例中，導(dǎo)熱填充劑為硅脂或硅膠。

9、在一個(gè)實(shí)施例中，主體具有內(nèi)層側(cè)壁和外層側(cè)壁，多個(gè)導(dǎo)流板沿徑向連接內(nèi)層側(cè)壁和外層側(cè)壁。

10、在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)導(dǎo)流板與主體一體成型。

11、在一個(gè)實(shí)施例中，蛇形流道包括：

12、進(jìn)液段，與進(jìn)液口連通；

13、出液段，與出液口連通；

14、冷卻裝置還包括一隔板，設(shè)置在界定進(jìn)液段和出液段的相鄰兩個(gè)導(dǎo)流板之間，用于隔開進(jìn)液段和出液段。

15、在一個(gè)實(shí)施例中，進(jìn)液口和出液口形成在其中一個(gè)端蓋上。

16、在一個(gè)實(shí)施例中，兩個(gè)端蓋以真空釬焊的方式分別連接在主體的兩端。

17、在一個(gè)實(shí)施例中，還包括安裝部，安裝部設(shè)置在至少一個(gè)端蓋上。

18、本發(fā)明的實(shí)施方式提出一種基板支撐裝置，包括旋轉(zhuǎn)卡盤和電機(jī)，旋轉(zhuǎn)卡盤用于支撐基板，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)卡盤旋轉(zhuǎn)，基板支撐裝置還包括上述的冷卻裝置，冷卻裝置可拆卸地裝配在電機(jī)的殼體外周。

19、本發(fā)明的冷卻裝置用于對電機(jī)進(jìn)行冷卻，冷卻裝置包括主體、兩個(gè)端蓋和多個(gè)導(dǎo)流板，主體可拆卸地套設(shè)在電機(jī)的殼體外周，摒棄了傳統(tǒng)的電機(jī)與冷卻結(jié)構(gòu)一體化的設(shè)計(jì)，本發(fā)明的冷卻裝置可根據(jù)需要拆卸與安裝，無需改變電機(jī)本身的整體尺寸。并且，主體、兩個(gè)端蓋和多個(gè)導(dǎo)流板限定形成蛇形流道，冷卻介質(zhì)在該蛇形流道內(nèi)流動(dòng)，具有良好的冷卻效果。

20、本發(fā)明其他特征和相應(yīng)的有益效果在說明書的后面部分進(jìn)行闡述說明，且應(yīng)當(dāng)理解，至少部分有益效果從本發(fā)明說明書中的記載變的顯而易見。

技術(shù)特征：

1.一種冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置用于對電機(jī)進(jìn)行冷卻，所述冷卻裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置和所述電機(jī)的殼體之間具有導(dǎo)熱填充劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷卻裝置，其特征在于，所述導(dǎo)熱填充劑為硅脂或硅膠。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述主體具有內(nèi)層側(cè)壁和外層側(cè)壁，所述多個(gè)導(dǎo)流板沿徑向連接所述內(nèi)層側(cè)壁和所述外層側(cè)壁。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述多個(gè)導(dǎo)流板與所述主體一體成型。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述蛇形流道包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述進(jìn)液口和所述出液口形成在其中一個(gè)所述端蓋上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述兩個(gè)端蓋以真空釬焊的方式分別連接在所述主體的兩端。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，還包括安裝部，所述安裝部設(shè)置在至少一個(gè)所述端蓋上。

10.一種基板支撐裝置，包括旋轉(zhuǎn)卡盤和電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)卡盤用于支撐基板，所述電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)卡盤旋轉(zhuǎn)，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的冷卻裝置，所述冷卻裝置可拆卸地裝配在所述電機(jī)的殼體外周。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種冷卻裝置及基板支撐裝置，冷卻裝置用于對電機(jī)進(jìn)行冷卻，冷卻裝置包括主體、兩個(gè)端蓋、多個(gè)導(dǎo)流板、進(jìn)液口和出液口，主體可拆卸地套設(shè)在電機(jī)的殼體外周，兩個(gè)端蓋分別連接在主體的兩端；多個(gè)導(dǎo)流板沿主體的周向間隔設(shè)置在主體內(nèi)部，以分隔出多個(gè)軸向通道，且各導(dǎo)流板的一端與和各導(dǎo)流板一端相對設(shè)置的端蓋之間具有流動(dòng)空間，多個(gè)流動(dòng)空間沿主體的周向交替地分布在主體的兩端，使得多個(gè)軸向通道首尾相連形成流通冷卻介質(zhì)的蛇形流道；其中冷卻介質(zhì)適于由進(jìn)液口進(jìn)入到主體內(nèi)，經(jīng)主體內(nèi)部的蛇形流道流至出液口流出。本發(fā)明的冷卻裝置無需改變電機(jī)本身的整體尺寸，且對電機(jī)具有良好的冷卻效果。

技術(shù)研發(fā)人員：徐飛,吳均,金磊,李康植,王暉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8