技術(shù)編號(hào)：41803037
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及具有防潮接觸墊的微機(jī)電器件及其制造方法。特別地，所考慮的慣性mems器件包括一個(gè)或多個(gè)慣性傳感器，諸如加速計(jì)和/或陀螺儀，該慣性傳感器形成在至少一個(gè)硅結(jié)構(gòu)層中并且限定至少一個(gè)可移動(dòng)結(jié)構(gòu)?？梢苿?dòng)結(jié)構(gòu)通常在延伸平面中具有主延伸部，并且在平面內(nèi)或平面外可移動(dòng)。背景技術(shù)、眾所周知，這種類型的慣性型mems器件越來越多地用于消費(fèi)品、汽車和工業(yè)應(yīng)用，它們通常將兩個(gè)或更多個(gè)慣性傳感器集成在相同管芯中并且與相關(guān)控制電路封裝在一起，通常形成在單獨(dú)的管芯中并且形成asic(專用集成電路)。、這些器件通...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。