技術編號：41863649
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及機械魯棒性改進的具有可移動質量塊和止動結構的微機電(mems)器件。背景技術、慣性微機電(mems)器件(諸如，例如陀螺儀和加速度計)使它們的操作基于通過撓曲件耦合到支撐體(例如，半導體材料的框架或襯底)的質量塊，目的是檢測物理量變化或用作致動器，撓曲件允許質量塊沿著一個或多個方向振蕩。這些質量塊被共同定義為“可移動的”或“懸置的”質量塊，并且也由半導體材料形成，通常地例如由多晶硅或單晶硅形成。、響應于在傳感器的壽命期間可能出現(xiàn)的沖擊，可移動質量塊可能超過被視為安全的工作位置的范圍...
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