技術(shù)編號：41873437
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開涉及一種三維形狀檢查裝置及三維形狀檢查方法。背景技術(shù)、共聚焦顯微鏡(confocal?microscopy)或共聚焦激光掃描顯微鏡(confocallaser?scanning?microscopy，clsm)作為通過針孔去除失焦光的顯微鏡，是一種可以消除焦點以外區(qū)域產(chǎn)生的光干擾而獲得高分辨率和高放大倍數(shù)的顯微鏡，在生命科學(xué)、半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域得到應(yīng)用。、在共聚焦顯微鏡中已知有利用色差對測量對象進行三維檢查的彩色共聚焦顯微鏡(chromatic?confocal?microscop...
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