技術編號：41873444
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有馬達部分和減速器部分的致動器，還涉及一種具有該致動器的工件搬運機器人。背景技術、在搬運半導體晶圓等基板的搬運裝置中，主要搭載有具有水平多關節(jié)臂的清潔搬運機器人，用于在收納基板的容器與處理裝置之間搬運基板。圖是表示現有清潔搬運機器人結構的剖視圖。該搬運機器人所具有的水平多關節(jié)臂構成為，上下兩段的臂a、b與指狀物c相互以自由旋轉的方式連接，各臂a、b以及指狀物c分別由單獨的致動器d驅動。作為這樣的清潔搬運機器人，專利文獻所示的技術是已知的。、在機器人關節(jié)的致動器的馬達部分中...
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