本技術(shù)涉及加工輔助固定,具體為一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù):
1、金剛石半導(dǎo)體耐高電壓等性能出色,電力損耗被認(rèn)為可減少到硅制產(chǎn)品的五萬分之一,且金剛石功率半導(dǎo)體的耐熱性和抗輻射性也很強(qiáng),cvd法制備人造金剛石因其耐高壓、大射頻、低成本、耐高溫等諸多優(yōu)勢(shì),被普遍認(rèn)為是制備下一代高功率、高頻、高溫及低功率損耗電子器件最優(yōu)材料,根據(jù)原子排列方式不同又分為多晶金剛石及單晶金剛石;cvd法人造金剛石可通過晶圓拼接方式制作大面積單晶晶圓,作為半導(dǎo)體芯片襯底可解決散熱問題及利用金剛石的多項(xiàng)超級(jí)優(yōu)秀的物理化學(xué)性能,制造半導(dǎo)體;在加工時(shí)需要對(duì)其材料進(jìn)行固定夾持,以便進(jìn)行加工操作;
2、對(duì)此,中國申請(qǐng)專利號(hào):cn202322305779.5,公開了一種cvd半導(dǎo)體用單晶金剛石表面清潔裝置,包括箱體,所述箱體內(nèi)腔的中部固定連接有隔板,所述箱體的內(nèi)腔通過隔板分割為清洗倉與烘干倉兩個(gè)空腔。本申請(qǐng)通過轉(zhuǎn)軸、攪拌桿、隔網(wǎng)等結(jié)構(gòu)間的配合設(shè)置,將單晶金剛石通過進(jìn)料口放入到清洗倉的內(nèi)腔,通過第一電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)使攪拌桿對(duì)單晶金剛石進(jìn)行攪拌,使得單晶金剛石能夠清洗的更加充分,清洗后拉得動(dòng)隔水板使污水通過海綿墊排入到清洗倉內(nèi)腔的底部,并通過排水管排出,污水排放完畢后抽出擋板,通過第二電機(jī)帶動(dòng)螺紋桿旋轉(zhuǎn),使刮板推動(dòng)單晶金剛石進(jìn)入到烘干倉的內(nèi)腔,通過第一刷板滾落到存放盒內(nèi)進(jìn)行收集;
3、然而,現(xiàn)有加工裝置中不便根據(jù)加工需要對(duì)不同規(guī)格的半導(dǎo)體金剛石進(jìn)行調(diào)節(jié)夾持固定和輔助微調(diào)輔助,影響使用操作效率;
4、因此,為了解決上述問題,提出一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有加工裝置中不便根據(jù)加工需要對(duì)不同規(guī)格的半導(dǎo)體金剛石進(jìn)行調(diào)節(jié)夾持固定和輔助微調(diào)輔助,影響使用操作效率的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),包括固定背板,所述固定背板左右兩側(cè)前端固定有支撐邊板;
3、兩組所述支撐邊板之間通過軸承支撐裝配有微調(diào)絲桿,所述微調(diào)絲桿兩側(cè)螺紋連接有對(duì)稱設(shè)置的左滑座和右滑座,且微調(diào)絲桿兩側(cè)螺紋為對(duì)稱相反設(shè)置,所述左滑座和右滑座前端通過彎拐組件裝配支撐有固定夾頭,且固定夾頭、彎拐組件和左滑座與右滑座之間通過拓展筒壁支撐裝配,且彎拐組件和固定夾頭之間還裝配有微轉(zhuǎn)夾臂。
4、優(yōu)選的,所述左滑座和右滑座后側(cè)內(nèi)部貫穿插設(shè)裝配有支撐滑桿,且支撐滑桿兩端固定在支撐邊板內(nèi)壁,所述支撐滑桿兩側(cè)套設(shè)有彈簧,且兩組彈簧分別位于支撐邊板內(nèi)壁與左滑座和支撐邊板內(nèi)壁與右滑座外壁之間。
5、優(yōu)選的,所述固定背板背部中央通過軸承插設(shè)裝配有轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸后端固定有安裝盤,所述轉(zhuǎn)軸前端固定有外轉(zhuǎn)盤,所述外轉(zhuǎn)盤位于固定背板前側(cè),且外轉(zhuǎn)盤側(cè)邊螺紋連接有定位銷,所述定位銷內(nèi)端抵觸在固定背板前側(cè)壁,所述固定背板后側(cè)設(shè)置有內(nèi)圈半,且內(nèi)圈半固定在轉(zhuǎn)軸表面,所述安裝盤側(cè)邊內(nèi)部開設(shè)有裝配孔。
6、優(yōu)選的,所述拓展筒壁側(cè)邊裝配有對(duì)接中梁,所述對(duì)接中梁側(cè)邊、彎拐組件側(cè)邊、固定夾頭側(cè)邊、左滑座前端和右滑座前端均設(shè)置有同樣的對(duì)接插頭,且拓展筒壁側(cè)邊和微轉(zhuǎn)夾臂側(cè)邊均開設(shè)有對(duì)接插頭對(duì)應(yīng)的對(duì)接插槽,且對(duì)接插頭插設(shè)在對(duì)接插槽內(nèi)部后通過自攻螺釘裝配固定。
7、優(yōu)選的,所述對(duì)接插頭和對(duì)接插槽截面均呈六角狀,所述對(duì)接中梁和彎拐組件側(cè)邊均膠粘固定有墊圈,所述固定夾頭外端固定裝配有鏤空夾環(huán)架。
8、優(yōu)選的,所述微轉(zhuǎn)夾臂組成包括側(cè)轉(zhuǎn)筒和側(cè)定筒,且側(cè)定筒內(nèi)端固定有內(nèi)軸柱,所述內(nèi)軸柱插設(shè)在側(cè)轉(zhuǎn)筒內(nèi)端,且內(nèi)軸柱表面固定有內(nèi)軸柱,且內(nèi)軸柱外圈固定在側(cè)轉(zhuǎn)筒內(nèi)壁。
9、優(yōu)選的,所述側(cè)定筒內(nèi)側(cè)端外壁螺紋插設(shè)有內(nèi)軸承,且內(nèi)軸承內(nèi)側(cè)插設(shè)在側(cè)轉(zhuǎn)筒內(nèi)側(cè)端外壁內(nèi)部,且側(cè)轉(zhuǎn)筒內(nèi)側(cè)端外壁均勻開設(shè)有與限位銷對(duì)應(yīng)的限位插孔。
10、優(yōu)選的,所述微調(diào)絲桿兩側(cè)外端通過螺栓裝配有轉(zhuǎn)把,所述轉(zhuǎn)把外側(cè)裝配有轉(zhuǎn)棒,且轉(zhuǎn)棒內(nèi)端一體設(shè)置有緊固螺銷,所述緊固螺銷螺紋插設(shè)在轉(zhuǎn)把側(cè)邊內(nèi)部,且緊固螺銷內(nèi)端可以擰緊抵觸在支撐邊板外壁。
11、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型便于根據(jù)加工需要對(duì)不同規(guī)格的半導(dǎo)體金剛石進(jìn)行調(diào)節(jié)夾持固定和輔助微調(diào)輔助,使得使用更加便捷;
12、1、本實(shí)用新型通過設(shè)置有微調(diào)絲桿,在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)左滑座和右滑座相對(duì)移動(dòng),實(shí)現(xiàn)伸縮和擴(kuò)張,以便帶動(dòng)彎拐組件和固定夾頭對(duì)不同規(guī)格的半導(dǎo)體金剛石材料進(jìn)行夾持固定,使得后續(xù)加工操作更加便捷高效,通過此設(shè)計(jì),提高了半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu)的便捷性和實(shí)用性。
13、2、本實(shí)用新型通過設(shè)置有拓展筒壁和微轉(zhuǎn)夾臂,便于對(duì)左滑座、彎拐組件及固定夾頭的拓展裝配,便于根據(jù)其規(guī)模進(jìn)行增減拓展裝配,使得使用更加便捷,通過此設(shè)計(jì),提高了半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu)的便捷性和實(shí)用性。
1.一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),包括固定背板(100),所述固定背板(100)左右兩側(cè)前端固定有支撐邊板(110);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述左滑座(210)和右滑座(220)后側(cè)內(nèi)部貫穿插設(shè)裝配有支撐滑桿(270),且支撐滑桿(270)兩端固定在支撐邊板(110)內(nèi)壁,所述支撐滑桿(270)兩側(cè)套設(shè)有彈簧(271),且兩組彈簧(271)分別位于支撐邊板(110)內(nèi)壁與左滑座(210)和支撐邊板(110)內(nèi)壁與右滑座(220)外壁之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述固定背板(100)背部中央通過軸承插設(shè)裝配有轉(zhuǎn)軸(280),所述轉(zhuǎn)軸(280)后端固定有安裝盤(281),所述轉(zhuǎn)軸(280)前端固定有外轉(zhuǎn)盤(282),所述外轉(zhuǎn)盤(282)位于固定背板(100)前側(cè),且外轉(zhuǎn)盤(282)側(cè)邊螺紋連接有定位銷(283),所述定位銷(283)內(nèi)端抵觸在固定背板(100)前側(cè)壁,所述固定背板(100)后側(cè)設(shè)置有內(nèi)圈半(284),且內(nèi)圈半(284)固定在轉(zhuǎn)軸(280)表面,所述安裝盤(281)側(cè)邊內(nèi)部開設(shè)有裝配孔(285)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述拓展筒壁(250)側(cè)邊裝配有對(duì)接中梁(251),所述對(duì)接中梁(251)側(cè)邊、彎拐組件(230)側(cè)邊、固定夾頭(240)側(cè)邊、左滑座(210)前端和右滑座(220)前端均設(shè)置有同樣的對(duì)接插頭(252),且拓展筒壁(250)側(cè)邊和微轉(zhuǎn)夾臂(260)側(cè)邊均開設(shè)有對(duì)接插頭(252)對(duì)應(yīng)的對(duì)接插槽(253),且對(duì)接插頭(252)插設(shè)在對(duì)接插槽(253)內(nèi)部后通過自攻螺釘裝配固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述對(duì)接插頭(252)和對(duì)接插槽(253)截面均呈六角狀,所述對(duì)接中梁(251)和彎拐組件(230)側(cè)邊均膠粘固定有墊圈(254),所述固定夾頭(240)外端固定裝配有鏤空夾環(huán)架(241)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述微轉(zhuǎn)夾臂(260)組成包括側(cè)轉(zhuǎn)筒(261)和側(cè)定筒(262),且側(cè)定筒(262)內(nèi)端固定有內(nèi)軸柱(263),所述內(nèi)軸柱(263)插設(shè)在側(cè)轉(zhuǎn)筒(261)內(nèi)端,且內(nèi)軸柱(263)表面固定有內(nèi)軸柱(263),且內(nèi)軸柱(263)外圈固定在側(cè)轉(zhuǎn)筒(261)內(nèi)壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述側(cè)定筒(262)內(nèi)側(cè)端外壁螺紋插設(shè)有內(nèi)軸承(264),且內(nèi)軸承(264)內(nèi)側(cè)插設(shè)在側(cè)轉(zhuǎn)筒(261)內(nèi)側(cè)端外壁內(nèi)部,且側(cè)轉(zhuǎn)筒(261)內(nèi)側(cè)端外壁均勻開設(shè)有與限位銷(265)對(duì)應(yīng)的限位插孔(266)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體金剛石生產(chǎn)用固定機(jī)構(gòu),其特征在于:所述微調(diào)絲桿(200)兩側(cè)外端通過螺栓裝配有轉(zhuǎn)把(201),所述轉(zhuǎn)把(201)外側(cè)裝配有轉(zhuǎn)棒(202),且轉(zhuǎn)棒(202)內(nèi)端一體設(shè)置有緊固螺銷(203),所述緊固螺銷(203)螺紋插設(shè)在轉(zhuǎn)把(201)側(cè)邊內(nèi)部,且緊固螺銷(203)內(nèi)端可以擰緊抵觸在支撐邊板(110)外壁。