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快速外延片曝光裝置的制作方法

文檔序號(hào):11152891閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種快速外延片曝光裝置,包括影像定準(zhǔn)器,其特征在于:影像定準(zhǔn)器頂部設(shè)有數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu),數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)與影像定準(zhǔn)器之間安裝有曝光燈,數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)與影像定準(zhǔn)器之間通過(guò)可調(diào)節(jié)裝置連接,影像定準(zhǔn)器底部位于一操作平臺(tái)上,影像定準(zhǔn)器與操作平臺(tái)之間鉸接,操作平臺(tái)靠近兩側(cè)面下表面處安裝有云臺(tái),云臺(tái)與操作平臺(tái)之間固定連接,兩云臺(tái)之間連接有耗能板,耗能板不止一個(gè),耗能板上設(shè)有導(dǎo)軌,導(dǎo)軌豎向設(shè)置在耗能板上,導(dǎo)軌頂部位于操作平臺(tái)上,導(dǎo)軌為兩個(gè),兩導(dǎo)軌之間設(shè)有光源,光源固定在兩導(dǎo)軌之間,光源上設(shè)有激光器;

所述激光器為兩個(gè)圓形反射板,且兩圓形反射板豎向排列在光源上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述光源采用冷光紫外線燈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述影像定準(zhǔn)器與數(shù)字電子偏振畫面捕捉結(jié)構(gòu)之間設(shè)有密封圈。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述操作平臺(tái)采用有機(jī)玻璃制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述云臺(tái)通過(guò)玻璃膠與操作平臺(tái)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述導(dǎo)軌采用不銹鋼材料制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速外延片曝光裝置,其特征在于:所述導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有傳送皮帶。

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