本發(fā)明涉及邊料去除裝置以及邊料去除方法，尤其涉及通過從基板分割去除邊料來切出產(chǎn)品的邊料去除裝置以及邊料去除方法。

背景技術：

以往，已知在從脆性材料基板切出產(chǎn)品時將不需要的部分即邊料從基板去除的裝置(例如，參照專利文獻1)。

在上述的裝置中，首先在基板上形成劃線，然后沿著劃線向基板施加彎矩而使之斷裂。在劃線全部由直線形成的情況下，使用該直線形狀的按壓構件。另一方面，在劃線為不規(guī)則形狀的情況下，使用該不規(guī)則形狀的按壓構件。

在先技術文獻

專利文獻1：國際公開wo2013/175535號公報

技術實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

在劃線為直線的情況下，將彎矩均勻地施加于劃線是比較容易的。

然而，在應取出的產(chǎn)品為不規(guī)則形狀的情況下，即使準備具有該形狀的按壓構件，也難以向劃線均勻地施加彎矩。從而，劃線的分割精度降低，因此有時在產(chǎn)品的分割面處會產(chǎn)生破損。

需要說明的是，不規(guī)則形狀是指邊緣形狀至少局部地包括直線以外的形狀(例如，曲線、復雜的折彎部)的形狀。

本發(fā)明的目的在于不對產(chǎn)品造成損傷地從基板切出產(chǎn)品。

用于解決課題的方案

本發(fā)明的一個方案的邊料去除裝置是通過從形成有劃線的基板分割去除邊料而切出產(chǎn)品的裝置。邊料去除裝置具備夾緊構件和外側(cè)移動部。需要說明的是，產(chǎn)品是指基板中的切離邊料后剩余的部分。

把持部把持邊料。

外側(cè)移動部使把持邊料的把持部一邊向外側(cè)移動一邊傾斜，由此將邊料從產(chǎn)品切離。

在該裝置中，外側(cè)移動部使把持部一邊向外側(cè)移動一邊傾斜，由此產(chǎn)品與邊料之間的裂紋發(fā)展，在裂紋發(fā)展結(jié)束的瞬間邊料從產(chǎn)品剝離。在該情況下，彎矩與以往相比更均勻地施加于劃線，因此其結(jié)果是產(chǎn)品不易產(chǎn)生損傷。

邊料去除裝置還可以具備對產(chǎn)品進行吸附固定的吸附臺。

吸附臺也可以具有與產(chǎn)品的輪廓對應的輪廓。

本發(fā)明的另一方案的邊料去除方法是通過從形成有劃線的基板分割去除邊料而切出產(chǎn)品的方法。邊料去除方法具備下述的步驟。

◎把持邊料的步驟

◎在把持邊料的狀態(tài)下向外側(cè)拉拽該邊料的步驟

◎在拉拽邊料的狀態(tài)下使該邊料傾斜的步驟

在該方法中，在向外側(cè)拉拽邊料的狀態(tài)下使該邊料傾斜，由此產(chǎn)品與邊料之間的裂紋發(fā)展，在裂紋發(fā)展結(jié)束的瞬間邊料從產(chǎn)品剝離。在該情況下，彎矩與以往相比更均勻地施加于劃線，因此產(chǎn)品不易產(chǎn)生損傷。

邊料去除方法還可以具備對基板的產(chǎn)品進行吸附固定的步驟。

在對產(chǎn)品進行吸附固定的步驟中，也可以通過具有與產(chǎn)品的輪廓對應的輪廓的吸附臺對產(chǎn)品進行吸附固定。

邊料去除方法還可以具備形成用于將邊料分割為多個構件的輔助劃線的步驟。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的邊料去除裝置以及邊料去除方法，能夠不對產(chǎn)品造成損傷地從基板切出產(chǎn)品。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的一個實施方式的邊料去除裝置的主視圖，是示出邊料分離去除方法的第一階段的主視圖。

圖2是示出邊料去除裝置的控制結(jié)構的框圖。

圖3是示出邊料去除裝置的控制動作的流程圖。

圖4是示出邊料分離去除方法的第二階段的主視圖。

圖5是示出邊料分離去除方法的第三階段的主視圖。

圖6是示出邊料分離去除方法的第一階段的示意主視圖。

圖7是示出邊料分離去除方法的第二階段的示意主視圖。

圖8是示出邊料分離去除方法的第三階段的示意主視圖。

圖9是示出邊料分離去除方法的第一例的概要立體圖。

圖10是示出邊料分離去除方法的第一例的概要立體圖。

圖11是示出邊料分離去除方法的第二例的概要俯視圖。

圖12是示出邊料分離去除方法的第二例的概要俯視圖。

圖13是示出邊料分離去除方法的第二例的概要俯視圖。

附圖標記說明

1：邊料去除裝置

3：保持臺

11：夾緊機構

13：夾緊構件

15：把持動作機構

17：轉(zhuǎn)動機構

19：升降機構

21：水平方向驅(qū)動機構

31：控制部

m：母基板

ma：邊料

p：產(chǎn)品

s：劃線

具體實施方式

1.第一實施方式

(1)邊料去除裝置的結(jié)構

利用圖1對邊料去除裝置1進行說明。圖1是本發(fā)明的一個實施方式的邊料去除裝置的主視圖，是示出邊料分離去除方法的第一階段的主視圖。在圖1中，將左右方向設為x方向，將紙面正交方向設為y方向。

邊料去除裝置1是通過從形成有劃線的基板分割去除邊料而切出產(chǎn)品的裝置。

邊料去除裝置1具有保持臺3(吸附臺的一例)。保持臺3具有水平的吸附面3a，并在該吸附面3a上載置有成為加工對象的母基板m。在保持臺3的吸附面3a上設有穩(wěn)定保持對基板m的多個空氣吸附孔(未圖示)。

保持臺3是特別地對母基板m的產(chǎn)品p的部分進行吸附固定的吸附臺。保持臺3具有與產(chǎn)品的輪廓對應的輪廓。

在本實施方式中，母基板m是由兩片基板m1、m2構成的夾層玻璃。在基板m1以及基板m2上，由刻劃裝置(未圖示)的上下的刀輪形成劃線s。

邊料去除裝置1具有夾緊機構11。夾緊機構11是以抓握從保持臺3的吸附面3a伸出的母基板m的一端的方式進行把持的裝置。

夾緊機構11具有夾緊構件13(把持部的一例)。夾緊構件13構成為開閉自如，且以抓握從保持臺3的上表面伸出的母基板m的邊料ma的方式對母基板m進行把持。

夾緊機構11具有用于驅(qū)動夾緊構件13的把持動作機構15(圖2)。把持動作機構15例如具有壓力工作缸。

邊料去除裝置1具有轉(zhuǎn)動機構17。轉(zhuǎn)動機構17對夾緊構件13進行保持，使得夾緊構件13能夠以沿y方向延伸的軸為支點而轉(zhuǎn)動規(guī)定角度。轉(zhuǎn)動機構17例如具有旋轉(zhuǎn)電動機。

邊料去除裝置1具有升降機構19。升降機構19是用于使夾緊構件13以及轉(zhuǎn)動機構17升降的裝置。升降機構19例如具有壓力工作缸。

邊料去除裝置1具有水平方向驅(qū)動機構21。水平方向驅(qū)動機構21是用于使升降機構19沿水平方向移動的裝置。水平方向驅(qū)動機構21例如具有壓力工作缸。

上述的轉(zhuǎn)動機構17、升降機構19以及水平方向驅(qū)動機構21構成外側(cè)移動部23，該外側(cè)移動部23使把持邊料ma的夾緊構件13一邊向外側(cè)移動一邊傾斜，由此將邊料ma從產(chǎn)品p切離。外側(cè)移動部23使夾緊構件13一邊向外側(cè)移動一邊傾斜，由此產(chǎn)品p與邊料ma之間的裂紋發(fā)展，在裂紋發(fā)展結(jié)束的瞬間邊料ma從產(chǎn)品p剝離。在該情況下，彎矩與以往相比更均勻地施加于劃線，因此產(chǎn)品不易產(chǎn)生損傷。

利用圖2對邊料去除裝置1的控制結(jié)構進行說明。圖2是示出邊料去除裝置的控制結(jié)構的框圖。邊料去除裝置1具有控制部31?？刂撇?1由具有cpu、ram、rom的計算機構成。控制部31通過執(zhí)行存儲部中保存的程序來進行各種控制動作。

在該實施方式中，控制部31能夠控制把持動作機構15、轉(zhuǎn)動機構17、升降機構19以及水平方向驅(qū)動機構21。

雖未圖示，但控制部31與各種傳感器以及輸入開關連接。

需要說明的是，控制部31可以由單一的處理器構成，也可以為了進行各控制而由獨立的多個處理器構成。

(2)邊料去除裝置的動作

接下來，利用圖3～圖8對邊料的去除方法進行說明。圖3是示出邊料去除裝置的控制動作的流程圖。圖4以及圖5是示出邊料分離去除方法的各階段的主視圖。圖6～圖8是示出邊料分離去除方法的各階段的示意主視圖。

在以下說明的控制動作中，各步驟能夠根據(jù)需要進行省略以及替換。另外，多個步驟可以同時執(zhí)行、或者以一部分或全部重疊的方式執(zhí)行。

控制部31向把持動作機構15、轉(zhuǎn)動機構17、升降機構19以及水平方向驅(qū)動機構21發(fā)送控制信號，從而執(zhí)行以下的控制動作。

母基板m以邊料相當部分從保持臺3的端緣部分突出的狀態(tài)載置。

在圖3的步驟s1中，如圖1所示，使夾緊構件13朝向母基板m移動并把持母基板m的端緣(把持邊料的步驟的一例)。

在步驟s2中，如圖6所示，在抓握邊料ma的狀態(tài)下開始使夾緊構件13沿水平方向移動的動作。具體而言，水平方向驅(qū)動機構21使夾緊構件13沿水平方向移動而使張力發(fā)生作用(在把持邊料的狀態(tài)下將該邊料向外側(cè)拉拽的步驟的一例)。

在步驟s3中，如圖4以及圖7所示，開始使夾緊構件13以向斜下方傾斜的方式轉(zhuǎn)動(在拉拽邊料的狀態(tài)下傾斜的步驟的一例)的動作，即，在邊料ma上作用有水平方向的力和朝向斜下方的力。具體而言，在水平方向驅(qū)動機構21維持使夾緊構件13沿水平方向移動的狀態(tài)的同時，升降機構19使夾緊構件13轉(zhuǎn)動，此外升降機構19使夾緊構件13向下方移動。

在步驟s4中，如圖5以及圖8所示，等待邊料ma從母基板m分離。

在步驟s5中，停止夾緊構件13的下方移動以及轉(zhuǎn)動。

在步驟s6中，夾緊構件13將邊料ma向下方棄置。即，夾緊構件13以向斜下方傾斜的方式轉(zhuǎn)動，將邊料ma向下方棄置。邊料ma收容于邊料回收體。

在步驟s7中，夾緊構件13返回初始位置，為了下一次邊料分離去除而待機。

(3)邊料分離去除方法的第一例

利用圖9以及圖10對邊料分離去除方法的第一例進行說明。圖9以及圖10是示出邊料分離去除方法的第一例的概要立體圖。

如圖9所示，母基板m具有產(chǎn)品p、第一邊料ma1、第二邊料ma2以及第三邊料ma3。產(chǎn)品p與第一邊料ma1、第二邊料ma2以及第三邊料ma3由劃線s分割。

如圖9所示，產(chǎn)品p呈具有曲線部的不規(guī)則形狀。更詳細而言，產(chǎn)品p具有三邊的直線部、從三邊的直線部的端部起傾斜地延伸的兩邊的直線部、以及將所述兩邊的直線部連結(jié)的半圓形狀部。由此，劃線s也呈不規(guī)則形狀。

在圖9中，夾緊構件13分別保持第一邊料ma1、第二邊料ma2以及第三邊料ma3。第一邊料ma1與第二邊料ma2配置在產(chǎn)品p的半圓形狀部的中心的兩側(cè)。第三邊料ma3配置在產(chǎn)品p的與半圓形狀部相反一側(cè)的直線部。在該狀態(tài)下，當所有的夾緊構件13進行前述那樣的動作時，如圖10所示，進行邊料的分離去除。需要說明的是，多個邊料的分離去除無需全部同時進行，也可以一個一個地進行。

并且，在該實施方式中，保持臺3的輪廓形狀呈沿著劃線s的(即與劃線s一致的)形狀。從而，若在以劃線s與保持臺3的外緣一致的方式載置并吸附母基板m的狀態(tài)下執(zhí)行邊料的分離去除，則能夠迅速地進行劃線s處的裂紋斷開。

并且在該實施方式中，形成有用于將邊料彼此分割為多個的輔助劃線。例如第一輔助劃線sa1、第二輔助劃線sa2、第三輔助劃線sa3。第一輔助劃線sa1是第一邊料ma1與第二邊料ma2的邊界。第二輔助劃線sa2是第一邊料ma1與第三邊料ma3的邊界。第三輔助劃線sa3是第二邊料ma2與第三邊料ma3的邊界。即，在形成劃線s的工序中，也形成輔助劃線。

(4)邊料分離去除方法的第一例

利用圖11～圖13對邊料分離去除方法的第二例進行說明。圖11～圖13是示出邊料分離去除方法的第二例的概要俯視圖。

如圖11所示，母基板m具有產(chǎn)品p、第一邊料mb1、第二邊料mb2、第三邊料mb3、第四邊料mb4以及第五邊料mb5。產(chǎn)品p以及各邊料由劃線s彼此分割。

如圖11所示，產(chǎn)品p呈具有曲線部的不規(guī)則形狀。由此，劃線s也呈不規(guī)則形狀。產(chǎn)品p的形狀與所述實施方式相同。

在該實施方式中，第一例的第一邊料ma1被分割為第一邊料mb1與第四邊料mb4，并且第一例的第二邊料ma2被分割為第二邊料mb2與第五邊料mb5。在第一邊料mb1與第四邊料mb4之間形成有直線狀的第一輔助劃線sb1。在第二邊料mb2與第五邊料mb5之間形成有直線狀的第二輔助劃線sb2。在該情況下，首先如圖12所示，首先分割去除第四邊料mb4以及第五邊料mb5。然后，接下來如圖13所示，分割去除第一邊料mb1、第二邊料mb2以及第三邊料mb3。

在第二例中，邊料被分割地更細，因此與第一例相比，能夠更順暢地(即，減少產(chǎn)生損傷的可能性)進行分割去除作業(yè)。

在圖11中，夾緊構件13保持各邊料。在該狀態(tài)下，當所有的夾緊構件13進行前述那樣的動作時，進行邊料的分離去除。需要說明的是，多個邊料的分離去除無需全部同時進行，也可以一個一個地進行。

并且，在該實施方式中，吸附臺(未圖示)的輪廓形狀成為沿著劃線s(即與劃線s一致的)形狀。從而，若在以劃線s與吸附臺的外緣一致的方式載置并吸附母基板m的狀態(tài)下執(zhí)行邊料的分離去除，則能夠迅速地進行劃線s處的裂紋斷開。

并且在該實施方式中，形成有用于將邊料彼此分割為多個的輔助劃線。例如第一輔助劃線sb1、第二輔助劃線sb2、第三輔助劃線sb3。即，在形成劃線s時，也形成輔助劃線。

2.其他實施方式

以上，對本發(fā)明的多個實施方式進行了說明，但本發(fā)明不局限于上述實施方式，可以在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行各種變更。尤其是，記載于本說明書中的多個實施方式以及變形例能夠根據(jù)需要而任意地組合。

(1)基板的變形例

貼合兩片脆性材料基板而成的貼合脆性材料基板包括貼合有玻璃基板的液晶面板、等離子體顯示面板、有機el顯示面板等平板顯示面板、以及將硅基板、藍寶石基板等貼合于玻璃基板而成的半導體基板。

基板的種類并無特別限定?；灏▎伟宓牟Ａ?、半導體晶片、陶瓷基板。

劃線的形狀不受限定。在所述實施方式中產(chǎn)品的形狀為不規(guī)則形狀，但本發(fā)明也能夠應用于不包含不規(guī)則形狀的產(chǎn)品(由直線構成的簡單的形狀、例如四邊形)的切出。

(2)邊料去除裝置的變形例

用于驅(qū)動夾緊構件的驅(qū)動機構的結(jié)構不限定于所述實施方式。

(3)邊料去除方法的變形例

在所述實施方式中，在拉拽邊料的狀態(tài)下傾斜的步驟的一例中，水平方向驅(qū)動機構21使夾緊構件13沿水平方向移動，并且轉(zhuǎn)動機構17使夾緊構件13轉(zhuǎn)動，此外升降機構19使夾緊構件13向下方移動。但是，邊料ma上作用有水平方向的力與朝向斜下方的力即可，因此也可以僅通過水平方向驅(qū)動機構21使夾緊構件13沿水平方向移動，并且通過轉(zhuǎn)動機構17使夾緊構件13轉(zhuǎn)動。即，在該情況下，升降機構19不使夾緊構件13向下方移動。

在所述實施方式中，在步驟s2中開始水平方向移動在步驟s3開始轉(zhuǎn)動，但兩步驟可以同時進行，也可以先進行轉(zhuǎn)動。

在所述實施方式中使邊料向下方傾斜，但也可以使邊料向上方傾斜。另外，上下的傾斜動作可以依次進行一次或多次。

(4)吸附臺的變形例

在所述實施方式中，對保持臺3的輪廓與產(chǎn)品的形狀一致的例子進行說明。此時，不僅是二者完全一致的情況，即使二者是大致同等的對應的形狀也能夠得到同等的效果。

另外，在吸附臺的輪廓不與產(chǎn)品的形狀對應的情況下也能夠應用本發(fā)明。

工業(yè)實用性

本發(fā)明能夠廣泛地應用于通過從基板分割去除邊料來切出產(chǎn)品的邊料去除裝置以及邊料去除方法。