本技術(shù)涉及磷源烘干裝置，特別是一種硅片磷源恒溫烘干裝置。

背景技術(shù)：

1、硅片電池制造的基本流程包括硅片切割、擴(kuò)散、納米制備、光刻、腐蝕等多個(gè)步驟，其中擴(kuò)散工序是磷源擴(kuò)散，具體是指將p型硅片上的雜質(zhì)磷擴(kuò)散進(jìn)入硅片，形成n型硅片的過程。在硅片電池的制造過程中，對于水性磷源需要進(jìn)行烘干作業(yè)，但是現(xiàn)有的烘干裝置在使用過程中，一般是在烘干裝置中設(shè)置有溫度計(jì)，通過溫度計(jì)對烘干裝置的電加熱板的升溫情況進(jìn)行監(jiān)測，當(dāng)升溫至適宜烘干的溫度后斷開電加熱板的電源，但是這種操作較為繁瑣，影響生產(chǎn)效率，并且現(xiàn)有的烘干裝置升溫過程均勻度有限，升溫較慢，對此，本申請?zhí)匾馓岢鲆环N硅片磷源恒溫烘干裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，本實(shí)用新型提供了一種硅片磷源恒溫烘干裝置，其解決的問題技術(shù)方案是，包括隧道爐本體，所述隧道爐本體包括且內(nèi)壁固定連接的多組沿橫向均布的電加熱板、傳送磷源的傳送帶，其特征在于，所述隧道爐本體上方布置有與電加熱板一一對應(yīng)且電性連接的溫控器，所述隧道爐本體內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有多組與電加熱板交錯(cuò)布置的縱軸，各所述縱軸下緣均固定連接有擾流板，所述各所述縱軸的前端均同軸固定連接有齒輪，所述道爐本體外壁固定連接有多組與齒輪一一對應(yīng)嚙合的擺動裝置，所述擺動裝置通過齒輪帶動擾流板往復(fù)擺動。

2、作為優(yōu)選，各組所述擺動裝置均包括與隧道爐本體外壁固定連接的支撐軸，所述支撐軸轉(zhuǎn)動連接有擺動桿的上端，所述擺動桿的下端固定連接有弧形齒條的中部，所述弧形齒條與其對應(yīng)側(cè)的齒輪嚙合，所述擺動桿上開設(shè)有從動槽，所述隧道爐本體外壁固定連接有從動槽對應(yīng)的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸固定連接有驅(qū)動桿的一端，所述驅(qū)動桿的另一端固定連接有插桿，所述插桿與從動槽滾動插接。

3、作為優(yōu)選，所述隧道爐本體的左右兩端分別固定連接有支撐架。

4、本實(shí)用新型的有益效果是：

5、本申請?jiān)谑褂脮r(shí)，通過溫控器對電加熱板的供電情況進(jìn)行控制，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)電加熱板的恒溫發(fā)熱，進(jìn)而便于便捷的實(shí)現(xiàn)隧道爐本體內(nèi)的恒溫環(huán)境。并且在電加熱板對隧道爐本體內(nèi)空氣進(jìn)行加熱的過程中，設(shè)有的擺動裝置可以通過齒輪帶動擾流板進(jìn)行往復(fù)擺動，進(jìn)而可以對隧道爐本體的空氣進(jìn)行擾動，以便于空氣的均布，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)電加熱板對隧道爐本體內(nèi)的空氣進(jìn)行均勻加熱，進(jìn)而明顯提升隧道爐本體內(nèi)的升溫效果而達(dá)到烘干溫度。本申請結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，實(shí)用性強(qiáng)。

技術(shù)特征：

1.一種硅片磷源恒溫烘干裝置，包括隧道爐本體（1），所述隧道爐本體（1）包括且內(nèi)壁固定連接的多組沿橫向均布的電加熱板（2）、傳送磷源的傳送帶（3），其特征在于，所述隧道爐本體（1）上方布置有與電加熱板（2）一一對應(yīng)且電性連接的溫控器（4），所述隧道爐本體（1）內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有多組與電加熱板（2）交錯(cuò)布置的縱軸（5），各所述縱軸（5）下緣均固定連接有擾流板（6），所述各所述縱軸（5）的前端均同軸固定連接有齒輪（7），所述道爐本體外壁固定連接有多組與齒輪（7）一一對應(yīng)嚙合的擺動裝置（8），所述擺動裝置（8）通過齒輪（7）帶動擾流板（6）往復(fù)擺動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種硅片磷源恒溫烘干裝置，其特征在于，各組所述擺動裝置（8）均包括與隧道爐本體（1）外壁固定連接的支撐軸（9），所述支撐軸（9）轉(zhuǎn)動連接有擺動桿（10）的上端，所述擺動桿（10）的下端固定連接有弧形齒條（11）的中部，所述弧形齒條（11）與其對應(yīng)側(cè)的齒輪（7）嚙合，所述擺動桿（10）上開設(shè)有從動槽（12），所述隧道爐本體（1）外壁固定連接有從動槽（12）對應(yīng)的電機(jī)（13），所述電機(jī)（13）的輸出軸（14）固定連接有驅(qū)動桿（15）的一端，所述驅(qū)動桿（15）的另一端固定連接有插桿（16），所述插桿（16）與從動槽（12）滾動插接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種硅片磷源恒溫烘干裝置，其特征在于，所述隧道爐本體（1）的左右兩端分別固定連接有支撐架（17）。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及磷源烘干裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種硅片磷源恒溫烘干裝置，包括隧道爐本體，所述隧道爐本體包括且內(nèi)壁固定連接的多組沿橫向均布的電加熱板、傳送磷源的傳送帶，其特征在于，所述隧道爐本體上方布置有與電加熱板一一對應(yīng)且電性連接的溫控器，所述隧道爐本體內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有多組與電加熱板交錯(cuò)布置的縱軸，各所述縱軸下緣均固定連接有擾流板，所述各所述縱軸的前端均同軸固定連接有齒輪，所述道爐本體外壁固定連接有多組與齒輪一一對應(yīng)嚙合的擺動裝置，所述擺動裝置通過齒輪帶動擾流板往復(fù)擺動。

技術(shù)研發(fā)人員：羅軍,羅勝華,羅威
受保護(hù)的技術(shù)使用者：新縣锝福矽晶電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240627
技術(shù)公布日：2025/5/8