技術(shù)編號：41846090
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及磷源烘干裝置，特別是一種硅片磷源恒溫烘干裝置。背景技術(shù)、硅片電池制造的基本流程包括硅片切割、擴散、納米制備、光刻、腐蝕等多個步驟，其中擴散工序是磷源擴散，具體是指將p型硅片上的雜質(zhì)磷擴散進入硅片，形成n型硅片的過程。在硅片電池的制造過程中，對于水性磷源需要進行烘干作業(yè)，但是現(xiàn)有的烘干裝置在使用過程中，一般是在烘干裝置中設(shè)置有溫度計，通過溫度計對烘干裝置的電加熱板的升溫情況進行監(jiān)測，當升溫至適宜烘干的溫度后斷開電加熱板的電源，但是這種操作較為繁瑣，影響生產(chǎn)效率，并且現(xiàn)有的烘干裝置升溫過...
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