一種多晶硅切片機工藝水余熱回用循環(huán)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種多晶硅切片機工藝水余熱回用循環(huán)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，多晶硅切片機水工藝循環(huán)系統(tǒng)分工藝水系統(tǒng)(分夏季與冬季運行兩種模式)、冷凍水系統(tǒng)、自來水水系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、純水供應(yīng)系統(tǒng)。工藝水系統(tǒng)主要作用是給車間切片機、開方機設(shè)備運行軸承、砂漿系統(tǒng)降溫，用循環(huán)流動的工藝水帶走設(shè)備的余熱。工藝水在水栗房進行增壓與調(diào)控水溫的工作，車間運行時工藝水進水水溫參數(shù)要求控制在14±1°C度，其水溫在水栗房進行調(diào)節(jié)。
[0003]多晶硅切片工藝完成后，硅片后續(xù)工序為硅片脫膠與清洗工藝。在脫膠清洗時市政自來水，因冬季自來水水溫影響，造成硅片清洗過程中引起的碎片、破片等產(chǎn)品品質(zhì)的突出異常問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型其目的就在于提供一種多晶硅切片機工藝水余熱回用循環(huán)系統(tǒng)，解決了冬季自來水水溫低在硅片清洗過程中因水溫溫差大而引起的碎片、破片的產(chǎn)品品質(zhì)的突出異常問題，具有管網(wǎng)結(jié)構(gòu)簡單、改造成本低、節(jié)能效果明顯的特點，且便于安裝、操作簡單、工
[0005]藝方案便捷安全。
[0006]實現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案，包括連接切片機冷卻水系統(tǒng)的工藝水栗，工藝水栗經(jīng)閥門2 —路連接冬用板式換熱器另一路連接夏用板式換熱器，冬用板式換熱器經(jīng)冷水機、冷卻塔、冷卻水栗、閥門3連接切片機冷卻水系統(tǒng)，所述夏用板式換熱器一路經(jīng)閥門
4、水池、冷凍水栗連接冷水機，夏用板式換熱器另一路經(jīng)閥門5連接冷水機，所述閥門2與冬用板式換熱器之間和閥門3與夏用板式換熱器之間設(shè)有閥門1，所述閥門4 一端經(jīng)閥門6連接自來水管，所述閥門5 —端經(jīng)閥門7連接自來水管。
[0007]有益效果
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比本實用新型具有以下優(yōu)點。
[0009]利用多晶硅切片機水工藝循環(huán)系統(tǒng)分工藝水余熱，通過夏用板式換熱器將多晶硅切片清洗工序使用的市政自來水水溫提升到18°C以上。解決因冬季自來水水溫影響，造成硅片清洗過程中引起的碎片、破片等產(chǎn)品品質(zhì)，成本率下降的突出異常問題。具有管網(wǎng)改造結(jié)構(gòu)簡單、改造成本低、節(jié)能效果明顯的特點，且便于安裝、操作便捷特點。
【附圖說明】
[0010]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳述。
[0011]圖1為本循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理示意圖。
【具體實施方式】
[0012]本系統(tǒng)包括連接切片機冷卻水系統(tǒng)的工藝水栗，工藝水栗經(jīng)閥門2 —路連接冬用板式換熱器另一路連接夏用板式換熱器，冬用板式換熱器經(jīng)冷水機、冷卻塔、冷卻水栗、閥門3連接切片機冷卻水系統(tǒng)，所述夏用板式換熱器一路經(jīng)閥門4、水池、冷凍水栗連接冷水機，夏用板式換熱器另一路經(jīng)閥門5連接冷水機，如圖1所示，所述閥門2與冬用板式換熱器之間和閥門3與夏用板式換熱器之間設(shè)有閥門1，所述閥門4 一端經(jīng)閥門6連接自來水管，所述閥門5 —端經(jīng)閥門7連接自來水管。
[0013]所述自來水管上設(shè)有閥門8、溫度計、壓力表，所述溫度計、壓力表設(shè)有2套，分別布置在閥門8兩端。
[0014]冬用板式換熱器經(jīng)通過閥門2進切片機工藝冷卻水，出水供切片機冷卻用水，所述夏用板式換熱器一路經(jīng)閥門7連接自來水管道進水側(cè)，夏用板式換熱器另一路經(jīng)閥門6連接自來水管道出水側(cè)。
實施例
[0015]如圖1所示，
[0016]1、工藝水管網(wǎng)改造新增工藝水管與閥門1，自來水管網(wǎng)新增水管與閥門6、閥門7、閥門8、壓力表、溫度計。
[0017]2、當進入冬季時，原設(shè)計中冷凍水系統(tǒng)、夏用板式換熱器為停用設(shè)備。自來水水溫在10°c不能滿足車間需求時，由操作人員先關(guān)閉冷凍水管網(wǎng)上閥門4，閥門5，再開啟閥門7，閥門6，關(guān)閉閥門8，將自來水水切入夏用板式換熱器系統(tǒng)。
[0018]3、當自來水在夏用板式換熱器系統(tǒng)形成通路后，開啟閥門1，關(guān)閉閥門2和閥門3，將帶有多晶切片車間切片機余熱的工藝水優(yōu)先進入夏用板式換熱器進行熱交換。
[0019]4、工藝水在夏用板式換熱器系統(tǒng)優(yōu)先進行熱交換后，利用余熱后。如工藝水水溫達不到設(shè)備進水要求時，再進入冬用板式換熱器系統(tǒng)與原設(shè)計中的冷卻水系統(tǒng)進行調(diào)節(jié)，最終供向車間使用。
[0020]5、完成整個溫度升溫調(diào)節(jié)過程。
【主權(quán)項】
1.一種多晶硅切片機工藝水余熱回用循環(huán)系統(tǒng)，包括連接切片機冷卻水系統(tǒng)的工藝水栗，工藝水栗經(jīng)閥門2 —路連接冬用板式換熱器另一路連接夏用板式換熱器，冬用板式換熱器經(jīng)冷水機、冷卻塔、冷卻水栗、閥門3連接切片機冷卻水系統(tǒng)，所述夏用板式換熱器一路經(jīng)閥門4、水池、冷凍水栗連接冷水機，夏用板式換熱器另一路經(jīng)閥門5連接冷水機，其特征在于，所述閥門2與冬用板式換熱器之間和閥門3與夏用板式換熱器之間設(shè)有閥門1，所述閥門4 一端經(jīng)閥門6連接自來水管，所述閥門5 —端經(jīng)閥門7連接自來水管。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅切片機工藝水余熱回用循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述自來水管上設(shè)有閥門8、溫度計、壓力表，所述溫度計、壓力表設(shè)有2套，分別布置在閥門8兩端。
【專利摘要】一種多晶硅切片機工藝水余熱回用循環(huán)系統(tǒng)，包括連接切片機冷卻水系統(tǒng)的工藝水泵，工藝水泵經(jīng)閥門2一路連接冬用板式換熱器另一路連接夏用板式換熱器，冬用板式換熱器經(jīng)冷水機、冷卻塔、冷卻水泵、閥門3連接切片機冷卻水系統(tǒng)，所述夏用板式換熱器一路經(jīng)閥門4、水池、冷凍水泵連接冷水機，夏用板式換熱器另一路經(jīng)閥門5連接冷水機，所述閥門2與冬用板式換熱器之間和閥門3與夏用板式換熱器之間設(shè)有閥門1，所述閥門4一端經(jīng)閥門6連接自來水管，所述閥門5一端經(jīng)閥門7連接自來水管。解決了多晶硅硅片在冬季自來水水溫低于10℃時，硅片在表面清洗過程中溫差大而引起的碎片、破片率高的，導(dǎo)致生產(chǎn)成本率下降的突出問題，具有管網(wǎng)結(jié)構(gòu)簡單、改造成本低、節(jié)能效果明顯的特點，且便于安裝、操作簡單、工藝方案便捷安全的優(yōu)點。
【IPC分類】F24H1/00
【公開號】CN205191888
【申請?zhí)枴緾N201520796174
【發(fā)明人】汪柳青, 邱童時, 張珩琨, 涂文平, 楊書錦, 許楨
【申請人】江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年10月16日