法蘭冷卻水循環(huán)改造結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于PECVD冷卻水循環(huán)系統(tǒng)技術領域，具體涉及一種法蘭冷卻水循環(huán)改造結構。
【背景技術】
[0002]如圖1所示，捷佳偉創(chuàng)管式PECVD冷卻水循環(huán)系統(tǒng)用于設備前、后法蘭的降溫作用，其采用串聯(lián)水路是將冷卻水經(jīng)過后法蘭循環(huán)后進入前法蘭循環(huán)排出，當冷卻水進入前法蘭時水溫已經(jīng)升高，對前法蘭沒有良好的冷卻效果，易造成需經(jīng)常開關的爐門密封圈使用壽命降低，影響爐管密封性。
[0003]且，捷佳偉創(chuàng)管式PECVD前法蘭經(jīng)常發(fā)生漏氣，特別是在設備停機后復機時發(fā)生前法蘭漏氣，導致前法蘭密封圈使用壽命變短，根據(jù)現(xiàn)冷卻水路可分析出，前法蘭的冷卻水進水端是串聯(lián)到后法蘭的出水端，后法蘭的出水端溫度已達40°C以上，這樣前法蘭的冷卻效果大打折扣，導致爐口的密封圈容易燒壞。
[0004]故，需要一種新的技術方案以解決上述問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]實用新型目的:針對上述現(xiàn)有技術存在的問題和不足，本實用新型的目的是提供一種法蘭冷卻水循環(huán)改造結構。
[0006]技術方案:本實用新型公開了一種法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，包括前爐門法蘭、后爐門法蘭、包覆在后爐門法蘭周圍的水管和包覆在前爐門法蘭周圍的水管，所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管的進水端與冷卻水進水管連通，所述包覆在前爐門法蘭周圍的水管的出水端與冷卻水出水管連通，包覆在前爐門法蘭周圍的水管與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管并聯(lián)與冷卻水進水管、冷卻水出水管連通，將冷卻水分為兩路，一路直接流向包覆在后爐門法蘭周圍的水管的進水端，經(jīng)后爐門法蘭循環(huán)后排出，另一路進入前爐門法蘭循環(huán)排出，采用并聯(lián)水路的方法，有效解決了現(xiàn)有技術中的弊端，提高了冷卻水的使用效果。
[0007]作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的冷卻水進水管管口處設有冷卻水流量計。
[0008]作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的包覆在前爐門法蘭周圍的水管的進水端與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管的出水端連通，提高冷卻水的利用率。
[0009]作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的包覆在前爐門法蘭周圍的水管與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管均與冷卻水流量計相連。
[0010]作為本實用新型的進一步優(yōu)化，本實用新型所述的冷卻水流量計的輸出端設有卡套式三通接頭，所述三通接頭分別與冷卻水流量計、包覆在前爐門法蘭周圍的水管的進水端和包覆在后爐門法蘭周圍的水管的進水端相連。
[0011]有益效果:本實用新型與現(xiàn)有技術相比，具有以下優(yōu)點:本實用新型通過采用并聯(lián)前后爐門法蘭的進出水方式，使得前后爐門法蘭的進水溫度達到要求，同時不影響后爐門法蘭的冷卻效果，這樣可有效冷卻前后爐門法蘭密封圈，使得密封圈的使用壽命可延長5個月以上，同時本實用新型降低易損件更換成本和人工成本，降低更換密封圈的風險，具有良好的經(jīng)濟效益。
【附圖說明】
[0012]圖1為現(xiàn)有技術的結構不意圖；
[0013]圖2為本實用新型的結構不意圖；
[0014]1-包覆在后爐門法蘭周圍的水管、2—包覆在前爐門法蘭周圍的水管、3—冷卻水進水管、4—7令卻水出水管、5—7令卻水流量計、6—三通接頭。
【具體實施方式】
[0015]以下結合具體的實施例對本實用新型進行詳細說明，但同時說明本實用新型的保護范圍并不局限于本實施例的具體范圍，基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0016]需要說明的是，在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上；術語“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“前端”、“后端”、“頭部”、“尾部”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0017]如圖2所示，附圖中的箭頭方向即為水流流動方向，本實施例的一種法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，包括前爐門法蘭、后爐門法蘭、包覆在后爐門法蘭周圍的水管I和包覆在前爐門法蘭周圍的水管2，包覆在前爐門法蘭周圍的水管2與包覆在后爐門法蘭周圍的水管I并聯(lián)與冷卻水進水管3、冷卻水出水管4連通，將冷卻水分為兩路，一路直接流向包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的進水端，經(jīng)后爐門法蘭循環(huán)后排出，另一路進入前爐門法蘭循環(huán)排出，采用并聯(lián)水路的方法，有效解決了現(xiàn)有技術中的弊端，提高了冷卻水的使用效果。
[0018]其中，冷卻水進水管3管口處設有冷卻水流量計5，冷卻水流量計5的輸出端設有卡套式三通接頭6，卡套式三通接頭6分別與冷卻水流量計5、包覆在前爐門法蘭周圍的水管2的進水端和包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的進水端相連。
[0019]本實施例的具體連通方式為包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的進水端通過卡套式三通接頭6與帶有冷卻水流量計5的冷卻水進水管I連通，該包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的出水端與冷卻水出水管4連通，包覆在前爐門法蘭周圍的水管2的進水管與帶有冷卻水流量計5的冷卻水進水管3連通，該包覆在前爐門法蘭周圍的水管2的出水管與冷卻水出水端4連通，本實用新型通過采用并聯(lián)前后爐門法蘭的進出水方式，使得前后爐門法蘭的進水溫度達到要求，同時不影響后爐門法蘭的冷卻效果。
[0020]為進一步保證本實施例的冷卻水的利用率，本實施例將包覆在前爐門法蘭周圍的水管2的進水端與包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的出水端連通，且在該包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的出水端處設有溫度傳感器，但出水端的溫度高于設定值時，該包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的出水端與冷卻水出水管4連通，當出水端的溫度小于設定值時，該包覆在后爐門法蘭周圍的水管I的出水端與包覆在前爐門法蘭周圍的水管2的進水端連通，實現(xiàn)冷卻水的循環(huán)利用。
[0021]本實用新型的實施例是為了示例和描述起見而給出的，而并不是無遺漏的或者將本實用新型限于所公開的形式。很多修改和變化對于本領域的普通技術人員而言是顯而易見的。選擇和描述實施例是為了更好說明本實用新型的原理和實際應用，并且使本領域的普通技術人員能夠理解本實用新型從而設計適于特定用途的帶有各種修改的各種實施例。
【主權項】
1.法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，包括前爐門法蘭、后爐門法蘭、包覆在后爐門法蘭周圍的水管和包覆在前爐門法蘭周圍的水管，所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管的進水端與冷卻水進水管連通，所述包覆在前爐門法蘭周圍的水管的出水端與冷卻水出水管連通，其特征在于:包覆在前爐門法蘭周圍的水管與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管并聯(lián)與冷卻水進水管、冷卻水出水管連通。2.根據(jù)權利要求1所述的法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，其特征在于:所述冷卻水進水管管口處設有冷卻水流量計。3.根據(jù)權利要求1或2所述的法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，其特征在于:所述包覆在前爐門法蘭周圍的水管的進水端與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管的出水端連通。4.根據(jù)權利要求2所述的法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，其特征在于:所述包覆在前爐門法蘭周圍的水管與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管均與冷卻水流量計相連。5.根據(jù)權利要求2所述的法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，其特征在于:所述冷卻水流量計的輸出端設有卡套式三通接頭，所述三通接頭分別與冷卻水流量計、包覆在前爐門法蘭周圍的水管的進水端和包覆在后爐門法蘭周圍的水管的進水端相連。
【專利摘要】本實用新型公開了一種法蘭冷卻水循環(huán)改造結構，包括前爐門法蘭、后爐門法蘭、包覆在后爐門法蘭周圍的水管和包覆在前爐門法蘭周圍的水管，所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管的進水端與冷卻水進水管連通，所述包覆在前爐門法蘭周圍的水管的出水端與冷卻水出水管連通，包覆在前爐門法蘭周圍的水管與所述包覆在后爐門法蘭周圍的水管并聯(lián)與冷卻水進水管、冷卻水出水管連通。
【IPC分類】F27D1/18, F27D9/00
【公開號】CN205245806
【申請?zhí)枴緾N201521014048
【發(fā)明人】姚曉波
【申請人】奧特斯維能源（太倉）有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年12月9日