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一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):41845224發(fā)布日期:2025-05-09 18:03閱讀:8來源:國知局
一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備的制作方法

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán),具體為一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備。


背景技術(shù):

1、洗凈設(shè)備是指,半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)是指由石英材質(zhì)制成的在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的環(huán)形零件,是用來固定精密物件的基礎(chǔ)組件之一,在半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)加工過程中需要用到洗凈設(shè)備對(duì)石英環(huán)進(jìn)行清洗,在半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備使用過程中需要用到噴淋結(jié)構(gòu),從而提高半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備的使用效果。

2、但是,大多數(shù)的現(xiàn)有技術(shù)方案存在以下缺陷:對(duì)石英環(huán)進(jìn)行夾持時(shí)通過氣缸帶動(dòng)夾持板進(jìn)行夾持,普通洗凈設(shè)備對(duì)石英環(huán)的噴淋洗凈效果不佳,對(duì)于水流的回收利用不夠便捷,因此,本實(shí)用新型提供一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,以解決上述提出的問題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,以解決上述背景技術(shù)中提出的對(duì)石英環(huán)進(jìn)行夾持時(shí)通過氣缸帶動(dòng)夾持板進(jìn)行夾持,普通洗凈設(shè)備對(duì)石英環(huán)的噴淋洗凈效果不佳,對(duì)于水流的回收利用不夠便捷的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,包括箱體,其后端中側(cè)設(shè)置有水泵,且水泵的下側(cè)連接有銜接管,所述水泵的上側(cè)連接有連接管,且連接管的上端前側(cè)固定安裝有分流板,并且分流板的下側(cè)連接有噴頭;

3、還包括:

4、引導(dǎo)板,其固定安裝在箱體的內(nèi)部下側(cè),且箱體的內(nèi)部后側(cè)固定安裝有電機(jī),所述引導(dǎo)板的上側(cè)連接有濾網(wǎng),且濾網(wǎng)的前側(cè)連接有固定桿,所述箱體的內(nèi)部中側(cè)固定連接有安裝板,且箱體的前端中側(cè)設(shè)置有電機(jī),所述電機(jī)的后側(cè)連接有連接桿,且連接桿的左側(cè)連接有連動(dòng)輪,所述連動(dòng)輪的上側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)盤,且轉(zhuǎn)盤的上側(cè)連接有夾持結(jié)構(gòu);

5、銜接板,其安裝在箱體的前端上側(cè),且銜接板的外側(cè)連接有銜接桿。

6、優(yōu)選的,所述濾網(wǎng)與固定桿之間采用螺紋的方式相連接并對(duì)濾網(wǎng)起到固定作用。

7、優(yōu)選的,所述濾網(wǎng)與引導(dǎo)板之間采用貼合的方式相連接,且引導(dǎo)板的內(nèi)側(cè)為傾斜設(shè)置。

8、優(yōu)選的,所述連接桿與連動(dòng)輪之間構(gòu)成蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu),且連動(dòng)輪與安裝板之間采用轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接。

9、優(yōu)選的,所述銜接板與箱體之間采用卡合的方式相連接,且銜接板的豎截面形狀為“t”字形結(jié)構(gòu)。

10、優(yōu)選的,所述夾持結(jié)構(gòu)包含有移動(dòng)桿,該移動(dòng)桿安裝在轉(zhuǎn)盤的內(nèi)部前側(cè),且移動(dòng)桿的后側(cè)和轉(zhuǎn)盤的上端后側(cè)均安裝有夾持板,并且夾持板的內(nèi)側(cè)連接有防護(hù)板。

11、優(yōu)選的,所述夾持板與防護(hù)板之間采用卡合的相連接,且防護(hù)板關(guān)于轉(zhuǎn)盤的中心線前后對(duì)稱分布。

12、優(yōu)選的,所述移動(dòng)桿與轉(zhuǎn)盤之間采用螺紋的方式相連接,且移動(dòng)桿通過軸承與夾持板相連接。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,方便對(duì)石英環(huán)進(jìn)行夾持,方便對(duì)石英環(huán)進(jìn)行噴淋洗凈,且方便對(duì)水流進(jìn)行回收利用;

14、1、通過轉(zhuǎn)動(dòng)銜接桿,使銜接桿在銜接板的外側(cè)進(jìn)行螺紋連接,從而使銜接桿在箱體的前側(cè)進(jìn)行分離,再將石英環(huán)放置在轉(zhuǎn)盤的上側(cè),轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng)桿,使移動(dòng)桿在轉(zhuǎn)盤的內(nèi)部前側(cè)進(jìn)行螺紋連接,從而使通過軸承與移動(dòng)桿相連接的夾持板在轉(zhuǎn)盤的內(nèi)部向后進(jìn)行滑動(dòng),進(jìn)而使夾持板帶動(dòng)防護(hù)板對(duì)石英環(huán)進(jìn)行夾持,方便對(duì)石英環(huán)進(jìn)行夾持;

15、2、通過啟動(dòng)電機(jī),使電機(jī)帶動(dòng)連接桿在安裝板的內(nèi)部右側(cè)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),從而使連接桿構(gòu)成蝸輪蝸桿的連動(dòng)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),進(jìn)而使連動(dòng)輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),使轉(zhuǎn)盤帶動(dòng)石英環(huán)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),啟動(dòng)水泵,使水泵經(jīng)過銜接管將箱體內(nèi)部下側(cè)的水流吸取到連接管的內(nèi)部,從而經(jīng)過連接管進(jìn)入分流板的內(nèi)部,進(jìn)而經(jīng)過分流板下側(cè)連接的噴頭噴出對(duì)轉(zhuǎn)盤上側(cè)的石英環(huán)進(jìn)行洗凈,方便對(duì)石英環(huán)進(jìn)行噴淋洗凈;

16、3、通過引導(dǎo)板上側(cè)設(shè)置的濾網(wǎng),方便對(duì)水流進(jìn)行過濾,從而方便對(duì)水流進(jìn)行回收利用,再通過轉(zhuǎn)動(dòng)固定桿,使固定桿在箱體的前端中側(cè)進(jìn)行螺紋連接,從而使固定桿在濾網(wǎng)的前側(cè)進(jìn)行分離,再向上拉動(dòng)濾網(wǎng),使濾網(wǎng)在箱體的內(nèi)部進(jìn)行分離,方便對(duì)濾網(wǎng)進(jìn)行更換。



技術(shù)特征:

1.一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,包括箱體(1),其后端中側(cè)設(shè)置有水泵(2),且水泵(2)的下側(cè)連接有銜接管(3),所述水泵(2)的上側(cè)連接有連接管(4),且連接管(4)的上端前側(cè)固定安裝有分流板(5),并且分流板(5)的下側(cè)連接有噴頭(6);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述濾網(wǎng)(8)與固定桿(18)之間采用螺紋的方式相連接并對(duì)濾網(wǎng)(8)起到固定作用。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述濾網(wǎng)(8)與引導(dǎo)板(7)之間采用貼合的方式相連接,且引導(dǎo)板(7)的內(nèi)側(cè)為傾斜設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述連接桿(10)與連動(dòng)輪(11)之間構(gòu)成蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu),且連動(dòng)輪(11)與安裝板(9)之間采用轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述銜接板(14)與箱體(1)之間采用卡合的方式相連接,且銜接板(14)的豎截面形狀為“t”字形結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述夾持結(jié)構(gòu)包含有移動(dòng)桿(17),該移動(dòng)桿(17)安裝在轉(zhuǎn)盤(12)的內(nèi)部前側(cè),且移動(dòng)桿(17)的后側(cè)和轉(zhuǎn)盤(12)的上端后側(cè)均安裝有夾持板(15),并且夾持板(15)的內(nèi)側(cè)連接有防護(hù)板(13)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述夾持板(15)與防護(hù)板(13)之間采用卡合的相連接,且防護(hù)板(13)關(guān)于轉(zhuǎn)盤(12)的中心線前后對(duì)稱分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,其特征在于:所述移動(dòng)桿(17)與轉(zhuǎn)盤(12)之間采用螺紋的方式相連接,且移動(dòng)桿(17)通過軸承與夾持板(15)相連接。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,包括箱體,其后端中側(cè)設(shè)置有水泵,且水泵的下側(cè)連接有銜接管,所述水泵的上側(cè)連接有連接管,且連接管的上端前側(cè)固定安裝有分流板,并且分流板的下側(cè)連接有噴頭;引導(dǎo)板,其固定安裝在箱體的內(nèi)部下側(cè),且箱體的內(nèi)部后側(cè)固定安裝有電機(jī),所述引導(dǎo)板的上側(cè)連接有濾網(wǎng),所述箱體的內(nèi)部中側(cè)固定連接有安裝板,所述連動(dòng)輪的上側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)盤,且轉(zhuǎn)盤的上側(cè)連接有夾持結(jié)構(gòu);銜接板,其安裝在箱體的前端上側(cè),且銜接板的外側(cè)連接有銜接桿。該噴淋式半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈設(shè)備,方便對(duì)石英環(huán)進(jìn)行夾持,方便對(duì)石英環(huán)進(jìn)行噴淋洗凈,且方便對(duì)水流進(jìn)行回收利用。

技術(shù)研發(fā)人員:楊軍,張?jiān)虑?br/>受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇富樂德石英科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240509
技術(shù)公布日:2025/5/8
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