本技術涉及硅片清洗，尤其涉及一種硅片清洗藥槽。

背景技術：

1、硅片是指由硅單晶錠切割而成的薄片，又稱硅晶圓片，是半導體領域的重要材料，而硅片在切割完成后表面會有廢屑，此時需要對硅片進行清洗。

2、經(jīng)檢索，公告號為cn211071105u的中國專利，公開了一種硅片的清洗槽，包括槽體，所述槽體的頂部固定安裝有超聲波發(fā)生器，所述槽體的右側(cè)固定連接有排液口，對硅片進行二次的清洗，提高了硅片的清洗效率，然而仍存在以下缺陷，硅片固定放置在槽體的內(nèi)部，清洗過程中，硅片不能進行翻轉(zhuǎn)清洗，從而導致硅片清洗存在局限性，影響硅片清洗的效果。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的一種硅片清洗藥槽。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

3、一種硅片清洗藥槽，包括殼體，所述殼體的兩側(cè)外壁均開設有轉(zhuǎn)孔，兩個所述轉(zhuǎn)孔內(nèi)均轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)盤，兩個所述轉(zhuǎn)盤的一側(cè)均開設有方口，方口內(nèi)滑動連接有方桿，方桿的一端穿過殼體固定連接有夾板，夾板的一側(cè)開設有多個卡槽，所述殼體的頂部設有對方桿進行固定的卡合組件，所述殼體的兩側(cè)外壁均設有對轉(zhuǎn)盤進行固定的插合組件。

4、作為本實用新型再進一步的方案，所述卡合組件包括兩個固定桿，兩個所述固定桿均固定連接在殼體的頂部，兩個所述固定桿的頂部均開設有滑孔，滑孔內(nèi)滑動連接有導向桿，導向桿的底端固定連接有磁桿，所述方桿的外側(cè)開設有多個凹槽，且磁桿與凹槽卡接并與方桿吸附。

5、作為本實用新型再進一步的方案，兩個所述固定桿對稱分布，所述導向桿的頂端固定連接有拉環(huán)。

6、作為本實用新型再進一步的方案，所述插合組件包括兩個連接塊，兩個所述連接塊分別固定連接在殼體的兩側(cè)外壁，兩個所述連接塊的一側(cè)均開設有通孔，通孔內(nèi)滑動連接有固定柱，固定柱的一端固定連接有插銷，所述轉(zhuǎn)盤的兩側(cè)均開設有插口，且插銷與插口插接。

7、作為本實用新型再進一步的方案，所述固定柱的圓周外壁套接有彈簧，且彈簧的兩端分別與插銷和連接塊相固定。

8、作為本實用新型再進一步的方案，兩個所述固定柱的一端固定連接有u型桿。

9、作為本實用新型再進一步的方案，所述殼體內(nèi)固定連接有三角板，所述三角板的兩側(cè)和底部均與殼體之間留有空隙。

10、作為本實用新型再進一步的方案，所述殼體的一側(cè)位于底部的位置固定連接有與殼體內(nèi)部相連通的出水管，出水管的外側(cè)設有閥門。

11、本實用新型的有益效果為：

12、1.通過轉(zhuǎn)盤的設置，將硅片放入到夾板上的卡槽內(nèi)，然后通過夾板對硅片進行夾持，隨后對硅片進行清洗，清洗的的過程中可以轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)盤，從而對硅片進行翻轉(zhuǎn)，實現(xiàn)硅片的翻轉(zhuǎn)清洗，提高了硅片的清洗效果。

13、2.通過卡合組件的設置，使用卡合組件對方桿的位置進行固定，從而可以避免夾板在對硅片進行夾持的過程中夾板發(fā)生移動，提高了硅片夾持的穩(wěn)定性。

14、3.通過三角板的設置，在對硅片進行清洗的過程中，三角板可以減少硅片沖洗時產(chǎn)生的泡沫，從而可以避免硅片沖洗時泡沫過多，進一步提高了清洗效果。

技術特征：

1.一種硅片清洗藥槽，包括殼體(1)，其特征在于，所述殼體(1)的兩側(cè)外壁均開設有轉(zhuǎn)孔，兩個所述轉(zhuǎn)孔內(nèi)均轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)盤(16)，兩個所述轉(zhuǎn)盤(16)的一側(cè)均開設有方口，方口內(nèi)滑動連接有方桿(2)，方桿(2)的一端穿過殼體(1)固定連接有夾板(13)，夾板(13)的一側(cè)開設有多個卡槽(12)，所述殼體(1)的頂部設有對方桿(2)進行固定的卡合組件，所述殼體(1)的兩側(cè)外壁均設有對轉(zhuǎn)盤(16)進行固定的插合組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，所述卡合組件包括兩個固定桿(14)，兩個所述固定桿(14)均固定連接在殼體(1)的頂部，兩個所述固定桿(14)的頂部均開設有滑孔，滑孔內(nèi)滑動連接有導向桿(15)，導向桿(15)的底端固定連接有磁桿(17)，所述方桿(2)的外側(cè)開設有多個凹槽(3)，且磁桿(17)與凹槽(3)卡接并與方桿(2)吸附。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，兩個所述固定桿(14)對稱分布，所述導向桿(15)的頂端固定連接有拉環(huán)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，所述插合組件包括兩個連接塊(8)，兩個所述連接塊(8)分別固定連接在殼體(1)的兩側(cè)外壁，兩個所述連接塊(8)的一側(cè)均開設有通孔，通孔內(nèi)滑動連接有固定柱(6)，固定柱(6)的一端固定連接有插銷(10)，所述轉(zhuǎn)盤(16)的兩側(cè)均開設有插口(9)，且插銷(10)與插口(9)插接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，所述固定柱(6)的圓周外壁套接有彈簧(11)，且彈簧(11)的兩端分別與插銷(10)和連接塊(8)相固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，兩個所述固定柱(6)的一端固定連接有u型桿(7)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，所述殼體(1)內(nèi)固定連接有三角板(18)，所述三角板(18)的兩側(cè)和底部均與殼體(1)之間留有空隙。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗藥槽，其特征在于，所述殼體(1)的一側(cè)位于底部的位置固定連接有與殼體(1)內(nèi)部相連通的出水管(5)，出水管(5)的外側(cè)設有閥門(4)。

技術總結(jié)
本技術公開了一種硅片清洗藥槽，包括殼體，所述殼體的兩側(cè)外壁均開設有轉(zhuǎn)孔，兩個所述轉(zhuǎn)孔內(nèi)均轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)盤，兩個所述轉(zhuǎn)盤的一側(cè)均開設有方口，方口內(nèi)滑動連接有方桿，方桿的一端穿過殼體固定連接有夾板，夾板的一側(cè)開設有多個卡槽，所述殼體的頂部設有對方桿進行固定的卡合組件，所述殼體的兩側(cè)外壁均設有對轉(zhuǎn)盤進行固定的插合組件。本技術不僅能夠?qū)杵M行翻轉(zhuǎn)，實現(xiàn)硅片的翻轉(zhuǎn)清洗，提高了硅片的清洗效果，而且能夠避免夾板在對硅片進行夾持的過程中夾板發(fā)生移動，提高了硅片夾持的穩(wěn)定性，還能夠減少硅片沖洗時產(chǎn)生的泡沫，從而可以避免硅片沖洗時泡沫過多，進一步提高了清洗效果。

技術研發(fā)人員：張鑫,王偉
受保護的技術使用者：無錫榮能半導體材料有限公司
技術研發(fā)日：20240704
技術公布日：2025/5/8