本技術(shù)屬于微波等離子清洗，具體來說，涉及一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前已廣泛應(yīng)用的物理化學(xué)清洗方法，大致可以分為兩類:濕法清洗和干法清洗。從對(duì)環(huán)境的影響、原材料的消耗及未來發(fā)展上看，干法清洗要優(yōu)于濕法清洗。干法清洗中發(fā)展較快、優(yōu)勢明顯的是等離子體清洗。

2、等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì)。典型的等離子的組成是電子、離子、自由基和質(zhì)子。就如把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。

3、而微波等離子體設(shè)備產(chǎn)生能量的主要來源便是微波發(fā)生器。微波發(fā)生器是為微波等離子體裝置提供能量的單位，它可把電能變換為額定頻率(915mhz和2.4ghz)的微波能量，并實(shí)現(xiàn)對(duì)微波功率的調(diào)控。

4、微波等離子清洗設(shè)備的微波發(fā)生器件主要使用磁控管。其磁控管具有頻率不可控制，頻率比較復(fù)雜，而且無法有效檢測正向與反向功率等不可控因素，從而使得在等離子清洗過程中清洗效率低下，無法實(shí)時(shí)檢測微波數(shù)據(jù)。

5、有鑒于此特提出本實(shí)用新型。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，通過設(shè)置多組一個(gè)微波發(fā)生裝置和兩個(gè)固態(tài)源的組合形式，并且將各個(gè)微波發(fā)生器上處于同一側(cè)的固態(tài)源之間貫通起來形成水冷通道，利用水冷的方式可以對(duì)固態(tài)源在工作時(shí)進(jìn)行持續(xù)有效的降溫冷卻，使得整體的等離子體清洗效果充分。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用技術(shù)方案的基本構(gòu)思是：一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，包括外殼框架，外殼框架中設(shè)置有微波放電系統(tǒng)，微波放電系統(tǒng)包括，

3、微波發(fā)生裝置，設(shè)置于外殼框架中；

4、多個(gè)固態(tài)源，成對(duì)設(shè)置于微波發(fā)生裝置的兩側(cè)，與微波發(fā)生裝置處于同一側(cè)的各固態(tài)源之間設(shè)置有水冷通道，用于對(duì)固態(tài)源進(jìn)行降溫冷卻。

5、進(jìn)一步地，每對(duì)固態(tài)源相對(duì)于微波發(fā)生裝置的中心線對(duì)稱設(shè)置，每對(duì)固態(tài)源的板面相對(duì)設(shè)置。

6、進(jìn)一步地，各個(gè)固態(tài)源的頂部分別設(shè)置有進(jìn)水接口和出水接口，處于同一側(cè)的各個(gè)固定源之間通過水管依次串聯(lián)進(jìn)水接口和出水接口、形成水冷通道，所述水冷通道外接水冷機(jī)。

7、進(jìn)一步地，所述微波發(fā)生裝置的前后側(cè)相對(duì)側(cè)上設(shè)置有多對(duì)進(jìn)氣口和出氣口，各個(gè)進(jìn)氣口和出氣口通過氣管串聯(lián)、形成風(fēng)冷通道，所述風(fēng)冷通道外接冷風(fēng)機(jī)。

8、進(jìn)一步地，所述外殼框架內(nèi)設(shè)置有真空上腔室，微波發(fā)生裝置、固態(tài)源設(shè)置于真空腔室中，所述真空上腔室的底部設(shè)置有法拉第網(wǎng)。

9、進(jìn)一步地，所述外殼框架的底部設(shè)置有真空下腔室，與真空上腔室組成真空腔室，所述真空下腔室中設(shè)置有真空泵，用于對(duì)真空腔室進(jìn)行抽真空。

10、采用上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果：

11、1、本實(shí)用新型通過設(shè)置多組一個(gè)微波發(fā)生裝置和兩個(gè)固態(tài)源的組合形式，并且將各個(gè)微波發(fā)生器上處于同一側(cè)的固態(tài)源之間貫通起來形成水冷通道，利用水冷的方式可以對(duì)固態(tài)源在工作時(shí)進(jìn)行持續(xù)有效的降溫冷卻，使得整體的等離子體清洗效果充分，效率較高。

12、2、本實(shí)用新型通過在各個(gè)固態(tài)源的頂部分別設(shè)置有進(jìn)水接口和出水接口，利用水管將各個(gè)固態(tài)源串聯(lián)起來形成水冷通道，通過水冷機(jī)循環(huán)冷凝水持續(xù)將固態(tài)源工作時(shí)的熱量進(jìn)行吸收、散發(fā)出去，進(jìn)而保證各個(gè)固態(tài)源正常工作。

13、3、本實(shí)用新型通過在微波發(fā)生裝置的前后側(cè)相對(duì)側(cè)上設(shè)置有多對(duì)進(jìn)氣口和出氣口，通過氣管串聯(lián)起來形成風(fēng)冷通道，通過冷風(fēng)機(jī)的作用將冷風(fēng)依次經(jīng)過各個(gè)微波發(fā)生裝置，從而逐步對(duì)微波發(fā)生裝置的內(nèi)部進(jìn)行吸熱、排熱作業(yè)，從而有效保證微波發(fā)生裝置正常的工作運(yùn)行。

14、下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。

技術(shù)特征：

1.一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，包括外殼框架，外殼框架中設(shè)置有微波放電系統(tǒng)，其特征在于：微波放電系統(tǒng)包括，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，其特征在于：每對(duì)固態(tài)源相對(duì)于微波發(fā)生裝置的中心線對(duì)稱設(shè)置，每對(duì)固態(tài)源的板面相對(duì)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，其特征在于：各個(gè)固態(tài)源的頂部分別設(shè)置有進(jìn)水接口和出水接口，處于同一側(cè)的各個(gè)固定源之間通過水管依次串聯(lián)進(jìn)水接口和出水接口、形成水冷通道，所述水冷通道外接水冷機(jī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，其特征在于：所述微波發(fā)生裝置的前后側(cè)相對(duì)側(cè)上設(shè)置有多對(duì)進(jìn)氣口和出氣口，各個(gè)進(jìn)氣口和出氣口通過氣管串聯(lián)、形成風(fēng)冷通道，所述風(fēng)冷通道外接冷風(fēng)機(jī)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，其特征在于：所述外殼框架內(nèi)設(shè)置有真空上腔室，微波發(fā)生裝置、固態(tài)源設(shè)置于真空腔室中，所述真空上腔室的底部設(shè)置有法拉第網(wǎng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，其特征在于：所述外殼框架的底部設(shè)置有真空下腔室，與真空上腔室組成真空腔室，所述真空下腔室中設(shè)置有真空泵，用于對(duì)真空腔室進(jìn)行抽真空。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種固態(tài)源微波等離子清洗設(shè)備，包括外殼框架，外殼框架中設(shè)置有微波放電系統(tǒng)，微波放電系統(tǒng)包括，微波發(fā)生裝置，設(shè)置于外殼框架中；多個(gè)固態(tài)源，成對(duì)設(shè)置于微波發(fā)生裝置的兩側(cè)，與微波發(fā)生裝處于同一側(cè)的各固態(tài)源之間設(shè)置有水冷通道，用于對(duì)固態(tài)源進(jìn)行降溫冷卻。本技術(shù)通過設(shè)置多組一個(gè)微波發(fā)生裝置和兩個(gè)固態(tài)源的組合形式，并且將各個(gè)微波發(fā)生器上處于同一側(cè)的固態(tài)源之間貫通起來形成水冷通道，利用水冷的方式可以對(duì)固態(tài)源在工作時(shí)進(jìn)行持續(xù)有效的降溫冷卻，使得整體的等離子體清洗效果充分，效率較高。

技術(shù)研發(fā)人員：田鵬康,劉星,徐磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科光智（重慶）科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240717
技術(shù)公布日：2025/5/8