一種片式元件用涂玻璃機的制作方法
【專利摘要】一種片式元件用涂玻璃機，包括機架，涂玻璃機還包括元件傳送部件和完成不同加工工藝步驟的加工工位，加工工位至少包括進出片工位、流平工位、壓氣工位和找平工位，片式元件在所述元件傳送部件帶動下，依次經(jīng)進出片工位進片、流平工位將玻璃漿平鋪在片式元件表面、壓氣工位壓氣處理和找平工位完成對片式元件表面找平處理后，再從進出片工位出片。本機加工質(zhì)量好、操作效率高，節(jié)省的人工大大降低了元件的加工成本。
【專利說明】
一種片式元件用涂玻璃機
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及片式元件產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種將玻璃漿均勻涂布在片式元件上、并可進行烘干處理的片式元件用涂玻璃機。
【背景技術(shù)】
[0002]GPP芯片是借助玻璃鈍化層對pn結(jié)區(qū)進行保護的芯片，即在硅片p+面上利用化學(xué)腐蝕方法開出一定深度的溝槽并將暴露的pn結(jié)用玻璃鈍化保護起來，該種GPP芯片的優(yōu)點是工藝簡單易行，其中VBR為1200V以下的芯片的電性能可靠性高且成本低廉。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，GPP芯片在制作時，玻璃漿由人工進行涂布，該工藝存在以下缺陷:玻璃漿在芯片表面上的包裹性差；玻璃厚度不均勻，存在氣泡，且不同芯片玻璃漿層一致性差;人工涂布的玻璃漿耗費量大;高溫鈍化后的玻璃層存在打火、漏電等問題。
[0004]申請?zhí)枮?01210287621.3的發(fā)明專利中公開了一種片式元件表面噴涂玻璃的封裝設(shè)備，該設(shè)備包括支撐架、安裝于支撐架表面用于傳送載板的鏈條傳動機構(gòu)，支撐架對應(yīng)于鏈輪鏈條傳動機構(gòu)的上方設(shè)有噴涂箱，噴涂箱的內(nèi)壁安裝有噴槍，噴涂箱內(nèi)還設(shè)有用于擋風(fēng)的擋風(fēng)板，噴涂箱上還設(shè)有預(yù)留抽風(fēng)口以及便于觀察的玻璃觀察門。該設(shè)備通過噴槍噴涂的方式將玻璃漿均布在芯片表面上，相比于人工涂玻璃漿，具有噴涂效率高、涂層薄的優(yōu)點，但是:該設(shè)備由鏈條傳動機構(gòu)完成元件的傳送，傳送效率低，自動化程度差;噴涂的涂層厚度及其均勻度還不理想。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，提供一種多工位連續(xù)自動化操作、玻璃涂層均勻性好、且涂層薄的涂玻璃機，采用的技術(shù)方案是:一種片式元件用涂玻璃機，包括機架，其特征在于:所述涂玻璃機還包括元件傳送部件和完成不同加工工藝步驟的加工工位，所述加工工位至少包括進出片工位、流平工位、壓氣工位和找平工位，所述片式元件在所述元件傳送部件帶動下，依次經(jīng)所述進出片工位進片、所述流平工位將玻璃漿平鋪在片式元件表面、所述壓氣工位壓氣處理和所述找平工位完成對所述片式元件表面找平處理后，再從所述進出片工位出片。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述加工工位還包括烘干工位，經(jīng)所述進出片工位出片后，所述片式元件由所述片式元件傳送部件輸送至所述烘干工位進行烘干處理。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述片式元件傳送部件包括轉(zhuǎn)盤和機械手，所述轉(zhuǎn)盤上設(shè)有用于吸附所述片式元件的吸盤，所述機械手位于所述轉(zhuǎn)盤的一側(cè)。
[0008]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述流平工位包括將適量玻璃漿涂布在所述片式元件表面上的涂料部件，所述涂料部件位于所述轉(zhuǎn)盤的側(cè)部。
[0009]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述壓氣工位包括壓氣盤，所述壓氣盤通過萬向節(jié)與壓氣電機的輸出軸連接，所述壓氣盤朝向所述片式元件的一面上設(shè)有壓氣片。
[0010]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述壓氣片與所述片式元件之間設(shè)有一間隙。[0011 ]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述找平工位設(shè)有找平部件，所述找平部件包括找平電機和找平刮刀，所述找平刮刀位于所述吸盤的上方，所述找平刮刀連接在所述找平電機的輸出軸上。
[0012]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述烘干工位包括烘干箱，所述烘干箱內(nèi)設(shè)有加熱部件，所述烘干箱的箱體表面上設(shè)有取送口。
[0013]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述加工工位還包括空位檢測工位，經(jīng)所述進出片工位輸入后的所述片式元件，經(jīng)所述空位檢測工位進行空位檢測后，輸送至所述流平工位，所述空位檢測工位包括設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤一側(cè)的空位檢測傳感器。
[0014]本發(fā)明的技術(shù)特征還有:所述轉(zhuǎn)盤連接在主電機的輸出軸上。
[0015]本發(fā)明的有益效果在于:本涂玻璃機為一種可替代人工操作實現(xiàn)片式元件涂玻璃漿的全自動化機器，該機加工后的片式元件上玻璃漿層厚度均勻一致、精度高，且表面平整性好;本機的機械手配合元件傳送部件，依次完成不同工位的自動化操作，機械手還能通過程序控制，實現(xiàn)不同工位之間的元件傳遞;本機加工質(zhì)量好、操作效率高，節(jié)省的人工大大降低了元件的加工成本。
【附圖說明】
[0016]附圖1是本發(fā)明部分結(jié)構(gòu)示意圖，附圖2是烘干箱內(nèi)的轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)示意圖，附圖3是取送口結(jié)構(gòu)示意圖，附圖4是壓氣部件結(jié)構(gòu)示意圖，附圖5是壓氣片結(jié)構(gòu)示意圖，附圖6是找平部件結(jié)構(gòu)示意圖，I是轉(zhuǎn)盤，2是真空吸氣管，3是吸盤，31是吸盤上的吸氣通道，4是轉(zhuǎn)軸，5是機械手，51是機械手轉(zhuǎn)臂，52是機械手爪，6是烘干箱，61是加熱部件，62是取送口，63是箱體，7是壓氣盤，71是萬向節(jié)，72是壓氣片，73是壓氣電機，8是找平部件，81是找平電機，82是找平刀片。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實施方式】進行說明。本發(fā)明公開了一種片式元件用涂玻璃機，包括機架，涂玻璃機包括元件傳送部件、進出片工位、空位檢測工位、流平工位、壓氣工位、找平工位和烘干工位。其中，進出片工位完成片式元件涂玻璃漿加工的上片和下片?？瘴粰z測工位通過空位檢測器進行空位檢測，一旦檢測到該工位上未有傳遞而來的片式元件，則該空位檢測器發(fā)出空位信號，涂玻璃機將進入待機處理狀態(tài)。流平工位對片式元件進行上玻璃漿處理，且保證每片上涂布的玻璃漿料液多少可調(diào)，這樣通過對玻璃漿料液的控制，可調(diào)整鈍化后玻璃層的厚度，同時也可壓出部分氣體。壓氣工位是在玻璃漿鋪平后，將元件表面溝道中氣體繼續(xù)向外擠壓出來，確保溝道內(nèi)無氣體。
[0018]找平工位可將元件上多余玻璃漿刮下來，確保溝道內(nèi)玻璃漿形成的玻璃層厚度均勻，符合要求。找平部件包括找平電機和找平刮刀，找平刮刀位于所述吸盤的上方，找平刮刀連接在找平電機的輸出軸上。
[0019]烘干工位，經(jīng)進出片工位出片后，片式元件由片式元件傳送部件輸送至烘干工位進行烘干處理。烘干工位上設(shè)烘干箱，烘干箱內(nèi)設(shè)有加熱部件，烘干箱的箱體表面上設(shè)有取送口。機械手首先將待烘干的片式元件元件輸送至烘干箱內(nèi)，烘干箱內(nèi)轉(zhuǎn)盤上的吸盤吸附該元件，該元件被吸附后，隨轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，待其再次轉(zhuǎn)動至取送口位置時，機械手將該元件取出，該元件上玻璃漿鈍化處理已經(jīng)完成。
[0020]經(jīng)本機涂布后，片式元件表面鈍化玻璃層厚度為60±1μπι，具體厚度可以根據(jù)工藝的需要隨意設(shè)定。
[0021]本機可用于GPP芯片的涂玻璃漿和鈍化處理上，還可用于其他片式元件表面涂布的加工上。
[0022]當(dāng)然，上述說明并非對本發(fā)明的限制，本發(fā)明也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種片式元件用涂玻璃機，包括機架，其特征在于:所述涂玻璃機還包括元件傳送部件和完成不同加工工藝步驟的加工工位，所述加工工位至少包括進出片工位、流平工位、壓氣工位和找平工位，所述片式元件在所述元件傳送部件帶動下，依次經(jīng)所述進出片工位進片、所述流平工位將玻璃漿平鋪在片式元件表面、所述壓氣工位壓氣處理和所述找平工位完成對所述片式元件表面找平處理后，再從所述進出片工位出片。2.按照權(quán)利要求1所述的涂玻璃機，其特征在于:所述加工工位還包括烘干工位，經(jīng)所述進出片工位出片后，所述片式元件由所述片式元件傳送部件輸送至所述烘干工位進行烘干處理。3.按照權(quán)利要求2所述的涂玻璃機，其特征在于:所述片式元件傳送部件包括轉(zhuǎn)盤和機械手，所述轉(zhuǎn)盤上設(shè)有用于吸附所述片式元件的吸盤，所述機械手位于所述轉(zhuǎn)盤的一側(cè)。4.按照權(quán)利要求3所述的涂玻璃機，其特征在于:所述流平工位包括將適量玻璃漿涂布在所述片式元件表面上的涂料部件，所述涂料部件位于所述轉(zhuǎn)盤的側(cè)部。5.按照權(quán)利要求3所述的涂玻璃機，其特征在于:所述壓氣工位包括壓氣盤，所述壓氣盤通過萬向節(jié)與壓氣電機的輸出軸連接，所述壓氣盤朝向所述片式元件的一面上設(shè)有壓氣片。6.按照權(quán)利要求5所述的涂玻璃機，其特征在于:所述壓氣片與所述片式元件之間設(shè)有一間隙。7.按照權(quán)利要求5所述的涂玻璃機，其特征在于:所述找平工位設(shè)有找平部件，所述找平部件包括找平電機和找平刮刀，所述找平刮刀位于所述吸盤的上方，所述找平刮刀連接在所述找平電機的輸出軸上。8.按照權(quán)利要求5所述的涂玻璃機，其特征在于:所述烘干工位包括烘干箱，所述烘干箱內(nèi)設(shè)有加熱部件，所述烘干箱的箱體表面上設(shè)有取送口。9.按照權(quán)利要求5所述的涂玻璃機，其特征在于:所述加工工位還包括空位檢測工位，經(jīng)所述進出片工位輸入后的所述片式元件，經(jīng)所述空位檢測工位進行空位檢測后，輸送至所述流平工位，所述空位檢測工位包括設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤一側(cè)的空位檢測傳感器。10.按照權(quán)利要求1所述的涂玻璃機，其特征在于:所述轉(zhuǎn)盤連接在主電機的輸出軸上。
【文檔編號】B05C11/00GK106000789SQ201610628406
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年8月4日
【發(fā)明人】張運, 鹿慶文, 孫者利
【申請人】濟南卓微電子有限公司