本技術(shù)涉及石英舟測量，具體為石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)。

背景技術(shù)：

1、用于半導(dǎo)體行業(yè)的立式石英舟槽棒槽齒表面平面度及粗糙度型位公差檢測工序。立式石英舟的組成由天板，受臺，及槽棒等部件組成，在焊接成型后，根據(jù)圖紙及技術(shù)要求對槽棒槽齒面進(jìn)行各項指標(biāo)的檢驗，其中包括，槽齒面的平面度，粗糙度，及多槽棒槽齒相對位置上的平行度等。由于每支槽棒上的槽齒數(shù)量不等，少則幾十多則幾百，且間距不等，槽寬，槽型均不一樣，所以很難使用一種通用的測量治具來進(jìn)行全部產(chǎn)品測量。目前現(xiàn)有的測量儀器是固定標(biāo)準(zhǔn)的形式，對精密產(chǎn)品的表面測量的數(shù)據(jù)相對比較權(quán)威可靠。但在使用時只能固定樣式測量，沒有相關(guān)的輔助治具來配合使用，很多位置由于空間受限，都無法進(jìn)行測量。為改善這種情況，發(fā)明了石英舟槽齒表面粗糙度自動測量機(jī)，將測量儀固定在可270度空間旋轉(zhuǎn)的托盤上，通過自動控制編程來調(diào)整托盤的空間位置，來對槽齒面的不同位置進(jìn)行測量，采集需要的數(shù)據(jù)驗證產(chǎn)品質(zhì)量。

2、發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的過程中發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)存在如下問題：之前的立式石英舟槽棒槽齒表面平面度及粗糙度型位公差檢測工序方法是利用不同高度的墊塊來調(diào)整多功能測量儀的位置，測量前需要準(zhǔn)備多種輔助墊塊和調(diào)整治具，在測量較高的位置時需要多個人員操作，還要防止墊塊對石英件的磕碰，一旦碰環(huán)槽齒，整個石英舟產(chǎn)品就要進(jìn)行重新修復(fù)或報廢處理，在操作上不便，安全性低。同時測量的精度以及測量點(diǎn)位的數(shù)量也會受到影響，難以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，解決了現(xiàn)有的立式石英舟槽棒槽齒表面平面度及粗糙度型位公差檢測工序方法是利用不同高度的墊塊來調(diào)整多功能測量儀的位置，測量前需要準(zhǔn)備多種輔助墊塊和調(diào)整治具，在測量較高的位置時需要多個人員操作，還要防止墊塊對石英件的磕碰，一旦碰環(huán)槽齒，整個石英舟產(chǎn)品就要進(jìn)行重新修復(fù)或報廢處理，在操作上不便，安全性低。同時測量的精度以及測量點(diǎn)位的數(shù)量也會受到影響，難以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，包括設(shè)備基座和立式石英舟，所述設(shè)備基座的側(cè)壁面設(shè)有護(hù)罩，所述設(shè)備基座內(nèi)設(shè)有編程操控系統(tǒng)，所述設(shè)備基座內(nèi)設(shè)有設(shè)備調(diào)平機(jī)構(gòu)，所述設(shè)備基座上端設(shè)有固定支架，所述固定支架上滑動安裝有精密傳動模組移動座，所述設(shè)備基座內(nèi)設(shè)有主電機(jī)，所述主電機(jī)的伸縮端與伸縮精密傳動模組移動座相連接，所述精密傳動模組移動座的側(cè)壁面設(shè)有聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，所述聯(lián)桿機(jī)構(gòu)連接有多功能測量儀，所述多功能測量儀可放置在所述立式石英舟內(nèi)。

3、優(yōu)選的，所述多功能測量儀的上壁面設(shè)有調(diào)整旋鈕。

4、優(yōu)選的，所述主電機(jī)為伸縮電機(jī)。

5、優(yōu)選的，所述護(hù)罩內(nèi)設(shè)有若干散熱孔。

6、有益效果

7、本實(shí)用新型提供了石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，將測量儀固定在可270度空間旋轉(zhuǎn)的托盤上，通過自動控制編程來調(diào)整托盤的空間位置，來對槽齒面的不同位置進(jìn)行測量，采集需要的數(shù)據(jù)驗證產(chǎn)品質(zhì)量，在使用石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)后，可保證每級高度的精度0.01—0.02mm，可以覆蓋90％上的槽齒面測量，可一個人進(jìn)行編程操控，記錄數(shù)據(jù)，大幅度提高了工作效率，和測量精度，操作十分方便。

技術(shù)特征：

1.石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，包括設(shè)備基座(1)和立式石英舟(9)，其特征在于，所述設(shè)備基座(1)的側(cè)壁面設(shè)有護(hù)罩(4)，所述設(shè)備基座(1)內(nèi)設(shè)有編程操控系統(tǒng)，所述設(shè)備基座(1)內(nèi)設(shè)有設(shè)備調(diào)平機(jī)構(gòu)(2)，所述設(shè)備基座(1)上端設(shè)有固定支架(8)，所述固定支架(8)上滑動安裝有精密傳動模組移動座(7)，所述設(shè)備基座(1)內(nèi)設(shè)有主電機(jī)(3)，所述主電機(jī)(3)的伸縮端與伸縮精密傳動模組移動座(7)相連接，所述精密傳動模組移動座(7)的側(cè)壁面設(shè)有聯(lián)桿機(jī)構(gòu)(5)，所述聯(lián)桿機(jī)構(gòu)(5)連接有多功能測量儀(6)，所述多功能測量儀(6)可放置在所述立式石英舟(9)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，其特征在于，所述多功能測量儀(6)的上壁面設(shè)有調(diào)整旋鈕(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，其特征在于，所述主電機(jī)(3)為伸縮電機(jī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，其特征在于，所述護(hù)罩(4)內(nèi)設(shè)有若干散熱孔(10)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)，涉及石英舟測量技術(shù)領(lǐng)域。包括設(shè)備基座和立式石英舟，所述設(shè)備基座的側(cè)壁面設(shè)有護(hù)罩，所述設(shè)備基座內(nèi)設(shè)有編程操控系統(tǒng)，所述設(shè)備基座內(nèi)設(shè)有設(shè)備調(diào)平機(jī)構(gòu)，所述設(shè)備基座上端設(shè)有固定支架，所述固定支架上滑動安裝有精密傳動模組移動座，所述設(shè)備基座內(nèi)設(shè)有主電機(jī)，所述主電機(jī)的伸縮端與伸縮精密傳動模組移動座相連接，所述精密傳動模組移動座的側(cè)壁面設(shè)有聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，所述聯(lián)桿機(jī)構(gòu)連接有多功能測量儀，在使用石英舟表面粗糙度自動測量機(jī)后，可保證每級高度的精度0.01—0.02mm，可以覆蓋90％上的槽齒面測量，可一個人進(jìn)行編程操控，記錄數(shù)據(jù)，大幅度提高了工作效率，和測量精度，操作十分方便。

技術(shù)研發(fā)人員：喻永前,李英東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：沈陽凱坤機(jī)械設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240731
技術(shù)公布日：2025/5/8