本發(fā)明涉及視覺檢驗裝置，具體來說涉及一種顯影液視覺檢驗裝置及檢測方法。

背景技術(shù)：

1、顯影液是一種重要的濕電子化學品，也是半導體、顯示面板、太陽能電池制作過程中關(guān)鍵的原材料之一。顯影液質(zhì)量的優(yōu)劣，直接影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量，電子行業(yè)對顯影液的一般要求是超凈和高純。半導體、顯示面板、太陽能電池等行業(yè)發(fā)展速度快，屬于國家大力發(fā)展的戰(zhàn)略新興行業(yè)。顯影液的市場需求會隨著這些行業(yè)的快速發(fā)展而不斷增長。

2、根據(jù)公開號cn114414498a，公開（公告）日：2022.04.29，公開的一種顯影液質(zhì)量檢驗裝置及其使用方法，包括檢測設(shè)備，所述檢測設(shè)備的下方設(shè)置有檢測組件，所述檢測設(shè)備的一側(cè)設(shè)置有傳料組件，所述檢測設(shè)備與傳料組件相鄰的一側(cè)設(shè)置有上料組件，所述檢測組件包括檢測槽，所述檢測槽的頂壁安裝有光譜探頭，所述上料組件包括上料座，所述上料座的頂壁活動連接有連板，所述連板的頂壁焊接有立板，所述立板的頂壁安裝有連座，具體涉及顯影液質(zhì)量檢驗技術(shù)領(lǐng)域。該顯影液質(zhì)量檢驗裝置及其使用方法，通過控制程序控制上料架、傳料架和履帶互相配合運動，可實現(xiàn)各個標盤自動化的上料-檢測-下料作業(yè)，從而避免了人員手工檢測顯影液時被顯影液腐蝕的危險，提升工作人員的工作安全性。

3、包括上述的專利的現(xiàn)有技術(shù)中，利用上料板伸出并抬升將盛放有顯影液的標盤叉起，隨后上料板旋轉(zhuǎn)以將標盤旋轉(zhuǎn)移動放置于第一板架上，使得光譜探頭可對第一板架上的標盤內(nèi)盛放的顯影液進行檢驗，然而由于上料板搬動標盤移動上料時具有旋轉(zhuǎn)行程，容易導致標盤在搬運過程中受旋轉(zhuǎn)離心力而從上料板滑動脫落，具有安全隱患。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種顯影液視覺檢驗裝置及檢測方法，用于解決上述問題。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種顯影液視覺檢驗裝置，包括基座，其上設(shè)置有：

3、光譜探頭；

4、放置組件，其包括呈腰圓狀循環(huán)旋轉(zhuǎn)的移動帶，移動帶上設(shè)置有用于放置料盤的放置座，所述放置座上開設(shè)有通過槽；

5、升降座，其豎向滑動布置，所述升降座上設(shè)置有輸送組件，所述輸送組件包括具有水平滑動行程的滑動座，所述滑動座上設(shè)置有承托座；

6、其中，所述升降座豎向抬升至高位以使承托座經(jīng)過通過槽抬升以托起料盤，所述滑動座受驅(qū)向行程的第一端滑動以帶動承托座和料盤向光譜探頭的豎向下方一側(cè)移動。

7、作為優(yōu)選的，所述升降座上設(shè)置有驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件包括對稱轉(zhuǎn)動布置于升降座兩側(cè)的接觸輪，所述承托座對稱擺動布置于滑動座上，且承托座上開設(shè)有夾持弧槽，所述升降座豎向抬升至高位以使接觸輪抵觸通過槽側(cè)壁滾動，接觸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動兩個承托座相對擺動遠離以使料盤落入夾持弧槽內(nèi)。

8、作為優(yōu)選的，所述滑動座上豎向滑動設(shè)置有承托柱，所述承托柱默認狀態(tài)下位于高位且其頂端與承托座平齊，接觸輪旋轉(zhuǎn)驅(qū)動兩個承托座相對擺動遠離時，接觸輪驅(qū)動承托柱豎向滑動下降以承托料盤下降進入夾持弧槽內(nèi)。

9、作為優(yōu)選的，所述驅(qū)動組件還包括豎向滑動布置于升降座內(nèi)的驅(qū)動座，所述驅(qū)動座上水平滑動布置有升降柱，所述承托柱內(nèi)開設(shè)有活動腔，且活動腔的開口連通至承托柱頂端，升降柱上設(shè)置有位于活動腔內(nèi)活塞滑動的活塞板，所述接觸輪受驅(qū)旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動座豎向滑動，且驅(qū)動座帶動升降柱同步豎向滑動以使得活塞板先位于活動腔內(nèi)活塞滑動后，活塞板抵推承托柱豎向滑動。

10、作為優(yōu)選的，還包括調(diào)節(jié)組件，其包括鎖止桿和調(diào)節(jié)桿，所述鎖止桿水平滑動設(shè)置于升降座上，所述調(diào)節(jié)桿受驅(qū)旋轉(zhuǎn)以驅(qū)使鎖止桿相對于光譜探頭豎向投影位置水平滑動，所述升降柱上開設(shè)有抵觸槽，所述滑動座受驅(qū)向行程的第一端滑動以使抵觸槽抵觸于鎖止桿上后鎖止。

11、作為優(yōu)選的，所述鎖止桿上對稱轉(zhuǎn)動設(shè)置有穩(wěn)定輪，所述承托座的底部面上開設(shè)有進入槽，所述滑動座受驅(qū)向行程的第一端滑動以使得穩(wěn)定輪滾動抵托于進入槽內(nèi)。

12、作為優(yōu)選的，兩個所述承托座上均設(shè)置有與夾持弧槽拼接形成弧狀夾持面的橡膠抵塊，其中一個承托座上的橡膠抵塊內(nèi)部開設(shè)有中空腔，所述中空腔內(nèi)設(shè)置有呈鈍角狀的彈性板，所述承托座上設(shè)置有伸入進入槽內(nèi)的拱起部，且所述拱起部背向夾持弧槽一側(cè)。

13、作為優(yōu)選的，所述驅(qū)動組件還包括活動柱、轉(zhuǎn)動輪和同步帶，所述活動柱的第一端水平滑動布置于驅(qū)動座上，所述轉(zhuǎn)動輪轉(zhuǎn)動布置于滑動座內(nèi)，所述活動柱周側(cè)面上設(shè)置有呈螺線狀的抵推部，所述抵推部滑動設(shè)置于轉(zhuǎn)動輪上開設(shè)的配合槽內(nèi)，所述驅(qū)動座帶動活動柱豎向活動以抵推轉(zhuǎn)動輪旋轉(zhuǎn)，且轉(zhuǎn)動輪通過同步帶與承托座的轉(zhuǎn)動部同步旋轉(zhuǎn)。

14、作為優(yōu)選的，所述承托柱通過滑動環(huán)部豎向活動設(shè)置于滑動座內(nèi)，所述滑動環(huán)部上對稱圓周陣列開設(shè)有內(nèi)凹槽，所述活動柱豎向滑動使得抵推部移動抵推內(nèi)凹槽以使承托柱軸向旋轉(zhuǎn)。

15、一種顯影液檢測方法，包括上述方案中所述的顯影液視覺檢驗裝置，具體步驟如下：

16、s1、首先將不同的顯影液分別等量倒入若干料盤內(nèi)，并蓋合料盤的蓋子，隨后將料盤分別放置于不同放置座上；

17、s2、驅(qū)動移動帶將某個放置座與升降座相對齊后停止，升降座帶動承托座豎向抬升以經(jīng)過通過槽，承托座上升以將放置座上的料盤托起，且隨著升降座的繼續(xù)抬升，接觸輪抵觸通過槽側(cè)壁滾動以使承托座相對擺動遠離，且接觸輪還通過驅(qū)動座以帶動升降柱下降，此時承托柱的頂部產(chǎn)生吸力以將料盤吸附，隨后承托柱豎向下降以承托料盤進入夾持弧槽內(nèi)；

18、s3、滑動座帶動承托座和料盤水平移動向光譜探頭的豎向下方側(cè)靠近，而承托座靠近穩(wěn)定輪使得穩(wěn)定輪滾動抵托于進入槽內(nèi)，進入槽的拱起部擠壓穩(wěn)定輪以使承托座受反作用力擺動靠近以夾緊料盤周側(cè)，料盤受承托座的擠壓以對橡膠抵塊施壓，橡膠抵塊內(nèi)側(cè)的彈性板蓄能后形變釋放以使得料盤進行快速的軸向旋轉(zhuǎn)，將料盤內(nèi)部頂壁的液滴甩至周側(cè)；

19、s4、直至滑動座滑動至其上的升降柱抵觸于鎖止桿上后，滑動座滑動停止，且此時料盤與光譜探頭豎向?qū)R；

20、s5、通過光譜探頭以對料盤內(nèi)的顯影液進行檢驗，檢驗完成后，滑動座滑動復位帶動料盤靠近放置座，隨后升降座豎向下降以通過接觸輪和驅(qū)動座驅(qū)承托柱托起料盤，承托座相對擺動靠攏復位，隨后檢測過后的料盤落于放置座上，升降座下降至低位；

21、s6、重復s2-s5步驟以對各個放置座上放置的料盤內(nèi)部的顯影液進行檢驗。

22、在上述技術(shù)方案中，本發(fā)明提供的一種顯影液視覺檢驗裝置及檢測方法，具備以下有益效果：利用移動帶帶動若干放置座和料盤進行腰圓狀循環(huán)移動，而升降座和滑動座與移動帶交錯運行以實現(xiàn)對各個的料盤托起抬升和水平輸送，在實現(xiàn)了對多個料盤的自動搬運檢測的同時，還避免了在搬運料盤的過程中具有旋轉(zhuǎn)行程而導致料盤滑動脫落問題，提高料盤的輸送穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，包括基座（1），其上設(shè)置有：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，所述升降座（31）上設(shè)置有驅(qū)動組件（5），所述驅(qū)動組件（5）包括對稱轉(zhuǎn)動布置于升降座（31）兩側(cè)的接觸輪（51），所述承托座（42）對稱擺動布置于滑動座（41）上，且承托座（42）上開設(shè)有夾持弧槽（421），所述升降座（31）豎向抬升至高位以使接觸輪（51）抵觸通過槽（231）側(cè)壁滾動，接觸輪（51）旋轉(zhuǎn)驅(qū)動兩個承托座（42）相對擺動遠離以使料盤（91）落入夾持弧槽（421）內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，所述滑動座（41）上豎向滑動設(shè)置有承托柱（71），所述承托柱（71）默認狀態(tài)下位于高位且其頂端與承托座（42）平齊，接觸輪（51）旋轉(zhuǎn)驅(qū)動兩個承托座（42）相對擺動遠離時，接觸輪（51）驅(qū)動承托柱（71）豎向滑動下降以承托料盤（91）下降進入夾持弧槽（421）內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，所述驅(qū)動組件（5）還包括豎向滑動布置于升降座（31）內(nèi)的驅(qū)動座（52），所述驅(qū)動座（52）上水平滑動布置有升降柱（72），所述承托柱（71）內(nèi)開設(shè)有活動腔（711），且活動腔（711）的開口連通至承托柱（71）頂端，升降柱（72）上設(shè)置有位于活動腔（711）內(nèi)活塞滑動的活塞板（721），所述接觸輪（51）受驅(qū)旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動座（52）豎向滑動，且驅(qū)動座（52）帶動升降柱（72）同步豎向滑動以使得活塞板（721）先位于活動腔（711）內(nèi)活塞滑動后，活塞板（72）抵推承托柱（71）豎向滑動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，還包括調(diào)節(jié)組件，其包括鎖止桿（61）和調(diào)節(jié)桿（63），所述鎖止桿（61）水平滑動設(shè)置于升降座（31）上，所述調(diào)節(jié)桿（63）受驅(qū)旋轉(zhuǎn)以驅(qū)使鎖止桿（61）相對于光譜探頭（111）豎向投影位置水平滑動，所述升降柱（72）上開設(shè)有抵觸槽（722），所述滑動座（41）受驅(qū)向行程的第一端滑動以使抵觸槽（722）抵觸于鎖止桿（61）上后鎖止。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，所述鎖止桿（61）上對稱轉(zhuǎn)動設(shè)置有穩(wěn)定輪（62），所述承托座（42）的底部面上開設(shè)有進入槽（425），所述滑動座（41）受驅(qū)向行程的第一端滑動以使得穩(wěn)定輪（62）滾動抵托于進入槽（425）內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，兩個所述承托座（42）上均設(shè)置有與夾持弧槽（421）拼接形成弧狀夾持面的橡膠抵塊（92），其中一個承托座（42）上的橡膠抵塊（92）內(nèi)部開設(shè)有中空腔（921），所述中空腔（921）內(nèi)設(shè)置有呈鈍角狀的彈性板（93），所述承托座（42）上設(shè)置有伸入進入槽（425）內(nèi)的拱起部（4251），且所述拱起部（4251）背向夾持弧槽（421）一側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，所述驅(qū)動組件（5）還包括活動柱（53）、轉(zhuǎn)動輪（54）和同步帶（55），所述活動柱（53）的第一端水平滑動布置于驅(qū)動座（52）上，所述轉(zhuǎn)動輪（54）轉(zhuǎn)動布置于滑動座（41）內(nèi)，所述活動柱（53）周側(cè)面上設(shè)置有呈螺線狀的抵推部（531），所述抵推部（531）滑動設(shè)置于轉(zhuǎn)動輪（54）上開設(shè)的配合槽（541）內(nèi)，所述驅(qū)動座（52）帶動活動柱（53）豎向活動以抵推轉(zhuǎn)動輪（54）旋轉(zhuǎn)，且轉(zhuǎn)動輪（54）通過同步帶（55）與承托座（42）的轉(zhuǎn)動部（422）同步旋轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種顯影液視覺檢驗裝置，其特征在于，所述承托柱（71）通過滑動環(huán)部（712）豎向活動設(shè)置于滑動座（41）內(nèi)，所述滑動環(huán)部（712）上對稱圓周陣列開設(shè)有內(nèi)凹槽（713），所述活動柱（53）豎向滑動使得抵推部（531）移動抵推內(nèi)凹槽（713）以使承托柱（71）軸向旋轉(zhuǎn)。

10.一種顯影液檢測方法，其特征在于，包括上述權(quán)利要求1-9所述的顯影液視覺檢驗裝置，具體步驟如下：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及視覺檢驗裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體來說涉及一種顯影液視覺檢驗裝置及檢測方法，包括基座，其上設(shè)置有：光譜探頭；放置組件，其包括移動帶，移動帶上設(shè)置有放置座，放置座上開設(shè)有通過槽；升降座，其豎向滑動布置，升降座上設(shè)置有輸送組件，輸送組件包括具有水平滑動行程的滑動座，滑動座上設(shè)置有承托座。該發(fā)明提供的顯影液視覺檢驗裝置及檢測方法，利用移動帶帶動若干放置座和料盤進行腰圓狀循環(huán)移動，而升降座和滑動座與移動帶交錯運行以實現(xiàn)對各個的料盤托起抬升和水平輸送，在實現(xiàn)了對多個料盤的自動搬運檢測的同時，還避免了在搬運料盤的過程中具有旋轉(zhuǎn)行程而導致料盤滑動脫落問題，提高料盤的輸送穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：盛夕軍,陳龍寶
受保護的技術(shù)使用者：揚州托新汽車零部件有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8