形狀測定裝置、形狀測定方法及玻璃板的制造方法
【專利摘要】測定裝置具備：拍攝透明的被測定物的表面及背面處的預定圖案的反射像的攝像部；使用攝像部拍攝到的反射像，算出表面或背面的厚度方向的位置的運算部。預定圖案包括多個要素，該多個要素的各要素的沿著與該圖案的延伸方向垂直的方向形成的一端和另一端沿該延伸方向相互偏離。
【專利說明】
形狀測定裝置、形狀測定方法及玻璃板的制造方法
技術領域
[0001 ]本發(fā)明涉及形狀測定裝置、形狀測定方法及玻璃板的制造方法。
【背景技術】
[0002]以往，存在對玻璃板等透明的被測定物的表面或背面的形狀進行測定的測定裝置。該測定裝置將直線性的圖案配置在被測定物的上方，根據(jù)從與該圖案的延伸方向垂直的方向觀察到的反射像的位置，求出表面或背面的局部的法線矢量，而算出被測定物的表面或背面的形狀(例如，參照專利文獻I)。
[0003]在先技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:國際公開第2011/158869號
【發(fā)明內容】
[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]然而，在專利文獻I記載的測定裝置中，若被測定物的板厚變薄，則由表面產生的反射像與由背面產生的反射像重疊，存在板厚方向的位置的算出精度下降的問題。
[0008]本發(fā)明鑒于這樣的情況而作出，提供一種即便是更薄的被測定物，也能夠高精度地算出表面或背面的板厚方向的位置的形狀測定裝置、形狀測定方法及玻璃板的制造方法。
[0009]用于解決課題的方案
[0010](I)本發(fā)明為了解決上述的課題而作出，本發(fā)明的一形態(tài)涉及形狀測定裝置，其特征在于，具備:預定圖案，配置在與作為透明的平板的被測定物相對的一方或另一方;攝像部，構成為所述被測定物的表面及背面的所述預定圖案的各自的反射像在與所述預定圖案的延伸方向垂直的分離方向上分離，通過拍攝所述被測定物的表面及背面的所述預定圖案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的圖像;運算部，基于所述被測定物、所述預定圖案、所述攝像部的位置關系，從所述攝像部拍攝到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的傾斜角度;及決定部，基于所算出的所述傾斜角度來決定所述表面和所述背面中的至少一方的形狀，所述預定圖案包括多個要素，所述多個要素的各要素的在與所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏離。
[0011](2)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(I)記載的形狀測定裝置為基礎，其中，所述多個要素中的所述各要素在所述延伸方向上反復配置。
[0012](3)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(I)或(2)記載的形狀測定裝置為基礎，其中，所述多個要素中的所述各要素形成為長條形狀。
[0013](4)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(I)?(3)中任一項記載的測定裝置為基礎，其中，所述多個要素中的相鄰的第一要素和第二要素中，所述第一要素從一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏離而形成，所述第二要素從所述第一要素側的一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏離而形成。
[0014](5)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(I)?(4)中任一項記載的測定裝置為基礎，其中，所述多個要素中的所述各要素彼此分離而形成。
[0015](6)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(I)?(4)中任一項記載的測定裝置為基礎，其中，所述預定圖案利用所述多個要素而形成為正弦波的形狀。
[0016](7)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(I)?(6)中任一項記載的測定裝置為基礎，其中，所述預定圖案具有:第一圖案列，利用所述多個要素形成;及第二圖案列，與所述第一圖案列平行地配置，且與所述第一圖案列呈線對稱。
[0017](8)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)涉及形狀測定方法，其特征在于，具有:第一工序，拍攝預定圖案的在所述被測定物的表面及背面的各自的反射像作為在與所述預定圖案的延伸方向垂直的分離方向上分離的圖像，其中，所述預定圖案配置在與作為透明的平板的被測定物相對的一方或另一方;第二工序，基于所述被測定物、所述預定圖案、拍攝所述圖像的位置的位置關系，從在所述第一工序中拍攝到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的傾斜角度;及第三工序，基于所算出的所述傾斜角度來決定所述表面和所述背面中的至少一方的形狀，所述預定圖案包括多個要素，所述多個要素的各要素的在與所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏離。
[0018](9)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(8)記載的形狀測定方法為基礎，其中，所述多個要素中的所述各要素在所述延伸方向上反復配置。
[0019](10)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(8)或(9)記載的形狀測定方法為基礎，其中，所述多個要素中的所述各要素形成為長條形狀。
[0020](11)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(8)?(10)中任一項記載的形狀測定方法為基礎，其中，所述多個要素中的相鄰的第一要素和第二要素中，所述第一要素從一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏離而形成，所述第二要素從所述第一要素側的一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏離而形成。
[0021](12)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(8)?(11)中任一項記載的形狀測定方法為基礎，其中，所述多個要素中的所述各要素彼此分離而形成。
[0022](13)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)以(8)?(11)中任一項記載的形狀測定方法為基礎，其中，所述預定圖案利用所述多個要素而形成為正弦波。
[0023](14)而且，本發(fā)明的另一形態(tài)涉及玻璃板的制造方法，具有如下工序:將玻璃的原材料熔融而得到熔融玻璃的熔融工序;將所述熔融玻璃成形為連續(xù)的板狀的玻璃帶的成形工序;一邊使所述玻璃帶移動一邊逐漸進行冷卻的緩冷工序;測定所述玻璃帶的表面形狀的測定工序;將玻璃帶切斷的切斷工序;及基于所述測定工序的測定結果來控制在所述緩冷工序中的緩冷條件的控制工序，其中，所述測定工序是使用以所述玻璃帶為測定對象的
(8)?(13)中任一項記載的形狀測定方法來進行測定的工序。
[0024]發(fā)明效果
[0025]根據(jù)本發(fā)明，即便是更薄的被測定物，也能夠高精度地算出表面或背面的板厚方向的位置。
【附圖說明】
[0026]圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的形狀測定裝置10的結構的示意圖。
[0027]圖2是表示該實施方式的圖案顯示物11與相機12之間的位置關系的圖。
[0028]圖3是表示該實施方式的在圖案顯示物11上印刷的圖案的圖。
[0029]圖4是表示該實施方式的運算裝置13的結構的概略框圖。
[0030]圖5是表示該實施方式的相機12拍攝的反射像的例子的圖。
[0031]圖6是說明該實施方式的表面位置算出部33的動作的流程圖。
[0032]圖7是該實施方式的在圖案顯示物11上印刷的圖案的另一例(其I)。
[0033]圖8是該實施方式的在圖案顯示物11上印刷的圖案的另一例(其2)。
[0034]圖9是該實施方式的在圖案顯示物11上印刷的圖案的另一例(其3)。
[0035]圖10是該實施方式的在圖案顯示物11上印刷的圖案的另一例(其4)。
[0036]圖11是本發(fā)明的第二實施方式的玻璃板的制造線的概略說明圖。
[0037]圖12是表示該實施方式的玻璃板的制造方法的工序的流程圖。
【具體實施方式】
[0038][第一實施方式]
[0039]以下，參照附圖，說明本發(fā)明的第一實施方式。圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的形狀測定裝置10的結構的示意圖。形狀測定裝置10使用在旋轉的多個輥的上方流動的玻璃板G等透明的被測定物的表面及背面處的圖案顯示物11上所印刷的圖案的反射像，算出被測定物的表面及背面的形狀。在圖1中，將玻璃板G的流動方向設為y軸，將沿著玻璃板G的表面的軸即與y軸垂直的軸設為X軸，將與玻璃板G的表面垂直的方向(以下，稱為板厚方向或厚度方向)設為z軸。
[0040]形狀測定裝置10包括相機12和運算裝置13而構成。相機12拍攝被測定物的表面及背面的圖案的反射像。運算裝置13使用相機12拍攝到的反射像，算出被測定物的表面及背面的形狀。
[0041]圖2是表示圖案顯示物11與相機12之間的位置關系的圖。在圖2中，標注了標號Rl的單點劃線表示將圖案顯示物11的圖案的由玻璃板G的表面產生的反射像連結的光線。而且，標注了標號R2的虛線表示將圖案顯示物11的圖案的由玻璃板G的背面產生的反射像連結的光線。如圖2所示，設置相機12，以拍攝圖案顯示物11的圖案的由玻璃板G的表面產生的反射像和由玻璃板G的背面產生的反射像。由于這樣設置，因此由背面產生的反射像與由表面產生的反射像相比，作為在與圖案顯示物11的圖案的延伸方向垂直的方向上偏離的圖像而由相機12拍攝。需要說明的是，在圖2中，圖案顯示物11與相機12設置在作為與玻璃板G相對的一方的上方，但也可以設置在作為與玻璃板G相對的另一方的下方。
[0042I圖3是表示在圖案顯示物11上印刷的圖案的圖。如圖3所示，在圖案顯示物11上印刷的圖案是向右側傾斜的長方形(第一要素)與向左側傾斜的長方形(第二要素)交替反復排列的圖案。需要說明的是，沒有限定為長方形，也可以是平行四邊形、或者角部成為圓弧的長方形或平行四邊形等長條形狀。圖案的排列方向是圖案顯示物11的延伸方向即X軸方向。在拍攝了圖案顯示物11的圖案的玻璃板G的表背面處的反射像的情況下，背面處的反射像相對于表面處的反射像偏離的方向(分離方向)是圖2的y軸方向。即，是與圖案顯示物11的圖案的延伸方向即X軸方向垂直的方向。在圖案顯示物11中，各長方形傾斜，因此與X軸方向垂直的方向的一端和另一端沿X軸方向(圖案顯示物11的延伸方向)偏離。由此，即便是更薄的板厚時，表面處的反射像和背面處的反射像能夠不重疊。
[0043]圖4是表示運算裝置13的結構的概略框圖。運算裝置13包括反射像取得部31、分離部32、表面位置算出部33、背面位置算出部34而構成。反射像取得部31取得相機12拍攝到的包含反射像的圖像。分離部32從相機12拍攝到的圖像將由表面產生的反射像與由背面產生的反射像分離。需要說明的是，本實施方式的分離部32以由表面產生的反射像與由背面產生的反射像不重疊的情況為前提，對這些反射像之間進行檢測而進行分離。
[0044]表面位置算出部33算出分離部32分離的由表面產生的反射像中的與圖案的各長方形對應的圖像的、表示與圖案的排列方向垂直的方向的位置的值。表面位置算出部33將該表示位置的值轉換成表面的局部的斜度(傾斜角度)。轉換方法可以使用預先存儲的LUT(Look Up Table:查找表)，也可以使用表不與圖案的排列方向垂直的方向的位置的值和表示表面的局部的斜度的值的關系式而算出。
[0045]需要說明的是，上述的LUT及關系式對應于玻璃板G的表面、圖案顯示物11、相機12的位置關系。具體而言，光線從圖案顯示物11的長方形以規(guī)定的入射角向玻璃板G的表面入射，利用在玻璃板G的表面反射的反射光線以與入射角相等的反射角射出時到達相機12的情況，算出玻璃板G的表面的斜度。而且，作為表示表面的局部的斜度的值，使用圖1的表面的z坐標值的基于y坐標值的偏微分值，但也可以使用表面的局部法線矢量的yz分量。表面位置算出部33通過將算出的表示表面的局部的斜度的值沿y軸方向進行積分，來算出表面位置(z坐標值)的y軸方向的分布(形狀)。由此，能夠檢測玻璃板G的y軸方向的起伏等。
[0046]背面位置算出部34算出分離部32分離的由背面產生的反射像中的與圖案的各長方形對應的圖像的、表示與圖案的排列方向垂直的方向的位置的值。背面位置算出部34將該表示位置的值轉換成背面的局部的斜度(傾斜角度)。轉換方法與表面位置算出部33同樣，可以使用預先存儲的LUT(Look Up Table)，也可以使用表示與圖案的排列方向垂直的方向的位置的值和表示背面的局部的斜度的值的關系式來算出。
[0047]需要說明的是，上述的LUT及關系式與表面的情況同樣，對應于玻璃板G的背面、圖案顯示物11、相機12的位置關系。而且，作為表示背面的局部的斜度的值，使用圖1中的背面的z坐標值的基于y坐標值的偏微分值，但也可以使用背面的局部法線矢量的yz分量。背面位置算出部34通過將算出的表示背面的局部的斜度的值沿y軸方向進行積分，來算出背面位置(z坐標值)的y軸方向的分布(形狀)。由此，能夠檢測玻璃板G的y軸方向的起伏等。
[0048]圖5是表示相機12拍攝的反射像的例子的圖。圖5是相機12拍攝到的圖像中的將反射像的一部分放大后的圖像G1。如圖5所示，由表面產生的反射像Iml與由背面產生的反射像Im2相互分離。
[0049]圖6是說明表面位置算出部33的動作的流程圖。表面位置算出部33將分離部32分離的由表面產生的反射像分離成構成圖案的長方形各自的反射像(SI)。如圖3所示，構成圖案的長方形彼此分離，因此向長方形各自的圖像的分離也通過對反射像彼此之間進行檢測而能夠容易地進行。
[0050]接下來，表面位置算出部33對于分離的各個反射像，算出通過該長方形的重心且與該長方形的長邊平行的直線(S2)。例如，表面位置算出部33從構成該長方形的圖像的全部像素，利用最小二乘法來算出。此時，也可以根據(jù)各像素的像素值進行加權。接下來，表面位置算出部33算出該直線中的取得預先決定的y坐標值的點的X坐標值的偏離。接下來，表面位置算出部33將該X坐標值的偏離轉換成長方形的位置的y軸方向的偏離(S3)。在此，X坐標值的偏離是從該點的X坐標值減去例如預先存儲的表面的斜度為“O”時的該點的X坐標值所得到的值。而且，從該點的X坐標值的偏離向長方形的位置的y軸方向的偏離的轉換基于長方形的斜度進行。例如，若長方形相對于y軸傾斜30度，則長方形的位置的y軸方向的偏離成為該點的X坐標值的偏離的2倍。此時，也考慮長方形的斜度的朝向的正負。
[0051]接下來，表面位置算出部33取得與關于相鄰的長方形算出的y坐標值的偏離的平均(S4) ο即，取得關于向右傾斜的長方形算出的y坐標值的偏離與關于其相鄰的向左傾斜的長方形算出的y坐標值的偏離的平均。接下來，表面位置算出部33將取得了平均的y坐標值轉換成表面的斜度(S5)。接下來，表面位置算出部33通過將表面的斜度沿y軸方向進行積分來得到表面的z坐標值的分布(形狀)(S6)。
[0052]這樣，通過取得關于向右傾斜的長方形算出的位置的y軸方向的偏離與關于其相鄰的向左傾斜的長方形算出的位置的y軸方向的偏離的平均，由此能夠抑制圖案顯示物11或相機12的安裝位置偏離時等產生的誤差。例如，圖案顯示物11的安裝位置沿X軸方向偏離時，向右傾斜的由長方形產生的反射像與向左傾斜的由長方形產生的反射像偏離與安裝位置的偏離對應的量。并且，上述的步驟S3的轉換的結果是，向右傾斜的長方形的位置的y軸方向的偏離和向左傾斜的長方形的位置的y軸方向的偏離包括正負相反的誤差。因此，通過取得它們的平均，能夠抵消并抑制安裝位置偏離時等產生的誤差。
[0053]圖7是在圖案顯示物11上印刷的圖案的另一例(其I)。在圖7所示的例子中，具有與圖3的圖案(第一圖案列)平行配置的第二圖案列即與圖3的圖案沿上下方向呈線對稱的第二圖案列。在使用這樣的圖案時，通過取得從由雙點劃線的矩形AG包圍的四個長方形所對應的反射像得到的位置的y軸方向的偏離的平均，能夠抑制在圖案顯示物11、相機12的安裝位置偏離時等產生的誤差。
[0054]圖8、圖9、圖10是在圖案顯示物11上印刷的圖案的另一例(其2至其4)。通過如圖8那樣設為鋸齒形(zigzag)的線，而與圖3同樣，該圖案的各要素的與X軸方向(圖案顯示物11的延伸方向)垂直的方向的一端和另一端沿X軸方向偏離，因此即便更薄的板厚時，也能夠使表面處的反射像與背面處的反射像不重疊。
[0055]通過如圖9那樣利用分散(atintervals)的塊構成鋸齒形(zigzag)的線，由此即便是更薄的板厚時也能夠使表面處的反射像與背面處的反射像不重疊，且要素間的分離也變得容易。
[0056]而且，也可以如圖10那樣形成為將鋸齒形(zigzag)的線的角修圓的正弦曲線(正弦波)那樣的線。通過這樣構成，在不存在沿X軸方向信息缺失的點的方面優(yōu)選。
[0057]在上述的實施方式中，算出玻璃板G的表面的厚度方向的位置和背面的厚度方向的位置，但也可以僅算出任一方。
[0058]而且，在上述的實施方式中，圖案印刷于圖案顯示物11，但也可以取代圖案顯示物11而具備圖案顯示裝置，該圖案顯示裝置顯示圖案，并使拍攝裝置I拍攝該圖案的反射像。圖案顯示裝置的顯示方法中，可以配置設為圖案的形狀的LED(Light Electric D1de)，使該LED發(fā)光，也可以在LED等發(fā)光裝置的前表面配置開設了設為圖案的形狀的孔的狹縫。
[0059]這樣，形狀測定裝置10具備拍攝透明的被測定物的表面及背面的預定圖案的反射像的相機12(攝像部)和使用相機12拍攝到的反射像來算出表面或背面的形狀的運算裝置13(運算部、決定部)，預定圖案的背面處的反射像相對于表面處的反射像而偏離的分離方向(y軸方向)的一端和另一端由沿著與分離方向垂直的延伸方向(X軸方向)偏離的要素構成。
[0060]由此，即便是更薄的板厚時也能夠使表面處的反射像與背面處的反射像不重疊。因此，使用測定位置的面處的反射像整體，能夠高精度地算出該面的厚度方向的位置。
[0061 ]在本發(fā)明的另一形態(tài)中，要素反復配置，要素彼此分離。
[0062]由此，能夠使要素各自的反射像容易分離。因此，不受要素的反射像彼此的干涉，能夠高精度地算出表面或背面的厚度方向的位置。
[0063]而且，在本發(fā)明的另一形態(tài)中，向右側傾斜的長方形(第一要素)的第二方向與向左側傾斜的長方形(第二要素)的所述第二方向是相反的方向，向右側傾斜的長方形與向左側傾斜的長方形反復配置。
[0064]由此，能夠抑制圖案顯示物11或相機12的安裝不正確等引起的誤差。
[0065]而且，在本發(fā)明的另一形態(tài)中，預定圖案具有:第一要素與第二要素反復配置的第一圖案列;及第二圖案列，與第一圖案列平行配置且與第一圖案列呈線對稱。
[0066]由此，能夠抑制圖案顯示物11或相機12的安裝不正確等引起的誤差。
[0067][第二實施方式]
[0068]以下，說明玻璃板的制造線的形狀測定裝置10的適用例。圖11是適用了形狀測定裝置10的玻璃板的制造線的概略說明圖。圖11所示的制造線的玻璃板的制造方法具有將玻璃原材料熔融而得到熔融玻璃的熔融工序、將所述熔融玻璃成形為連續(xù)的板狀的玻璃帶的成形工序、一邊使所述玻璃帶移動一邊逐漸冷卻的緩冷工序、及將玻璃帶切斷的切斷工序，其特征在于，還具有:在所述緩冷工序與所述切斷工序之間利用本發(fā)明的形狀測定裝置測定玻璃帶的距基準面的高度方向坐標的測定工序;及基于在所述測定工序中得到的高度方向坐標來控制所述緩冷工序中的緩冷條件的控制工序。圖12示出玻璃板的制造方法的工序。
[0069]具體而言，在玻璃板的制造工序之中，在根據(jù)利用本發(fā)明的測定方法得到的厚度方向的數(shù)據(jù)的結果而判斷為玻璃帶的翹曲大的情況下，考慮該翹曲的大小、部位，來變更緩冷工序的緩冷條件、例如冷卻速度條件、冷卻溫度條件。由此，防止由翹曲引起的形狀不良或由翅曲引起的破裂，進而能夠尚成品率地制造玻璃板。
[0070]成形工序包括浮法、壓延法、下拉法、熔化法等各種方法，本發(fā)明可以適當使用它們中的任一個或者其他的方法。在圖11的例子中，以使用浮法的情況為例進行說明。
[0071]在熔融工序(圖12的SI)中，將對應于玻璃產品的組成而調合并混合了硅砂、石灰石、蘇打灰等原材料的分批配料向熔融窯投入，并根據(jù)玻璃的種類而加熱熔融成約1400°C以上的溫度來得到熔融玻璃。例如，從熔融窯的一端向熔融窯內投入分批配料，將燃燒重油而得到的火焰或者天然氣與空氣混合并燃燒而得到的火焰向該分批配料吹附，加熱成約1550°C以上的溫度而使分批配料熔化，由此得到熔融玻璃。而且，也可以使用電熔融爐來得到熔融玻璃。
[0072]在成形工序(圖12的S2)中，將熔融工序中得到的熔融玻璃從熔融窯下游部201向熔融錫浴203導入，使熔融玻璃向熔融錫202上浮起而使其沿圖中的搬運方向行進，由此形成連續(xù)的板狀的玻璃帶204(相當于玻璃板G)。此時，為了成形規(guī)定的板厚的玻璃帶204，向玻璃帶204的寬度方向的兩側部分按壓旋轉的輥(頂輥205)，將玻璃帶204向寬度方向(與搬運方向垂直的方向)外側拉伸。
[0073]在緩冷工序(圖12的S3)中，利用提升輥208將上述成形后的玻璃帶204從熔融錫浴203引出，使用金屬輥209使該玻璃帶204在緩冷爐210內沿圖中的搬運方向移動，將玻璃帶204的溫度逐漸冷卻，接下來在從緩冷爐210拉出而到達切斷工序期間進一步冷卻至常溫附近。緩冷爐210在爐內的必要位置具備用于供給由燃燒氣體或電加熱器控制的熱量而進行緩冷的機構。從緩冷爐210拉出的階段的玻璃帶204的溫度成為玻璃帶204的玻璃的應變點以下的溫度，雖然也受玻璃的種類的影響，但是通常冷卻至150?250°C。該緩冷工序出于去除玻璃帶204內部的殘留應力和降低玻璃帶204的溫度的目的而實施。在緩冷工序中，玻璃帶204通過測定部211(相當于形狀測定裝置10)，進而然后，被搬運至玻璃帶切斷部212。在玻璃帶切斷部212將緩冷至常溫附近的玻璃帶204切斷，能得到矩形形狀的玻璃板(切斷工序，圖12的S6)。需要說明的是，玻璃帶切斷部212的玻璃帶的溫度為其場所的氣氛溫度?50°C的情況是通例。
[0074]測定工序(圖12的S4)的玻璃帶204的拍攝位置(S卩，測定部211的位置)是玻璃帶204的溫度處于該玻璃的應變點以下的溫度的位置。通常，測定部211優(yōu)選設置在距緩冷爐210的玻璃帶出口為搬運方向下游的位置，進而設置在玻璃帶204的溫度處于200°C以下的位置。而且，測定部211也可以設置在切斷工序的緊前方，但是在將從測定工序得到的數(shù)據(jù)反映到切斷工序中的情況下，雖然也受玻璃帶204的移動速度的影響，但是優(yōu)選在距切斷位置分離了 30cm以上，尤其是分離了 Im以上的位置設置測定部211。
[0075]在控制工序(圖12的S5)中，利用基于在測定工序中得到的厚度方向坐標來運算緩冷爐210內的緩冷條件的控制單元(圖示省略)。通過該控制單元，根據(jù)向緩冷爐210交接的緩冷條件的指令，來變更設置在緩冷爐210內的燃燒氣體或電加熱器等的條件。由此，改變向玻璃帶204局部性地施加的能量或者賦予的能量的速度，能夠進行抑制翹曲等變形的控制。
[0076]由此，利用測定表面或背面的厚度方向的位置的結果，能夠制造出相對于形狀的高品質的玻璃板。
[0077]而且，也可以將用于實現(xiàn)圖1的運算裝置13的功能的程序記錄在計算機能夠讀取的記錄介質中，將記錄在該記錄介質中的程序向計算機系統(tǒng)讀入并執(zhí)行，由此實現(xiàn)運算裝置13。需要說明的是，在此所說的“計算機系統(tǒng)”包括OS或周邊設備等硬件。
[0078]而且，“計算機能夠讀取的記錄介質”是軟盤、光磁盤、R0M、CD-R0M等的移動式介質、內置于計算機系統(tǒng)的硬盤等存儲裝置。進而，“計算機能夠讀取的記錄介質”也包括經由互聯(lián)網(wǎng)等網(wǎng)絡或電話線路等通信線路而發(fā)送程序的情況的通信線那樣在短時間期間動態(tài)地保持程序的介質、成為這種情況的服務器或客戶端的計算機系統(tǒng)內部的易失性存儲器那樣將程序保持一定時間的介質。而且，上述程序可以是用于實現(xiàn)前述的功能的一部分的程序，進而也可以通過將前述的功能與已經記錄在計算機系統(tǒng)中的程序的組合來實現(xiàn)。
[0079]在上述的實施方式中，作為被測定物，假定了玻璃，但是在樹脂板等透明平板的檢查中也可以應用本發(fā)明。
[0080]以上，參照附圖，詳細敘述了本發(fā)明的實施方式，但是具體的結構并不局限于該實施方式，也包括不脫離本發(fā)明的主旨的范圍的設計變更等。
[0081 ]本申請基于在2013年12月27日提出申請的日本專利申請2013-272661，并將其內容作為參照而援引于此。
[0082]工業(yè)實用性
[0083]根據(jù)本發(fā)明，即便是更薄的被測定物，也能夠高精度地算出表面或背面的板厚方向的位置。
[0084]標號說明
[0085]10…形狀測定裝置
[0086]11…圖案顯示物
[0087]12…相機
[0088]13…運算裝置
[0089]31…反射像取得部
[0090]32…分離部
[0091]33…表面位置算出部
[0092]34…背面位置算出部
【主權項】
1.一種形狀測定裝置，其特征在于，具備: 預定圖案，配置在與作為透明的平板的被測定物相對的一方或另一方； 攝像部，構成為所述被測定物的表面及背面的所述預定圖案的各自的反射像在與所述預定圖案的延伸方向垂直的分離方向上分離，通過拍攝所述被測定物的表面及背面的所述預定圖案的反射像而生成包括所述表面及背面各自的反射像的圖像； 運算部，基于所述被測定物、所述預定圖案、所述攝像部的位置關系，從所述攝像部拍攝到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的傾斜角度;及 決定部，基于所算出的所述傾斜角度來決定所述表面和所述背面中的至少一方的形狀， 所述預定圖案包括多個要素，所述多個要素的各要素的在與所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏離。2.根據(jù)權利要求1所述的形狀測定裝置，其中， 所述多個要素中的所述各要素在所述延伸方向上反復配置。3.根據(jù)權利要求1或2所述的形狀測定裝置，其中， 所述多個要素中的所述各要素形成為長條形狀。4.根據(jù)權利要求1?3中任一項所述的形狀測定裝置，其中， 所述多個要素中的相鄰的第一要素和第二要素中，所述第一要素從一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏離而形成，所述第二要素從所述第一要素側的一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏離而形成。5.根據(jù)權利要求1?4中任一項所述的形狀測定裝置，其中， 所述多個要素中的所述各要素彼此分離而形成。6.根據(jù)權利要求1?4中任一項所述的形狀測定裝置，其中， 所述預定圖案利用所述多個要素而形成為正弦波的形狀。7.根據(jù)權利要求1?6中任一項所述的形狀測定裝置，其中， 所述預定圖案具有:第一圖案列，利用所述多個要素形成;及第二圖案列，與所述第一圖案列平行地配置，且與所述第一圖案列呈線對稱。8.一種形狀測定方法，其特征在于，具有: 第一工序，拍攝預定圖案的在所述被測定物的表面及背面的各自的反射像作為在與所述預定圖案的延伸方向垂直的分離方向上分離的圖像，其中，所述預定圖案配置在與作為透明的平板的被測定物相對的一方或另一方； 第二工序，基于所述被測定物、所述預定圖案、拍攝所述圖像的位置的位置關系，從在所述第一工序中拍攝到的反射像算出所述表面和所述背面中的至少一方的傾斜角度;及第三工序，基于所算出的所述傾斜角度來決定所述表面和所述背面中的至少一方的形狀， 所述預定圖案包括多個要素，所述多個要素的各要素的在與所述延伸方向垂直的方向上形成的一端和另一端在所述延伸方向上相互偏離。9.根據(jù)權利要求8所述的形狀測定方法，其中， 所述多個要素中的所述各要素在所述延伸方向上反復配置。10.根據(jù)權利要求8或9所述的形狀測定方法，其中， 所述多個要素中的所述各要素形成為長條形狀。11.根據(jù)權利要求8?10中任一項所述的形狀測定方法，其中， 所述多個要素中的相鄰的第一要素和第二要素中，所述第一要素從一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的一方的方向的第一方向偏離而形成，所述第二要素從所述第一要素側的一端朝向另一端而向作為所述延伸方向的另一方的方向的第二方向偏離而形成。12.根據(jù)權利要求8?11中任一項所述的形狀測定方法，其中， 所述多個要素中的所述各要素彼此分離而形成。13.根據(jù)權利要求8?11中任一項所述的形狀測定方法，其中， 所述預定圖案利用所述多個要素而形成為正弦波的形狀。14.一種玻璃板的制造方法，具有如下工序:將玻璃的原材料熔融而得到熔融玻璃的熔融工序;將所述熔融玻璃成形為連續(xù)的板狀的玻璃帶的成形工序;一邊使所述玻璃帶移動一邊逐漸進行冷卻的緩冷工序;測定所述玻璃帶的表面形狀的測定工序;將所述玻璃帶切斷的切斷工序;及基于所述測定工序的測定結果來控制在所述緩冷工序中的緩冷條件的控制工序，其中， 所述測定工序是使用以所述玻璃帶為測定對象的權利要求8?13中任一項所述的形狀測定方法來進行測定的工序。
【文檔編號】G01B11/25GK105849503SQ201480071278
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2014年12月22日
【發(fā)明人】大音仁昭, 菅原彰, 有田祐介, 池野田稔
【申請人】旭硝子株式會社