基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種標(biāo)定裝置，特別是一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]標(biāo)定是使用標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)量儀器對所使用儀器的精度進(jìn)行檢測，以確定儀器或測量系統(tǒng)的輸入-輸出關(guān)系，確定儀器或測量系統(tǒng)的靜態(tài)特性指標(biāo)，消除系統(tǒng)誤差，改善儀器或系統(tǒng)的精度。在實(shí)際應(yīng)用中，上位機(jī)接收到的、與微位移傳感器的位移值對應(yīng)的數(shù)字量要經(jīng)過一種確定的對應(yīng)關(guān)系轉(zhuǎn)化為實(shí)際的位移值，一般常用的方法有函數(shù)法和插值法。函數(shù)法需要確定一個(gè)輸入輸出函數(shù)關(guān)系式y(tǒng)=f(x)，但是一般情況下該函數(shù)式很難確定，若所用微位移傳感器有較好的穩(wěn)定性和重復(fù)性，此時(shí)可以采用標(biāo)定的方法，得到一組測量數(shù)據(jù)，根據(jù)這些測量數(shù)據(jù)，利用插值法得到全量程內(nèi)輸入-輸出的對應(yīng)關(guān)系。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題而提供一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，采用該裝置能夠?qū)ξ⑽灰苽鞲衅鬟M(jìn)行標(biāo)定，以確定其位移量和數(shù)字輸出值之間的輸入-輸出關(guān)系。
[0004]本實(shí)用新型為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，包括調(diào)平支架、精密直線平移臺、雙頻激光干涉系統(tǒng)、量塊和微位移傳感器固定塊;所述精密直線平移臺由所述調(diào)平支架支撐;所述微位移傳感器固定塊固接在所述調(diào)平支架上，在所述微位移傳感器固定塊上設(shè)有微位移傳感器固定結(jié)構(gòu);所述雙頻激光干涉系統(tǒng)包括反射鏡、干涉鏡和激光頭，所述反射鏡和所述量塊均固定在所述精密直線平移臺的可動部件上，所述雙頻激光干涉系統(tǒng)的出射光線與反射光線平行于微位移傳感器的運(yùn)動軸線，并且對稱分布于該運(yùn)動軸線兩側(cè)。
[0005]所述調(diào)平支架由調(diào)平支架A和調(diào)平支架B組成;在所述調(diào)平支架A上設(shè)有兩個(gè)調(diào)平螺釘I，兩個(gè)所述調(diào)平螺釘I分設(shè)在所述調(diào)平支架A的兩端;在所述調(diào)平支架B上設(shè)有一個(gè)調(diào)平螺釘Π，所述調(diào)平螺釘Π設(shè)置在所述調(diào)平支架B的中央;所述微位移傳感器固定塊固定在所述調(diào)平支架B上;在所述調(diào)平螺釘I和所述調(diào)平螺釘Π的底部均嵌裝有鋼珠。
[0006]所述微位移傳感器固定結(jié)構(gòu)包括形成在所述微位移傳感器固定塊頂部的鉗口，所述鉗口采用螺栓鎖緊，在所述鉗口內(nèi)固定有套裝在微位移傳感器外面的護(hù)套，在所述護(hù)套的側(cè)壁上設(shè)有沿其母線延伸的開口。
[0007]所述量塊通過量塊固定塊與所述精密直線平移臺的可動部件固接，所述量塊固定塊固定在所述精密直線平移臺的可動部件上，在所述量塊固定塊的上表面上形成有安裝槽，在所述安裝槽內(nèi)安裝有所述量塊，所述量塊采用設(shè)置在其一側(cè)的緊定螺釘鎖固在所述安裝槽內(nèi)，在所述量塊靠近所述緊定螺釘?shù)膫?cè)面上設(shè)有墊板，所述緊定螺釘壓緊在所述墊板上。
[0008]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:采用精密直線平移臺作為運(yùn)動驅(qū)動部件，其位移量由雙頻激光干涉系統(tǒng)測量，將待標(biāo)定的微位移傳感器固定在微位移傳感器固定塊上，并使待標(biāo)定的微位移傳感器與雙頻激光干涉系統(tǒng)的位置關(guān)系符合阿貝原則，能夠保證標(biāo)定結(jié)果的精確性和可靠性。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型的主視圖；
[0011]圖3為本實(shí)用新型的俯視圖；
[0012]圖4為本實(shí)用新型的調(diào)平螺釘I和調(diào)平螺釘Π的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:1-精密直線平移臺，21-調(diào)平支架A，211-調(diào)平螺釘1，22-調(diào)平支架1221-調(diào)平螺釘Π，3-微位移傳感器固定塊，31-螺栓，32-護(hù)套，4-微位移傳感器，5-量塊，6-量塊固定塊，7-緊定螺釘，8-墊板，91-反射鏡，92-干涉鏡，93-激光頭，I O-鋼珠。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為能進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的
【發(fā)明內(nèi)容】
、特點(diǎn)及功效，茲例舉以下實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說明如下:
[0015]請參閱圖1?圖4，一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，包括調(diào)平支架、精密直線平移臺1、雙頻激光干涉系統(tǒng)、量塊5和微位移傳感器固定塊3。
[0016]所述精密直線平移臺I由所述調(diào)平支架支撐。
[0017]所述微位移傳感器固定塊3固接在所述調(diào)平支架上，在所述微位移傳感器固定塊3上設(shè)有微位移傳感器固定結(jié)構(gòu)。
[0018]所述雙頻激光干涉系統(tǒng)包括反射鏡91、干涉鏡92和激光頭93，所述反射鏡91和所述量塊5均固定在所述精密直線平移臺I的可動部件上，所述雙頻激光干涉系統(tǒng)的出射光線與反射光線平行于微位移傳感器4的運(yùn)動軸線，并且對稱分布于該運(yùn)動軸線兩側(cè)。
[0019]在本實(shí)施例中，所述調(diào)平支架由調(diào)平支架A21和調(diào)平支架B22組成;在所述調(diào)平支架A21上設(shè)有兩個(gè)調(diào)平螺釘1211，兩個(gè)所述調(diào)平螺釘1211分設(shè)在所述調(diào)平支架A21的兩端；在所述調(diào)平支架B22上設(shè)有一個(gè)調(diào)平螺釘Π 221，所述調(diào)平螺釘Π 221設(shè)置在所述調(diào)平支架B22的中央;所述微位移傳感器固定塊3固定在所述調(diào)平支架B22上;在所述調(diào)平螺釘1211和所述調(diào)平螺釘Π221的底部均嵌裝有鋼珠10，利用三個(gè)鋼珠可實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)調(diào)平。
[0020]所述微位移傳感器固定結(jié)構(gòu)包括形成在所述微位移傳感器固定塊3頂部的鉗口，所述鉗口采用螺栓31鎖緊，在所述鉗口內(nèi)固定有套裝在微位移傳感器4外面的護(hù)套32，在所述護(hù)套32的側(cè)壁上設(shè)有沿其母線延伸的開口。
[0021]所述量塊5通過量塊固定塊6與所述精密直線平移臺I的可動部件固接，所述量塊固定塊6固定在所述精密直線平移臺I的可動部件上，在所述量塊固定塊6的上表面上形成有安裝槽，在所述安裝槽內(nèi)安裝有所述量塊5，所述量塊5采用設(shè)置在其一側(cè)的緊定螺釘7鎖固在所述安裝槽內(nèi)，在所述量塊5靠近所述緊定螺釘7的側(cè)面上設(shè)有墊板8，所述緊定螺釘7壓緊在所述墊板8上。
[0022]本實(shí)用新型的工作原理:
[0023]精密直線平移臺I帶動量塊5運(yùn)動，使微位移傳感器4產(chǎn)生位移，位移量由雙頻激光干涉系統(tǒng)指示，記錄系統(tǒng)的示值以及對應(yīng)位置處微位移傳感器4的數(shù)字輸出值，以確定微位移傳感器4的輸入-輸出關(guān)系，完成標(biāo)定。
[0024]微位移傳感器4的起始位和最終位在空間上關(guān)于其電零位對稱，在起始位和最終位之間，微位移傳感器4的輸入與輸出具有較好的線性關(guān)系。標(biāo)定時(shí)，首先在電零位的位置復(fù)位雙頻激光干涉系統(tǒng)，使其讀數(shù)為0，然后，控制精密直線平移臺I，使其每次運(yùn)動相同距離，即在微位移傳感器4的量程范圍內(nèi)均勻采點(diǎn)，記錄每個(gè)位置對應(yīng)的數(shù)字輸出值和雙頻激光干涉系統(tǒng)示值，標(biāo)定結(jié)果取多次測量的平均值。
[0025]盡管上面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述，但是本實(shí)用新型并不局限于上述的【具體實(shí)施方式】，上述的【具體實(shí)施方式】僅僅是示意性的，并不是限制性的，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的啟示下，在不脫離本實(shí)用新型宗旨和權(quán)利要求所保護(hù)的范圍情況下，還可以作出很多形式，這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于，包括調(diào)平支架、精密直線平移臺、雙頻激光干涉系統(tǒng)、量塊和微位移傳感器固定塊； 所述精密直線平移臺由所述調(diào)平支架支撐； 所述微位移傳感器固定塊固接在所述調(diào)平支架上，在所述微位移傳感器固定塊上設(shè)有微位移傳感器固定結(jié)構(gòu)； 所述雙頻激光干涉系統(tǒng)包括反射鏡、干涉鏡和激光頭，所述反射鏡和所述量塊均固定在所述精密直線平移臺的可動部件上，所述雙頻激光干涉系統(tǒng)的出射光線與反射光線平行于微位移傳感器的運(yùn)動軸線，并且對稱分布于該運(yùn)動軸線兩側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于，所述調(diào)平支架由調(diào)平支架A和調(diào)平支架B組成； 在所述調(diào)平支架A上設(shè)有兩個(gè)調(diào)平螺釘I，兩個(gè)所述調(diào)平螺釘I分設(shè)在所述調(diào)平支架A的兩端； 在所述調(diào)平支架B上設(shè)有一個(gè)調(diào)平螺釘Π，所述調(diào)平螺釘Π設(shè)置在所述調(diào)平支架B的中央;所述微位移傳感器固定塊固定在所述調(diào)平支架B上； 在所述調(diào)平螺釘I和所述調(diào)平螺釘Π的底部均嵌裝有鋼珠。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于，所述微位移傳感器固定結(jié)構(gòu)包括形成在所述微位移傳感器固定塊頂部的鉗口，所述鉗口采用螺栓鎖緊，在所述鉗口內(nèi)固定有套裝在微位移傳感器外面的護(hù)套，在所述護(hù)套的側(cè)壁上設(shè)有沿其母線延伸的開口。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于，所述量塊通過量塊固定塊與所述精密直線平移臺的可動部件固接，所述量塊固定塊固定在所述精密直線平移臺的可動部件上，在所述量塊固定塊的上表面上形成有安裝槽，在所述安裝槽內(nèi)安裝有所述量塊，所述量塊采用設(shè)置在其一側(cè)的緊定螺釘鎖固在所述安裝槽內(nèi)，在所述量塊靠近所述緊定螺釘?shù)膫?cè)面上設(shè)有墊板，所述緊定螺釘壓緊在所述墊板上。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基于高精度直線平移臺的微位移傳感器標(biāo)定裝置，包括調(diào)平支架、精密直線平移臺、雙頻激光干涉系統(tǒng)、量塊和微位移傳感器固定塊；所述精密直線平移臺由所述調(diào)平支架支撐；所述微位移傳感器固定塊固接在所述調(diào)平支架上，在所述微位移傳感器固定塊上設(shè)有微位移傳感器固定結(jié)構(gòu)；所述雙頻激光干涉系統(tǒng)包括反射鏡、干涉鏡和激光頭，所述反射鏡和所述量塊均固定在所述精密直線平移臺的可動部件上，所述雙頻激光干涉系統(tǒng)的出射光線與反射光線平行于微位移傳感器的運(yùn)動軸線，并且對稱分布于該運(yùn)動軸線兩側(cè)。本實(shí)用新型能夠?qū)ξ⑽灰苽鞲衅鬟M(jìn)行標(biāo)定，以確定其位移量和數(shù)字輸出值之間的輸入-輸出關(guān)系。
【IPC分類】G01B21/02
【公開號】CN205333035
【申請?zhí)枴緾N201620055146
【發(fā)明人】裘祖榮, 秦國花, 蘇智琨, 王成林, 李杏華
【申請人】天津大學(xué)
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月20日