一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER, MFC)在廣泛應(yīng)用于各類工藝氣體流量的精密控制，具有反應(yīng)速度快和控制精度高等優(yōu)點(diǎn)。在使用一段時(shí)間后質(zhì)量流量傳感器可能會(huì)發(fā)生零點(diǎn)漂移，一旦發(fā)生零點(diǎn)漂移就會(huì)引起產(chǎn)品工藝質(zhì)量波動(dòng)。因此需要對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行定期校驗(yàn)。而且質(zhì)量流量控制器用于腐蝕性、有毒、易燃易爆場(chǎng)合，經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間使用，質(zhì)量流量控制器會(huì)老化而發(fā)生泄漏，產(chǎn)生嚴(yán)重的安全事故，因此也需要定期對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行泄露檢測(cè)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，依據(jù)被檢測(cè)的質(zhì)量流量控制器檢測(cè)的氣體的種類選擇合適量程的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，將被檢測(cè)的質(zhì)量流量控制器和標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器串接后，通入氣體，傳感器讀取氣體通過被檢測(cè)的質(zhì)量流量控制器的讀數(shù)和檢測(cè)通過標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的讀數(shù)，比較兩者的讀數(shù)差值是否在預(yù)設(shè)的范圍內(nèi)，來判斷被檢測(cè)的質(zhì)量流量控制器是否能夠正常使用。
[0004]由于使用的氣體種類多，在校驗(yàn)過程中，需要頻繁拆裝更換相應(yīng)量程的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行MFC (MASS FLOW CONTROLLER，質(zhì)量流量控制器)性能檢測(cè)。頻繁地人工拆裝，費(fèi)時(shí)費(fèi)力且難以完成長(zhǎng)時(shí)間重復(fù)性檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置及方法，以解決上述技術(shù)問題。
[0006]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置，包括:
[0007]標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組、被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器、第一傳感器、第二傳感器、處理器和氣動(dòng)閥組；
[0008]所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組包括至少兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，各個(gè)所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器具有不同量程；
[0009]所述第一傳感器與所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組連接，用于讀取氣體流經(jīng)所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的第一參數(shù)；
[0010]所述第二傳感器與所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器連接，用于讀取氣體流經(jīng)所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的第二參數(shù)；
[0011]所述處理器，用于依據(jù)所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的量程來選擇所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，并根據(jù)接收到的所述第一參數(shù)和所述第二參數(shù)來判斷所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器是否合格；
[0012]所述氣動(dòng)閥組包括若干個(gè)與各個(gè)所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器相對(duì)應(yīng)的第一氣動(dòng)閥，各個(gè)所述第一氣動(dòng)閥的一端與進(jìn)氣口連接，另一端與相對(duì)應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器連接；
[0013]所述氣動(dòng)閥組還包括第二氣動(dòng)閥和第三氣動(dòng)閥，所述第二氣動(dòng)閥的一端連接標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組，另一端連接所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器；
[0014]所述第三氣動(dòng)閥的一端連接所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，另一端連接排氣端。
[0015]優(yōu)選地，所述氣動(dòng)閥組還包括:
[0016]第四氣動(dòng)閥，一端連接所述進(jìn)氣口，另一端連接所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器。
[0017]優(yōu)選地，所述的校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置還包括:
[0018]封裝所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器、所述第二氣動(dòng)閥、所述第三氣動(dòng)閥、所述第四氣動(dòng)閥和所述第二傳感器的外殼。
[0019]優(yōu)選地，所述的校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置，還包括:
[0020]第五氣動(dòng)閥，一端連接氦氣發(fā)生裝置，另一端連接釋放口 ；
[0021]第六氣動(dòng)閥，一端連接所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，另一端連接氦氣真空檢漏儀。
[0022]優(yōu)選地，所述的校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置，還包括:
[0023]封裝所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器、所述第二氣動(dòng)閥、所述第三氣動(dòng)閥、所述第五氣動(dòng)閥、所述第六氣動(dòng)閥和所述第二傳感器的外殼。
[0024]優(yōu)選地，所述氣動(dòng)閥組還包括:
[0025]第四氣動(dòng)閥，一端連接所述進(jìn)氣口，另一端連接所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器；
[0026]封裝所述被校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器、所述第二氣動(dòng)閥、所述第三氣動(dòng)閥、所述第四氣動(dòng)閥、所述第五氣動(dòng)閥、所述第六氣動(dòng)閥和所述第二傳感器的外殼。
[0027]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種利用上述校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的方法，包括:
[0028]處理器接收輸入的氣體類型指令，依據(jù)所述氣體類型指令在標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組中選擇標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器；
[0029]第一傳感器讀取氣體流經(jīng)所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的第一讀數(shù)，并發(fā)送給所述處理器；
[0030]第二傳感器讀取氣體流經(jīng)所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的第二讀數(shù)，并發(fā)送給所述處理器；
[0031]處理器接收所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)，比較所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)，判斷所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器是否合格。
[0032]優(yōu)選地，所述處理器接收所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)，比較所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)，判斷所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器是否合格，具體為:
[0033]處理器接收所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)；
[0034]比較所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)，獲得所述第一讀數(shù)和所述第二讀數(shù)的差值；
[0035]獲取預(yù)設(shè)的差值范圍，比較所述差值和所述預(yù)設(shè)的差值范圍，當(dāng)所述差值在所述預(yù)設(shè)的差值范圍內(nèi)時(shí)，判斷所述被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器合格。
[0036]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種利用上述校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的方法，包括:
[0037]關(guān)閉第一氣動(dòng)閥組、第二氣動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥、第四氣動(dòng)閥和第五氣動(dòng)閥，打開第六氣動(dòng)閥；
[0038]將被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的管道抽成真空。
[0039]打開所述第五氣動(dòng)閥，向外殼內(nèi)充滿預(yù)設(shè)濃度的氦氣，在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)以預(yù)設(shè)的頻率的檢測(cè)氦氣檢漏量，當(dāng)所述氦氣檢漏量小于或等于氦氣檢漏量閾值時(shí)，被校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器合格。
[0040]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種利用上述校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的方法，包括:
[0041]關(guān)閉第一氣動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥、第五氣動(dòng)閥和第六氣動(dòng)閥，打開第四氣動(dòng)閥，將氮?dú)庾⑷氡恍ｒ?yàn)質(zhì)量流量控制器的管路內(nèi)；
[0042]關(guān)閉第四氣動(dòng)閥，記錄第二傳感器讀取被校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器管路內(nèi)的第一壓力值；
[0043]在經(jīng)過預(yù)設(shè)保壓時(shí)間后，記錄第二傳感器讀取記錄校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器管路內(nèi)的第二壓力值；
[0044]比較所述第一壓力值和所述第二壓力值，若所述第一壓力值和所述第二壓力值之差小于或等于預(yù)設(shè)的壓力閾值，則被校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器合格。
[0045]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置及方法，具有如下特點(diǎn):能夠依據(jù)被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的量程自動(dòng)選擇與之相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，不再需要頻繁的拆裝標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，提高了校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的效率，從而可以在短時(shí)間繼續(xù)多次重復(fù)性校驗(yàn)，獲得到準(zhǔn)確的線性數(shù)據(jù)，從而可以真實(shí)反映被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的性能。
【附圖說明】
[0046]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0047]圖1是本發(fā)明第一實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖2是本發(fā)明第一實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0049]圖3是本發(fā)明第一實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0050]圖4是本發(fā)明第二實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0051]圖5是本發(fā)明第三實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的方法的流程示意圖；
[0052]圖6是本發(fā)明第四實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的方法的流程示意圖；
[0053]圖7是本發(fā)明第五實(shí)施提供的一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的方法的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0054]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0055]實(shí)施例一
[0056]本發(fā)明實(shí)施例一公開了一種校驗(yàn)質(zhì)量流量控制器的裝置，如圖1所示，包括:標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組1、被校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器2、第一傳感器3、第二傳感器4、處理器(圖中未示出)和氣動(dòng)閥組。
[0057]其中，標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組I包括至少兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器11的，各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器11具有不同量程；
[0058]需要進(jìn)行說明的是，標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組I中的各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器11的量程不同，可以包括但不限于 100sccm、200sccm、500sccm、2slm、10slm