本發(fā)明涉及一種鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的在線檢測(cè)方法及裝置。

背景技術(shù)：

1、針對(duì)鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池如topcon電池而言，其鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能如接觸性能和鈍化性能等，會(huì)直接影響電池的整體性能。因此，通過(guò)鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能檢測(cè)，可以指導(dǎo)鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝。

2、目前，檢測(cè)鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能的方式主要采用離線測(cè)試手段比如電化學(xué)電壓電容(ecv)檢測(cè)電池的擴(kuò)散濃度和結(jié)深、電池的光致發(fā)光光譜(pl)等?，F(xiàn)有這種離線測(cè)試手段需要人工取片，而且測(cè)試時(shí)間比較長(zhǎng)，其信息反饋速度跟不上電池生產(chǎn)工藝需求。因此，亟需一種能夠?qū)崟r(shí)反饋鈍化接觸結(jié)構(gòu)性能的在線檢測(cè)鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明提供一種鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的在線檢測(cè)方法及裝置，其能夠在線檢測(cè)鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能，并能夠及時(shí)反饋生產(chǎn)工藝生產(chǎn)的鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能，方便技術(shù)人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)鈍化接觸結(jié)構(gòu)存在的問(wèn)題，并及時(shí)調(diào)控鈍化接觸結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)工藝。

2、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

3、第一方面，本發(fā)明提供一種鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的在線檢測(cè)方法，包括：

4、步驟1、從經(jīng)過(guò)鈍化接觸結(jié)構(gòu)工序處理的電池基體中，選擇一個(gè)具有所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的電池基體作為待檢測(cè)樣品，其中，在形成所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)工序中，部分摻雜元素穿過(guò)所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)進(jìn)入所述電池基體；

5、步驟2、去除所述待檢測(cè)樣品的鈍化接觸結(jié)構(gòu)；

6、步驟3、檢測(cè)去除了所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的待檢測(cè)樣品的實(shí)際方塊電阻；

7、步驟4、利用預(yù)先構(gòu)建的電阻率與方塊電阻區(qū)間之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系以及所述電池基體的實(shí)際電阻率，確定對(duì)應(yīng)于所述電池基體的實(shí)際方塊電阻區(qū)間，根據(jù)所述實(shí)際方塊電阻區(qū)間和檢測(cè)出的所述實(shí)際方塊電阻，分析所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能，以指示所述待檢測(cè)樣品所在電池生產(chǎn)線狀況。

8、可選地，在步驟1之前，還包括：隨機(jī)選取一個(gè)目標(biāo)電池基體，在鈍化接觸結(jié)構(gòu)工序中，在所述目標(biāo)電池基體的一個(gè)或者兩個(gè)主表面制備鈍化接觸結(jié)構(gòu)；

9、步驟1包括：確定一個(gè)或者兩個(gè)主表面均制備有鈍化接觸結(jié)構(gòu)的目標(biāo)電池基體為待檢測(cè)樣品；

10、或者，

11、在步驟1之前，還包括：在鈍化接觸結(jié)構(gòu)工序中，在電池基體的一個(gè)或者兩個(gè)主表面制備鈍化接觸結(jié)構(gòu)；

12、步驟1包括：隨機(jī)選擇一個(gè)一個(gè)或者兩個(gè)主表面制備有鈍化接觸結(jié)構(gòu)的電池基體作為待檢測(cè)樣品。

13、可選地，在所述目標(biāo)電池基體或者所述電池基體的一個(gè)主表面制備鈍化接觸結(jié)構(gòu)，包括：

14、在所述目標(biāo)電池基體或者所述電池基體的一個(gè)主表面順序形成層疊的隧穿氧化層和本征多晶硅層；

15、為所述本征多晶硅層擴(kuò)散摻雜元素，其中，擴(kuò)散的部分摻雜元素穿過(guò)所述隧穿氧化層進(jìn)入所述目標(biāo)電池基體或者所述電池基體的一個(gè)主表面。

16、可選地，在所述目標(biāo)電池基體或者所述電池基體的兩個(gè)主表面均制備鈍化接觸結(jié)構(gòu)，包括：

17、在所述目標(biāo)電池基體或者所述電池基體的兩個(gè)主表面順序形成層疊的隧穿氧化層和本征多晶硅層；

18、為兩個(gè)主表面的所述本征多晶硅層擴(kuò)散摻雜元素，其中，擴(kuò)散的部分摻雜元素穿過(guò)所述隧穿氧化層進(jìn)入所述目標(biāo)電池基體或者所述電池基體的兩個(gè)主表面。

19、可選地，步驟2包括：

20、將所述待檢測(cè)樣品輸送到太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線中的功能層去除工序；

21、在所述功能層去除工序去除所述待檢測(cè)樣品的鈍化接觸結(jié)構(gòu)。

22、可選地，步驟4包括：

23、在檢測(cè)出的所述實(shí)際方塊電阻落入所述實(shí)際方塊電阻區(qū)間，確定所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能優(yōu)良以及所述待檢測(cè)樣品所在電池生產(chǎn)線正常；

24、在檢測(cè)出的所述實(shí)際方塊電阻未落入所述實(shí)際方塊電阻區(qū)間，確定所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能出現(xiàn)異常，發(fā)出指示所述待檢測(cè)樣品所在生產(chǎn)線異常的提示信息。

25、可選地，所述電阻率與方塊電阻區(qū)間之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系滿足下述兩個(gè)關(guān)系式：

26、指示所述電阻率與所述方塊電阻區(qū)間中的最小值之間關(guān)系的關(guān)系式(1)：

27、

28、其中，ri表示電阻率；ri-min表示對(duì)應(yīng)于電阻率ri的方塊電阻區(qū)間中的最小值；

29、指示所述電阻率與所述方塊電阻區(qū)間中的最大值之間關(guān)系的關(guān)系式(2)：

30、

31、其中，ri表示電阻率；ri-max表示對(duì)應(yīng)于電阻率ri的方塊電阻區(qū)間中的最大值。

32、可選地，所述確定對(duì)應(yīng)于所述電池基體的實(shí)際方塊電阻區(qū)間，包括：

33、將所述電池基體的實(shí)際電阻率代入所述關(guān)系式(1)和所述關(guān)系式(2)，計(jì)算出實(shí)際方塊電阻區(qū)間的最小值和最大值。

34、可選地，步驟3包括：檢測(cè)去除了所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)(20)的待檢測(cè)樣品在不同溫度下的實(shí)際方塊電阻。

35、可選地，步驟4還包括：進(jìn)一步結(jié)合預(yù)先構(gòu)建的電阻率與方塊電阻方差閾值之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系，分析所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能；

36、所述電阻率與方塊電阻方差閾值之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系滿足下述關(guān)系式(3)：

37、指示所述電阻率與方塊電阻方差閾值之間關(guān)系的關(guān)系式(3)：

38、wi＝(0.03×ri+0.02)×100％????????????(3)

39、其中，ri表示電阻率；wi表示對(duì)應(yīng)于電阻率ri的方塊電阻方差閾值。

40、可選地，步驟4還包括：根據(jù)不同溫度下的實(shí)際方塊電阻，計(jì)算去除了所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的待檢測(cè)樣品的方阻變化率；

41、進(jìn)一步結(jié)合所述方阻變化率，分析所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能。

42、可選地，所述電池基體為n型硅基體；

43、所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)包含的摻雜元素為n型摻雜元素。

44、第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的在線檢測(cè)方法，包括：

45、輸出指示選擇待檢測(cè)樣品的第一控制指令給太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上的電池片夾取設(shè)備，使所述電池片夾取設(shè)備夾取所述待檢測(cè)樣品；

46、輸出指示運(yùn)輸?shù)牡诙刂浦噶罱o所述電池片夾取設(shè)備，使所述電池片夾取設(shè)備將所述待檢測(cè)樣品輸送到所述太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線中的功能層去除工序；

47、輸出指示去除整面鈍化接觸結(jié)構(gòu)的第三控制指令給所述功能層去除工序，以在所述功能層去除工序去除所述待檢測(cè)樣品的鈍化接觸結(jié)構(gòu)；

48、驅(qū)動(dòng)檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)去除了所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的待檢測(cè)樣品的實(shí)際方塊電阻；

49、根據(jù)預(yù)先構(gòu)建的電阻率與方塊電阻區(qū)間之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系以及所述檢測(cè)模塊檢測(cè)到的電池基體的實(shí)際電阻率，確定對(duì)應(yīng)于所述電池基體的實(shí)際方塊電阻區(qū)間，根據(jù)所述實(shí)際方塊電阻區(qū)間和檢測(cè)出的所述實(shí)際方塊電阻，分析所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能，以指示所述待檢測(cè)樣品所在電池生產(chǎn)線狀況。

50、第三方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種鈍化接觸結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能電池的在線檢測(cè)裝置，包括：控制模塊、檢測(cè)模塊及分析模塊，其中，

51、所述控制模塊，用于輸出指示選擇待檢測(cè)樣品的第一控制指令給太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上的電池片夾取設(shè)備，并在所述電池片夾取設(shè)備夾取到所述待檢測(cè)樣品后，輸出指示運(yùn)輸?shù)牡诙刂浦噶罱o所述電池片夾取設(shè)備，使所述電池片夾取設(shè)備將所述待檢測(cè)樣品輸送到所述太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線中的功能層去除工序；

52、所述控制模塊，進(jìn)一步用于輸出指示去除整面鈍化接觸結(jié)構(gòu)的第三控制指令給所述功能層去除工序，以在所述功能層去除工序去除所述待檢測(cè)樣品的鈍化接觸結(jié)構(gòu)；

53、所述檢測(cè)模塊，用于驅(qū)動(dòng)檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)去除了所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的待檢測(cè)樣品的實(shí)際方塊電阻；

54、所述分析模塊，用于根據(jù)預(yù)先構(gòu)建的電阻率與方塊電阻區(qū)間之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系以及所述檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)到的電池基體的實(shí)際電阻率，確定對(duì)應(yīng)于所述電池基體的實(shí)際方塊電阻區(qū)間，根據(jù)所述實(shí)際方塊電阻區(qū)間和檢測(cè)出的所述實(shí)際方塊電阻，分析所述鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能，以指示所述待檢測(cè)樣品所在電池生產(chǎn)線狀況。

55、第四方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種電子設(shè)備，該電子設(shè)備包括：

56、一個(gè)或多個(gè)處理器；

57、存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)程序，

58、當(dāng)所述一個(gè)或多個(gè)程序被所述一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行，使得所述一個(gè)或多個(gè)處理器實(shí)現(xiàn)如上述第二方面實(shí)施例提供的方法。

59、第五方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，所述程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如上述第二方面實(shí)施例提供的方法。

60、上述發(fā)明的第一方面的技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

61、由于同一太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上同一批次或者生產(chǎn)時(shí)間相近的太陽(yáng)能電池的性能一般是相似的，基于此，本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案以選擇的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上的經(jīng)過(guò)鈍化接觸結(jié)構(gòu)工序處理的電池基體作為待檢測(cè)樣品，檢測(cè)去除待檢測(cè)樣品的鈍化接觸結(jié)構(gòu)后的待檢測(cè)樣品的實(shí)際方塊電阻，并利用預(yù)先構(gòu)建的電阻率與方塊電阻區(qū)間之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系和電池基體的實(shí)際電阻率，確定對(duì)應(yīng)于電池基體的實(shí)際方塊電阻區(qū)間，然后根據(jù)實(shí)際方塊電阻區(qū)間和檢測(cè)出的實(shí)際方塊電阻，分析鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能，以指示待檢測(cè)樣品所在電池生產(chǎn)線狀況，即通過(guò)對(duì)屬于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上的待檢測(cè)樣品的實(shí)際方塊電阻分析，得到待檢測(cè)樣品所在的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線的狀況，實(shí)現(xiàn)在線分析太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線生產(chǎn)的鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能以及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線的狀況，以能夠及時(shí)反饋針對(duì)鈍化接觸結(jié)構(gòu)的性能、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線生產(chǎn)狀況以及生產(chǎn)過(guò)程中鈍化接觸結(jié)構(gòu)相關(guān)工藝存在的問(wèn)題給技術(shù)人員，使技術(shù)人員能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)鈍化接觸結(jié)構(gòu)存在問(wèn)題，并及時(shí)調(diào)控鈍化接觸結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)工藝。