石墨舟固定硅片用銷釘?shù)闹谱鞣椒?br>【技術領域】
[0001]本實用新型涉及石墨舟配件領域，特別涉及一種石墨舟固定硅片用銷釘。
【背景技術】
[0002]石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，在進行鍍膜時，將插有未鍍膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空鍍膜設備腔體內(nèi)且利用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。
[0003]而在硅片鍍膜生產(chǎn)中，需要使用穿過石墨舟的銷釘將硅片固定在石墨舟中，由于銷釘經(jīng)常與硅片接觸，其是易損部件，對于半導體和太陽能石墨舟來說，使用磨損后需要更換銷釘是比較困難的，并且容易損害石墨舟舟體。目前有中國專利授權公告號〇附010080818(授權公告日2010.5.19)公開的一種硅片生產(chǎn)中使用的石墨舟，該專利附圖4中的固定件即為現(xiàn)有常用的固定硅片用的銷釘，這種銷釘雖然在更換上相對傳統(tǒng)的銷釘更簡便，但是還是需要更換，增加勞動強度，降低工作效率。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術的上述不足和缺陷，提供一種無需更換且提高使用壽命的石墨舟固定硅片用銷釘，以解決上述問題。
[0005]本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現(xiàn):
[0006]石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過盈配合的中部圓柱段，所述中部圓柱段的兩端分別設置有用于承托硅片的承托段，其特征在于，所述承托段的外端面設置有調節(jié)槽。
[0007]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小圓柱段，所述小圓柱段的內(nèi)側外周面設置有用以供硅片插入固定的楔形槽。
[0008]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述小圓柱段的外端面外周處理為圓角結構。
[0009]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小棱柱段。
[0010]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述小棱柱段的外端面外周處理為圓角結構。
[0011 ]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述調節(jié)槽為腰形槽。
[0012]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述調節(jié)槽貫穿所述中部圓柱段和承托段。
[0013]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述中部圓柱段的兩端面外周處理為45°倒角結構。
[0014]由于采用了如上的技術方案，當承托段與硅片的接觸部位出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時，利用一調節(jié)件插入調節(jié)槽，旋轉調節(jié)件，使得中部圓柱段和承托段轉過一定的角度，此時承托段與硅片的接觸部位為無損部位，可以正常工作。當使用時間久了，承托段與硅片的接觸部位再次出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時，重復上述調節(jié)步驟即可，短期內(nèi)無需更換銷釘，直到承托段的外周面均無法正常使用時才需更換銷釘，簡化了銷釘?shù)母鼡Q工作，且提高了銷釘?shù)氖褂脡勖?br>【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1是本實用新型的實施例1的主視圖。
[0017]圖2是圖1的側視圖。
[0018]圖3是本實用新型的實施例2的主視圖。
[0019]圖4是圖3的側視圖。
【具體實施方式】
[0020]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面進一步闡述本實用新型。
[0021]實施例1
[0022]參見圖1和圖2所示的石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過盈配合的中部圓柱段100，為了方便中部圓柱段100插入石墨舟的銷釘孔，中部圓柱段100的兩端面110外周處理為45°倒角結構111。中部圓柱段100的兩端分別一體成型有用于承托硅片的承托段200，承托段200的外端面設置有調節(jié)槽300，調節(jié)槽300為腰形孔，調節(jié)槽300也可貫穿中部圓柱段100和承托段200。
[0023]本實施例中的承托段200為與中部圓柱段100同軸設置且外徑小于中部圓柱段外徑的小圓柱段210，小圓柱段210的內(nèi)側外周面設置有用以供硅片插入固定的楔形槽211。小圓柱段210的外端面212外周處理為圓角結構213。
[0024]實施例2
[0025]參見圖3和圖4所示的石墨舟固定硅片用銷釘，本實施例的石墨舟固定硅片用銷釘與實施例1的石墨舟固定硅片用銷釘結構大致相似，其區(qū)別在于，承托段200為與中部圓柱段100同軸設置且外徑小于中部圓柱段外徑的小棱柱段210a。小棱柱段210a為六棱柱段，當然也可以為八棱柱段。小棱柱段210a的外端面212a外周處理為圓角結構213a。
[0026]上述兩個實施例的工作原理一樣:
[0027]當承托段200與硅片的接觸部位出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時，利用一調節(jié)件插入調節(jié)槽300，旋轉調節(jié)件，使得中部圓柱段100和承托段200轉過一定的角度，此時承托段200與硅片的接觸部位為無損部位，可以正常工作。當使用時間久了，承托段200與硅片的接觸部位再次出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時，重復上述調節(jié)步驟即可，短期內(nèi)無需更換銷釘，直到承托段200的外周面均無法正常使用時才需更換銷釘，簡化了銷釘?shù)母鼡Q工作，且提高了銷釘?shù)氖褂脡勖?br>[0028]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過盈配合的中部圓柱段，所述中部圓柱段的兩端分別設置有用于承托硅片的承托段，其特征在于，所述承托段的外端面設置有調節(jié)槽。2.如權利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小圓柱段，所述小圓柱段的內(nèi)側外周面設置有用以供硅片插入固定的楔形槽。3.如權利要求2所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述小圓柱段的外端面外周處理為圓角結構。4.如權利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小棱柱段。5.如權利要求4所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述小棱柱段的外端面外周處理為圓角結構。6.如權利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述調節(jié)槽為腰形槽。7.如權利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述調節(jié)槽貫穿所述中部圓柱段和承托段。8.如權利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述中部圓柱段的兩端面外周處理為45°倒角結構。
【專利摘要】本實用新型公開了一種石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過盈配合的中部圓柱段，所述中部圓柱段的兩端分別設置有用于承托硅片的承托段，所述承托段的外端面設置有調節(jié)槽。當承托段與硅片的接觸部位出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時，利用一調節(jié)件插入調節(jié)槽，旋轉調節(jié)件，使得中部圓柱段和承托段轉過一定的角度，此時承托段與硅片的接觸部位為無損部位，可以正常工作。當使用時間久了，承托段與硅片的接觸部位再次出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時，重復上述調節(jié)步驟即可，短期內(nèi)無需更換銷釘，直到承托段的外周面均無法正常使用時才需更換銷釘，簡化了銷釘?shù)母鼡Q工作，且提高了銷釘?shù)氖褂脡勖?br>【IPC分類】H01L21/687, C23C16/458
【公開號】CN205211725
【申請?zhí)枴緾N201521033842
【發(fā)明人】張孟彤, 顧愛平
【申請人】上海弘楓實業(yè)有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年12月11日