清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路以及超大集成電路制造工藝中，光刻步驟一般是將光刻膠涂抹在玻璃片或金屬膜上，然后進(jìn)行烘烤，曝光，顯影后得到所需要的有抗蝕劑保護(hù)的圖形。接著進(jìn)行刻蝕工藝，將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面上，然后將覆蓋在晶圓上的保護(hù)膜除去。
[0003]通常，在制造半導(dǎo)體器件的工藝中使用十幾次光刻工藝，它包括去掉光刻膠掩膜版沒有掩蓋部分的光刻膠，在半導(dǎo)體襯底的傳導(dǎo)層上形成光刻圖形，然后刻蝕掉傳導(dǎo)層上光刻膠圖形沒有掩蓋的部分，從而形成傳導(dǎo)層的圖形，在傳導(dǎo)層圖形形成后，光刻膠圖形必須用光刻膠剝離劑從傳導(dǎo)層去除。有專門的清洗裝置來去除光刻膠基板上的光刻膠，如圖1所示，在清洗裝置中設(shè)置有多個(gè)供液槽10，以及多個(gè)與供液槽10相連接的剝離槽20，其中，剝離槽上還設(shè)置有噴嘴(圖中未示出)，用來將光刻膠剝離液噴到基板上，以清洗基板上的光刻膠，供液槽10用來存儲(chǔ)光刻膠剝離液。供液槽10與剝離槽20之間設(shè)置有第一管路30，第一管路30上設(shè)置有第一栗體50，用于將供液槽10中的液體輸送至剝離槽20，同時(shí)剝離槽20上還設(shè)置有回收裝置，清洗過光刻膠的光刻膠剝離液通過回收裝置將基板上流下來的液體回收到供液槽10中。此外供液槽10還設(shè)置有出液口、與回收裝置對(duì)應(yīng)的回收口和進(jìn)液口，在清洗供液槽10或者為供液槽10更換光刻膠剝離液時(shí)，設(shè)置于第二管路40上的第二栗體60將水或者光刻膠剝離液輸送至供液槽。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)的清洗裝置，由于在前的供液槽10最先剝離光刻膠，大部分剝離的光刻膠都在靠前的供液槽10中，以致多個(gè)供液槽10中的光刻膠剝離液渾濁度由前到后依次遞減，在需要換液時(shí)為了節(jié)省藥液和清洗供液槽10，需順序?qū)⒑笠粋€(gè)供液槽10中的液體排到前一個(gè)供液槽1中，例如，將第四個(gè)供液槽1中的液體排到第三個(gè)供液槽1，第三個(gè)供液槽10的液體排到第二個(gè)供液槽10，第二個(gè)供液槽10的液體排到第一個(gè)供液槽10，因此液體更換過程中，每個(gè)供液槽10設(shè)置一個(gè)第二栗體60，從而才能將后一個(gè)供液槽10的液體排入前一個(gè)供液槽10中。這種方式，需要為每個(gè)供液槽10單獨(dú)設(shè)置第二栗體60，從而提高了生產(chǎn)成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供清洗裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中需要為每個(gè)供液槽單獨(dú)設(shè)置栗，從而提高了生產(chǎn)成本的技術(shù)問題。
[0006]本實(shí)用新型提供清洗裝置，包括多個(gè)供液槽、多個(gè)剝離槽、第一管路、第二管路、第一栗體和第二栗體，
[0007]多個(gè)所述供液槽的設(shè)置位置依次升高，所述剝離槽與所述供液槽的數(shù)量相等，所述供液槽由低到高與沿工序方向排布的多個(gè)所述剝離槽一一對(duì)應(yīng)；
[0008]所述第一管路的一端與所述供液槽連通，另一端與所述剝離槽連通，所述第一栗體設(shè)置在所述第一管路上；
[0009]所述第二管路設(shè)置于相鄰兩供液槽之間，且所述第二管路的一端與所述位置較高的供液槽連通，另一端與位置較低的供液槽連通；
[0010]所述第二管路上設(shè)置有閥門，位置最高的所述供液槽的進(jìn)液口與所述第二栗體連接。
[0011]優(yōu)選地，所述供液槽設(shè)置有進(jìn)液口、第一出液口和第二出液口，所述第一出液口與所述第一管路連接，相鄰兩個(gè)所述供液槽中高度較低的一個(gè)所述供液槽的進(jìn)液口與高度較高的所述供液槽的第二出液口通過第二管路連接。
[0012]優(yōu)選地，所述第一出液口的高度不高于所述第二出液口的高度。
[0013]優(yōu)選地，所述進(jìn)液口設(shè)置于所述供液槽的上部。
[0014]優(yōu)選地，所述第一管路與所述第二管路連接，且所述第一管路與所述第二管路的連接處，位于相鄰兩個(gè)所述供液槽中位置較高的所述供液槽與閥門之間。
[0015]優(yōu)選地，所述供液槽的底部設(shè)置有能夠開閉的第三出液口。
[0016]優(yōu)選地，所述供液槽上還設(shè)置有與所述第三出液口相匹配的閥門。
[0017]優(yōu)選地，在所述第一管路上還設(shè)置有過濾器。
[0018]優(yōu)選地，所述閥門為自動(dòng)閥門。
[0019]優(yōu)選地，所述供液槽上還設(shè)置有液位傳感器。
[0020]本實(shí)用新型的技術(shù)方案，多個(gè)供液槽的設(shè)置位置依次升高，所述剝離槽與所述供液槽的數(shù)量相等，所述供液槽由低到高與沿工序方向排布的多個(gè)所述剝離槽一一對(duì)應(yīng)；只需要為位置最高的供液槽設(shè)置連接一個(gè)栗體，利用位置最高的供液槽與其他的供液槽之間的液位差所產(chǎn)生液壓即可為其他供液槽灌液，從而簡化整個(gè)裝置，節(jié)約生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的清洗裝置的示意圖；
[0023]圖2為本實(shí)用新型的清洗裝置的其中一個(gè)實(shí)施例的示意圖；
[0024]圖3為圖2所示清洗裝置的供液槽的放大示意圖；
[0025]圖4為本實(shí)用新型的清洗裝置的另一實(shí)施例的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0027]圖2為本實(shí)用新型的清洗裝置的其中一個(gè)實(shí)施例的示意圖，如圖2所示，本實(shí)施例的清洗裝置，具體可以包括多個(gè)供液槽10、多個(gè)剝離槽20、第一管路30、第二管路40、第一栗體50和第二栗體60。
[0028]多個(gè)供液槽10的設(shè)置位置依次升高，剝離槽20與供液槽10的數(shù)量相等，供液槽10由低到高與沿工序方向排布的多個(gè)剝離槽20—一對(duì)應(yīng);第一管路30的一端與供液槽10連通，另一端與剝離槽20連通，第一栗體50設(shè)置在第一管路30上;第二管路40設(shè)置于相鄰兩供液槽10之間，且第二管路40的一端與位置較高的供液槽連通，另一端與位置較低的供液槽連通;第二管路40上設(shè)置有閥門401，位置最高的供液槽的進(jìn)液口與第二栗體60連接。
[0029]當(dāng)需要為供液槽10換液體時(shí)，為清楚地介紹本實(shí)用新型，以供液槽10的數(shù)目為3個(gè)為例，設(shè)置位置由低到高依次稱為第一供液槽10a、第二供液槽1b和第三供液槽10c。相應(yīng)的剝離槽20可以稱為第一剝離槽20a、第二剝離槽20b和第三剝離槽20c。每個(gè)剝離槽20上均設(shè)置有噴嘴和回收裝置，由噴嘴噴出的藥液與待清洗設(shè)備上的光刻膠反應(yīng)時(shí)，使光刻膠溶解，并沿待清洗設(shè)備流到剝離槽20上的回收裝置，回收裝置朝向供液槽的一面設(shè)置有開口，相應(yīng)地，供液槽10也設(shè)置有與開口對(duì)應(yīng)的回收口，使溶解的光刻膠由回收裝置流回供液槽10，防止污染環(huán)境。
[0030]由于第一剝離槽20a、第二剝離槽20b和第三剝離槽20c從前到后排列，當(dāng)清洗待清洗設(shè)備，例如基板時(shí)，位置處于最前面第一剝離槽20a所剝離的光刻膠最多，其所對(duì)應(yīng)的第一供液槽I Oa里面的藥液最渾濁，第二供液槽I Ob中的藥液次渾濁，位置最高的供液槽中的藥液最不渾濁。為節(jié)省藥液，通常將第一供液槽1a中的藥液排出，將第二供液槽1b中的藥液排到第一供液槽10a，第三供液槽1c的藥液排到第二供液槽10b，為第三供液槽1c灌入新的藥液。
[0031]本實(shí)施例在清洗待清洗設(shè)備時(shí)，由于供液槽10的水平位置不一定高于剝離槽20，需要通過壓力設(shè)備將藥液輸送至剝離槽20，所以在供液槽10和剝離槽20之間的第一管路30上設(shè)置第一栗體50。在使用時(shí)，啟動(dòng)第一栗體50，使供液槽10中的藥液通過第一管路30輸送至剝離槽20，再接收由剝離槽20的回收裝置回收的溶解的光刻膠。當(dāng)?shù)谝还┮翰跧 Oa的藥液嚴(yán)重渾濁，將第一供液槽1a的藥液排出，打開第二管路40上的閥門，以及第二栗體60。由于第二供液槽1b的設(shè)置位置高于第一供液槽1a，二者中的液體存在液位差，這樣第二供液槽I Ob中的藥液流入第一供液槽I Oa，第三供液槽I Oc中的藥液流入第二供液槽I Ob，第二栗體60將輸送管路中的藥液輸送至第三供液槽1c，當(dāng)?shù)谝还┮翰?a中的藥液注滿，或者將要注滿時(shí)，關(guān)于第一供液槽1a和第二供液槽1b之間的閥門，停止向第一供液槽1a注液，當(dāng)?shù)诙┮翰?b中的藥液注滿或者將要注滿時(shí)，將第二供液槽1b與第三供液槽1c之間的閥門關(guān)閉，停止向第二供液槽1b注液，當(dāng)?shù)谌┮翰?c中的藥液注滿或?qū)⒁M時(shí)，關(guān)閉第二栗體60，從而完成了換藥液的