一種真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，包括腔體直通管，腔體直通管內(nèi)安裝有空心細(xì)鋼管，空心細(xì)鋼管內(nèi)設(shè)有光波導(dǎo)毛細(xì)管，腔體直通管的兩端分別安裝有入射窗和出射窗，入射窗與腔體直通管之間設(shè)有入射調(diào)節(jié)裝置，出射窗和腔體直通管之間設(shè)有出射調(diào)節(jié)裝置。本實(shí)用新型可快速便捷地實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)管的有效校準(zhǔn)，應(yīng)用于有真空環(huán)境需求的激光與物質(zhì)相互作用領(lǐng)域，如激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等領(lǐng)域，具有操作簡(jiǎn)單、靈活性強(qiáng)和適用范圍廣等特點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】
一種真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空光波導(dǎo)的校準(zhǔn)裝置，適用于有真空環(huán)境需求的激光與物質(zhì)相互作用領(lǐng)域，如激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等。
【背景技術(shù)】
[0002]激光與物質(zhì)的相互作用經(jīng)常會(huì)采用毛細(xì)管光波導(dǎo)的模式使之充分反應(yīng)并獲得最佳的相位匹配關(guān)系。同時(shí)，為了使充滿毛細(xì)管的氣態(tài)物質(zhì)不被污染，經(jīng)常需要將毛細(xì)管置于真空環(huán)境中，然后再充入純凈的特定工作物質(zhì)。那么，如何將激光準(zhǔn)確導(dǎo)入真空中的毛細(xì)管將面臨一定的校準(zhǔn)挑戰(zhàn)。本實(shí)用新型由此產(chǎn)生。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，可用于有真空環(huán)境需求的激光與物質(zhì)相互作用領(lǐng)域，如激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等領(lǐng)域，具有操作簡(jiǎn)單、靈活性強(qiáng)和適用范圍廣等特點(diǎn)。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，包括腔體直通管，所述腔體直通管內(nèi)安裝有空心細(xì)鋼管，所述空心細(xì)鋼管內(nèi)設(shè)有光波導(dǎo)毛細(xì)管，所述腔體直通管的兩端分別安裝有入射窗和出射窗，所述入射窗與腔體直通管之間設(shè)有入射調(diào)節(jié)裝置，所述出射窗和腔體直通管之間設(shè)有出射調(diào)節(jié)裝置。
[0006]所述的入射調(diào)節(jié)裝置包括入射二維平移臺(tái)一、入射二維平移臺(tái)二、入射觀察直通管、入射波紋管和三通管，所述入射二維平移臺(tái)一位于光波導(dǎo)毛細(xì)管的入口處，所述入射二維平移臺(tái)二與入射窗相鄰，所述入射觀察直通管與腔體直通管連接，所述空心細(xì)鋼管和光波導(dǎo)毛細(xì)管的端部位于入射觀察直通管內(nèi)部，所述入射波紋管的一端與入射觀察直通管連接，入射波紋管的另一端與三通管連接，所述入射窗位于三通管上，且三通管上設(shè)有接入端。
[0007]所述的出射調(diào)節(jié)裝置包括出射二維平移臺(tái)一、出射二維平移臺(tái)二、出射觀察直通管、出射波紋管和直通管，所述出射二維平移臺(tái)一位于光波導(dǎo)毛細(xì)管的出口處，所述出射二維平移臺(tái)二與出射窗相鄰，所述出射觀察直通管與腔體直通管連接，所述空心細(xì)鋼管和光波導(dǎo)毛細(xì)管的端部位于出射觀察直通管內(nèi)部，所述出射波紋管的一端與出射觀察直通管連接，出射波紋管的另一端與直通管連接，所述出射窗位于直通管上。
[0008]所述空心細(xì)鋼管的兩端均設(shè)有細(xì)鋼管支架，所述細(xì)鋼管支架位于腔體直通管的內(nèi)部。
[0009]所述的腔體直通管、入射調(diào)節(jié)裝置和入射窗之間均設(shè)有真空法蘭接口，所述的真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接;所述的腔體直通管、出射調(diào)節(jié)裝置和出射窗之間均設(shè)有真空法蘭接口，所述的真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接。
[0010]所述的入射觀察直通管和出射觀察直通管均透明。
[0011]所述的入射波紋管為入射可彎曲波紋管，所述的出射波紋管為出射可彎曲波紋管。
[0012]所述的入射窗和出射窗均采用KF盲板結(jié)構(gòu)，所述盲板的圓心設(shè)挖孔，所述挖孔的位置通過(guò)透明窗片覆蓋密封。
[0013]所述的細(xì)鋼管支架包括內(nèi)圓環(huán)和外圓環(huán)，所述內(nèi)圓環(huán)咬住空心細(xì)鋼管，所述外圓環(huán)將空心細(xì)鋼管固定于腔體直通管的中心軸位置。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果如下:
[0015]本實(shí)用新型利用入射窗將激光器發(fā)射的激光導(dǎo)入真空腔裝置，利用二維平移臺(tái)調(diào)節(jié)入射窗、毛細(xì)管、出射窗的位置，利用有觀察窗直通管觀察激光的準(zhǔn)直位置，最后利用出射窗輸出與毛細(xì)管內(nèi)的工作物質(zhì)相互作用后的特定激光，可快速便捷地實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)管的有效校準(zhǔn)。本實(shí)用新型可應(yīng)用于有真空環(huán)境需求的激光與物質(zhì)相互作用領(lǐng)域，如激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等領(lǐng)域，具有操作簡(jiǎn)單、靈活性強(qiáng)和適用范圍廣等特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型中的入射窗和出射窗的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型中的細(xì)鋼管支架結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型的使用狀態(tài)圖；
[0020]其中，I為腔體直通管、2為入射觀察直通管、3為出射觀察直通管、4為入射可彎曲波紋管、5為出射可彎曲波紋管、6為三通管、7為直通管、8為入射窗、9為出射窗、10為入射二維平移臺(tái)一、11為出射二維平移臺(tái)一、12為入射二維平移臺(tái)二、13為出射二維平移臺(tái)二、14為空心細(xì)鋼管、15為細(xì)鋼管支架、151為內(nèi)圓環(huán)、152為外圓環(huán)、16為光波導(dǎo)毛細(xì)管、17為接入端、18為激光、19為聚焦透鏡、20為四通管、21為進(jìn)氣微調(diào)閥、22為進(jìn)氣鋼管、23為儲(chǔ)氣鋼瓶、24為真空栗、25為擋板閥、26為真空計(jì)。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不限于此。
[0022]如圖1-3所示，本實(shí)用新型的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，包括腔體直通管I，腔體直通管I內(nèi)安裝有空心細(xì)鋼管14，空心細(xì)鋼管14內(nèi)設(shè)有光波導(dǎo)毛細(xì)管16，空心細(xì)鋼管14的兩端均設(shè)有細(xì)鋼管支架15，細(xì)鋼管支架15位于腔體直通管I的內(nèi)部;細(xì)鋼管支架15包括內(nèi)圓環(huán)151和外圓環(huán)152，內(nèi)圓環(huán)151咬住空心細(xì)鋼管14，夕卜圓環(huán)152將空心細(xì)鋼管14固定于腔體直通管I的中心軸位置。
[0023]本實(shí)用新型中的腔體直通管I的兩端分別安裝有入射窗8和出射窗9，入射窗8和出射窗9均采用KF盲板結(jié)構(gòu)，盲板的圓心設(shè)挖孔，挖孔的位置通過(guò)透明窗片覆蓋密封。
[0024]本實(shí)用新型中的入射窗8與腔體直通管I之間設(shè)有入射調(diào)節(jié)裝置，出射窗9和腔體直通管I之間設(shè)有出射調(diào)節(jié)裝置。
[0025]本實(shí)用新型中的入射調(diào)節(jié)裝置包括入射二維平移臺(tái)一10、入射二維平移臺(tái)二 12、入射觀察直通管2、入射波紋管4和三通管6，入射二維平移臺(tái)一 10位于光波導(dǎo)毛細(xì)管16的入口處，入射二維平移臺(tái)二12與入射窗8相鄰，入射觀察直通管2與腔體直通管I連接，空心細(xì)鋼管14和光波導(dǎo)毛細(xì)管16的端部位于入射觀察直通管2內(nèi)部，入射波紋管4的一端與入射觀察直通管2連接，入射波紋管4的另一端與三通管6連接，入射窗8位于三通管6上，且三通管6上設(shè)有接入端17，使用時(shí)接入抽氣、進(jìn)氣、測(cè)氣等裝置。
[0026]本實(shí)用新型中的出射調(diào)節(jié)裝置包括出射二維平移臺(tái)一11、出射二維平移臺(tái)二 13、出射觀察直通管3、出射波紋管5和直通管7，出射二維平移臺(tái)一 11位于光波導(dǎo)毛細(xì)管16的出口處，出射二維平移臺(tái)二 13與出射窗9相鄰，出射觀察直通管3與腔體直通管I連接，空心細(xì)鋼管14和光波導(dǎo)毛細(xì)管16的端部位于出射觀察直通管3內(nèi)部，出射波紋管5的一端與出射觀察直通管3連接，出射波紋管5的另一端與直通管7連接，出射窗9位于直通管7上。
[0027]本實(shí)用新型中的入射觀察直通管2和入射觀察直通管3需采用透明材料定制，以方便觀察激光準(zhǔn)直情況。
[0028]本實(shí)用新型中的腔體直通管1、入射調(diào)節(jié)裝置和入射窗8之間均設(shè)有真空法蘭接口，真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接;腔體直通管1、出射調(diào)節(jié)裝置和出射窗9之間均設(shè)有真空法蘭接口，真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接。
[0029]本實(shí)用新型中的入射波紋管4為入射可彎曲波紋管，出射波紋管5為出射可彎曲波紋管。
[0030]如圖4所示，本實(shí)施例的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，應(yīng)用于800nm+1600nm雙色飛秒激光與氬氣相互作用實(shí)現(xiàn)四波混頻的實(shí)驗(yàn)研究:腔體直通管I為不銹鋼材料，內(nèi)徑為40mm;入射觀察直通管2和出射觀察直通管3為透明有機(jī)玻璃材料，內(nèi)徑為40_;入射可彎曲波紋管4和出射可彎曲波紋管5為不銹鋼材料，內(nèi)徑為40mm;多功能三通管6為不銹鋼材料，內(nèi)徑為40mm;直通管7為不銹鋼材料，內(nèi)徑為40mm;入射窗8和出射窗9采用KF40盲板結(jié)構(gòu)，中心掏孔為20mm，覆蓋直徑為25mm的CaF2玻璃;入射二維平移臺(tái)一 10、出射二維平移臺(tái)一 11、入射二維平移臺(tái)二 12和出射二維平移臺(tái)二 13均為卓立漢光有限公司出廠的X-Y二維平移臺(tái)，行程為1mm;空心細(xì)鋼管14內(nèi)徑為3.5mm，外徑為6mm，長(zhǎng)度為550mm;細(xì)鋼管支架15的材料為招，內(nèi)環(huán)內(nèi)徑為6.2mm，外環(huán)外徑為39.8mm;光波導(dǎo)毛細(xì)管16的內(nèi)徑為0.15mm，外徑為3mm，長(zhǎng)度為600mm;激光18是800nm+1600nm雙色飛秒激光;聚焦透鏡19的焦距為Im;四通管20為不銹鋼材料，內(nèi)徑為40mm。
[0031]本實(shí)施例中，光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置使用時(shí)，接入四通管20，四通管20的上部與光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置的接入口 17連接，四通管20的下部通過(guò)擋板閥25安裝有真空栗24，四通管20的左部通過(guò)進(jìn)氣鋼管22連接有儲(chǔ)氣鋼瓶23，且進(jìn)入口安裝有進(jìn)氣微調(diào)閥21，四通管21的右部安裝有真空計(jì)26;入射窗8的一側(cè)設(shè)有聚焦透鏡19，激光18從聚焦透鏡19射入。
[0032]本實(shí)用新型的校準(zhǔn)原理是:一方面利用可彎曲波紋管進(jìn)行激光出入射點(diǎn)切面的二維校準(zhǔn)，另一方面利用透明的觀察直通管進(jìn)行校準(zhǔn)觀測(cè)，從而快速便捷地實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)管的有效校準(zhǔn)。
[0033]本實(shí)用新型的校準(zhǔn)方法如下:利用安裝在入射窗8附近的入射二維平移臺(tái)二12進(jìn)行真空腔入射位置的校準(zhǔn);利用安裝在出射窗9附近的出射二維平移臺(tái)二 13進(jìn)行真空腔出射位置的校準(zhǔn);利用安裝在光波導(dǎo)毛細(xì)管16入口處的入射二維平移臺(tái)一 10進(jìn)行毛細(xì)管入射位置的校準(zhǔn);利用安裝在光波導(dǎo)毛細(xì)管16出口處的出射二維平移臺(tái)11進(jìn)行毛細(xì)管出射位置的校準(zhǔn)。
[0034]本實(shí)用新型利用入射窗將激光器發(fā)射的激光導(dǎo)入真空腔裝置，利用二維平移臺(tái)調(diào)節(jié)入射窗、毛細(xì)管、出射窗的位置，利用有觀察窗直通管觀察激光的準(zhǔn)直位置，最后利用出射窗輸出與毛細(xì)管內(nèi)的工作物質(zhì)相互作用后的特定激光，可快速便捷地實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)管的有效校準(zhǔn)。
[0035]本實(shí)用新型可應(yīng)用于有真空環(huán)境需求的激光與物質(zhì)相互作用領(lǐng)域，如激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生極紫外輻射、高次諧波、四波混頻、光譜展寬等領(lǐng)域，具有操作簡(jiǎn)單、靈活性強(qiáng)和適用范圍廣等特點(diǎn)。
[0036]上述實(shí)施例僅用于解釋說(shuō)明本實(shí)用新型的發(fā)明構(gòu)思，而非對(duì)本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)的限定，凡利用此構(gòu)思對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行非實(shí)質(zhì)性的改動(dòng)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:包括腔體直通管，所述腔體直通管內(nèi)安裝有空心細(xì)鋼管，所述空心細(xì)鋼管內(nèi)設(shè)有光波導(dǎo)毛細(xì)管，所述腔體直通管的兩端分別安裝有入射窗和出射窗，所述入射窗與腔體直通管之間設(shè)有入射調(diào)節(jié)裝置，所述出射窗和腔體直通管之間設(shè)有出射調(diào)節(jié)裝置。2.如權(quán)利要求1所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的入射調(diào)節(jié)裝置包括入射二維平移臺(tái)一、入射二維平移臺(tái)二、入射觀察直通管、入射波紋管和三通管，所述入射二維平移臺(tái)一位于光波導(dǎo)毛細(xì)管的入口處，所述入射二維平移臺(tái)二與入射窗相鄰，所述入射觀察直通管與腔體直通管連接，所述空心細(xì)鋼管和光波導(dǎo)毛細(xì)管的端部位于入射觀察直通管內(nèi)部，所述入射波紋管的一端與入射觀察直通管連接，入射波紋管的另一端與三通管連接，所述入射窗位于三通管上，且三通管上設(shè)有接入端。3.如權(quán)利要求2所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的出射調(diào)節(jié)裝置包括出射二維平移臺(tái)一、出射二維平移臺(tái)二、出射觀察直通管、出射波紋管和直通管，所述出射二維平移臺(tái)一位于光波導(dǎo)毛細(xì)管的出口處，所述出射二維平移臺(tái)二與出射窗相鄰，所述出射觀察直通管與腔體直通管連接，所述空心細(xì)鋼管和光波導(dǎo)毛細(xì)管的端部位于出射觀察直通管內(nèi)部，所述出射波紋管的一端與出射觀察直通管連接，出射波紋管的另一端與直通管連接，所述出射窗位于直通管上。4.如權(quán)利要求1所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述空心細(xì)鋼管的兩端均設(shè)有細(xì)鋼管支架，所述細(xì)鋼管支架位于腔體直通管的內(nèi)部。5.如權(quán)利要求1所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的腔體直通管、入射調(diào)節(jié)裝置和入射窗之間均設(shè)有真空法蘭接口，所述的真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接;所述的腔體直通管、出射調(diào)節(jié)裝置和出射窗之間均設(shè)有真空法蘭接口，所述的真空法蘭接口之間采用真空卡箍密封并鏈接。6.如權(quán)利要求3所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的入射觀察直通管和出射觀察直通管均透明。7.如權(quán)利要求3所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的入射波紋管為入射可彎曲波紋管，所述的出射波紋管為出射可彎曲波紋管。8.如權(quán)利要求1所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的入射窗和出射窗結(jié)構(gòu)相同，均采用KF盲板結(jié)構(gòu)，所述盲板的圓心設(shè)挖孔，所述挖孔的位置通過(guò)透明窗片覆蓋密封。9.如權(quán)利要求4所述的真空光波導(dǎo)校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述的細(xì)鋼管支架包括內(nèi)圓環(huán)和外圓環(huán)，所述內(nèi)圓環(huán)咬住空心細(xì)鋼管，所述外圓環(huán)將空心細(xì)鋼管固定于腔體直通管的中心軸位置。
【文檔編號(hào)】H01S3/034GK205543665SQ201620125513
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年2月18日
【發(fā)明人】尉鵬飛, 郁慧珍, 俞軍, 廖志廣, 童瑞寰, 姜楊楊, 畢譽(yù)紅, 張麗英, 楊丁中, 董鳴, 董一鳴
【申請(qǐng)人】紹興文理學(xué)院