平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法，用于安裝平面電機(jī)所需的磁鐵，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置包括安裝基板、格柵、橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條，本發(fā)明提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置采用將格柵固定于安裝基板上的方式，同時(shí)起到限位及固定第一永磁鐵的作用，便于第一永磁鐵的安裝；采用橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條取代磨削工藝，使第一永磁鐵更為平整，提高了磁極本體上表面的裝配平面度；通過橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條的卡合，能夠在其相交處對(duì)第一永磁鐵進(jìn)行額外的安裝限位，提高了第一永磁鐵的安裝精度。
【專利說明】平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及磁浮平面電機(jī)制造領(lǐng)域，尤其涉及一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，平面電機(jī)成為半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)，其致力于研究更小的裝置而包含更多的功能及更低的價(jià)格。隨著科技的進(jìn)步，要求光刻機(jī)跑得快穩(wěn)準(zhǔn)，勢(shì)必要求工件臺(tái)質(zhì)量小、剛度高、干擾小，能夠在真空中精確定位硅片，動(dòng)磁鐵正好有這些優(yōu)點(diǎn)。首先出現(xiàn)的磁浮臺(tái)是在1997年，選用了動(dòng)磁鐵的方式，但是由于結(jié)構(gòu)控制等因素的影響使該磁浮臺(tái)行程受到限制，不過在變?yōu)閯?dòng)線圈結(jié)構(gòu)后克服了行程限制的影響。由于控制方式簡(jiǎn)單動(dòng)線圈得到了進(jìn)一步的發(fā)展，在耦合控制問題解決后有了相關(guān)產(chǎn)品，這便是磁浮軸承，通過其特性，使磁浮臺(tái)不會(huì)被潤(rùn)滑劑污染，沒有機(jī)械磨損，因此平面移動(dòng)時(shí)在不希望有機(jī)械接觸的高速情況下，建議采用磁懸浮系統(tǒng)的磁浮平面電機(jī)。
[0003]磁浮平面電機(jī)，由呈立方體形磁鐵構(gòu)成的永磁鐵陣列和集中式繞組線圈組成。在導(dǎo)體中承載的電流作用力可以通過洛倫茲法則進(jìn)行計(jì)算。電機(jī)的設(shè)計(jì)通常從標(biāo)準(zhǔn)的大小開始，考慮真空，磁性，機(jī)械的電和熱加載，力矩或力的需求。平面電機(jī)為磁軸承，磁軸承被應(yīng)用來支撐，磁軸承優(yōu)于機(jī)械軸承的地方在于無接觸，沒有機(jī)械摩損和低摩擦。力和力矩的需求取決于懸浮物件的質(zhì)量，懸浮質(zhì)量本身由相當(dāng)大的平面電機(jī)磁陣列模塊組成。
[0004]在磁浮平面電機(jī)的磁陣列模塊中，磁鐵的固定方式目前主要通過機(jī)械加緊式，機(jī)械加緊式固定精度較低，這些方式存在諸多問題:磁極之間存在縫隙不均勻，不能保證直線度，導(dǎo)致某個(gè)方向上周期性磁場(chǎng)不均勻產(chǎn)生高階次諧波；平面上相互垂直的兩個(gè)方向裝配正交性誤差較大，導(dǎo)致產(chǎn)生軸間耦合問題；磁鋼陣列工作面磁極高度不一，平面度差，并可能引起磁浮臺(tái)運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，變形較大，因此非常有必要尋求一種合理有效的磁浮臺(tái)工裝結(jié)構(gòu)，有效改善磁浮臺(tái)的裝配定位精度，從而提高電機(jī)的驅(qū)動(dòng)精度。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置一般采用兩根銅柱作為磁極裝配的定位裝置，采用鋁塊基座作為裝配時(shí)的磁極固定和防磁相吸作用，采用磁陣列保持架作為夾緊裝置固定磁陣列等待粘膠凝固，裝配完成后在陣列表層涂抹樹脂層并通過磨削工藝保證表面平整度。該方法存在幾個(gè)問題:(I)安裝基座上多個(gè)裝配孔與銅柱之間的公差難以統(tǒng)一配合，鋁制基座在裝配磁極時(shí)，無法精確保證裝配位置；(2)裝配夾具的裝配效率低下；(3)磨削工藝只能保證工裝裝置表面機(jī)械平面度，不能保證磁極本體上表面的裝配平面度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提供一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法，以控制和改善平面電機(jī)磁陣列的裝配定位精度，使磁鐵均勻、平整、高精度地粘附在安裝基板上。
[0007]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，用于安裝平面電機(jī)所需的磁鐵，包括安裝基板、格柵、橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條，所述安裝基板為非鐵磁材料制成并放置于一水平基準(zhǔn)面上，所述格柵固定于所述安裝基板上，所述格柵將所述安裝基板分割成大小相等、均勻分布的矩形區(qū)域，與所述矩形區(qū)域形狀相應(yīng)的第一永磁鐵通過膠水粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)的安裝基板上，所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條互相垂直并分別設(shè)置于所述安裝基板外側(cè)的水平基準(zhǔn)面上，所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條上分別設(shè)置有若干卡合處并可通過各卡合處相互卡合，所述每個(gè)卡合處分別對(duì)應(yīng)匹配所述格柵上各相鄰矩形區(qū)域間的間隙。
[0008]進(jìn)一步的，所述安裝基板上設(shè)有若干縱橫交錯(cuò)的流膠槽。
[0009]進(jìn)一步的，所述流膠槽的相交處均分布于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)。
[0010]可選的，所述流膠槽在每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)呈十字形交叉分布，所述相交處位于每個(gè)所述矩形區(qū)域的中心。
[0011]可選的，所述流膠槽在每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)呈井字形交叉分布，所述相交處分別靠近于每個(gè)所述矩形區(qū)域的四角。
[0012]進(jìn)一步的，所述流膠槽相對(duì)于所述安裝基板的深度為0-5mm，其深度優(yōu)選為3mm。
[0013]進(jìn)一步的，所述水平基準(zhǔn)面為鐵塊。
[0014]進(jìn)一步的，所述格柵包括若干橫向定位條陣列和若干縱向定位條陣列，所述若干橫向定位條陣列的上表面和若干縱向定位條陣列的下表面上均設(shè)有對(duì)應(yīng)的凹槽，使所述若干橫向定位條陣列與若干縱向定位條陣列通過所述凹槽卡合，所述若干橫向定位條陣列和若干縱向定位條陣列在所述凹槽處通過若干螺釘固定于所述安裝基板上。
[0015]進(jìn)一步的，所述若干橫向定位條陣列和若干縱向定位條陣列與所述安裝基板之間留有間隙。
[0016]進(jìn)一步的，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置還包括夾具裝置，所述夾具裝置用于置放形狀與格柵上各相鄰矩形區(qū)域的間隙相對(duì)應(yīng)的第二永磁鐵，并將所述第二永磁鐵置于所述各第一永磁鐵之間。
[0017]進(jìn)一步的，所述夾具裝置包括夾具、兩根橫向絲桿、兩根縱向絲桿、旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)和推桿，所述兩根橫向絲桿分別固定設(shè)置于所述安裝基板兩側(cè)的水平基準(zhǔn)面上，所述兩根縱向絲桿的兩端均分別設(shè)置于所述兩根橫向絲桿上，并沿所述兩根橫向絲桿滑動(dòng)，所述夾具、旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)和推桿組合設(shè)置于所述兩根縱向絲桿上，并沿所述兩根縱向絲桿滑動(dòng)，所述夾具用于夾持并運(yùn)送所述第二永磁鐵，所述旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)用于垂向調(diào)節(jié)所述夾具的位置，所述夾具通過所述推桿夾緊或松開所述第二永磁鐵。
[0018]本發(fā)明還提供一種上述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，包括:
[0019]步驟一:將所述安裝基板放置于所述基準(zhǔn)面上，接著將所述格柵固定于所述安裝基板上，再在所述安裝基板和第一永磁鐵相互連接的部分上涂膠水，將第一永磁鐵粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)的安裝基板上；
[0020]步驟二:安裝所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條，并將其依次平移，壓平各第一永磁鐵，壓平后靜置該裝置，待膠水凝固后，拆除所述格柵。
[0021]進(jìn)一步的，在步驟一中，所述第一永磁鐵全部放置完畢后，使用橡膠錘輕敲所述第一永磁鐵外部，多余的膠水通過所述流膠槽流出所述安裝基板。
[0022]進(jìn)一步的，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法還包括:
[0023]步驟三:固定所述橫向基準(zhǔn)條或縱向基準(zhǔn)條，對(duì)應(yīng)移動(dòng)所述縱向基準(zhǔn)條或橫向基準(zhǔn)條，限制所述夾具裝置沿橫向或縱向逐行或逐列在所述各第一永磁鐵之間放置第二永磁鐵；
[0024]步驟四:以所述安裝基板的中心為軸心在所述基準(zhǔn)面上90度旋轉(zhuǎn)所述安裝基板，重復(fù)步驟三，在所述各第一永磁鐵的之間放置第二永磁鐵，直至完成整個(gè)第二永磁鐵的裝配過程，最后卸除所述橫向基準(zhǔn)條、縱向基準(zhǔn)條和夾具裝置。
[0025]進(jìn)一步的，所述膠水為環(huán)氧樹脂膠。
[0026]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0027]本發(fā)明提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置相比于現(xiàn)有技術(shù)的區(qū)別在于:⑴采用將格柵固定于安裝基板上的方式，同時(shí)起到限位及固定第一永磁鐵的作用，便于第一永磁鐵的安裝；(2)采用橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條取代磨削工藝，使第一永磁鐵更為平整，提高了磁極本體上表面的裝配平面度；(3)通過橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條的卡合,能夠在其相交處對(duì)第一永磁鐵進(jìn)行額外的安裝限位，提高了第一永磁鐵的安裝精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明:
[0029]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中格柵的拆分示意圖；
[0031]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中格柵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中流膠槽在單個(gè)矩形區(qū)域內(nèi)的一種實(shí)施方案的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中流膠槽在單個(gè)矩形區(qū)域內(nèi)的另一種實(shí)施方案的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0034]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法流程圖。
[0035]在圖1至圖5中，
[0036]1:安裝基板；11:矩形區(qū)域；2:格柵；21:橫向定位條陣列；22:縱向定位條陣列；23:螺釘；3:橫向基準(zhǔn)條；4:縱向基準(zhǔn)條；5:基準(zhǔn)面；6:第一永磁鐵；7:流膠槽；8:夾具裝置；81:夾具；82:橫向絲桿；83:縱向絲桿；84:旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)；85:推桿。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0038]本發(fā)明的核心思想在于，提供一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置及其安裝方法，用于安裝平面電機(jī)所需的磁鐵，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置包括安裝基板、格柵、橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條，所述安裝基板為非鐵磁材料制成并放置于一水平基準(zhǔn)面上，所述格柵固定于所述安裝基板上，所述格柵將所述安裝基板分割成大小相等、均勻分布的矩形區(qū)域，與所述矩形區(qū)域形狀相應(yīng)的第一永磁鐵通過膠水粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)的安裝基板上，所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條互相垂直并分別設(shè)置于所述安裝基板外側(cè)的水平基準(zhǔn)面上，所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條上分別設(shè)置有若干卡合處并可通過各卡合處相互卡合，所述每個(gè)卡合處分別對(duì)應(yīng)匹配所述格柵上各相鄰矩形區(qū)域間的間隙，本發(fā)明提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置相比于現(xiàn)有技術(shù)的區(qū)別在于:(I)采用將格柵固定于安裝基板上的方式，同時(shí)起到限位及固定第一永磁鐵的作用，便于第一永磁鐵的安裝；(2)采用橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條取代磨削工藝，使第一永磁鐵更為平整，提高了磁極本體上表面的裝配平面度；(3)通過橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條的卡合，能夠在其相交處對(duì)第一永磁鐵進(jìn)行額外的安裝限位，提高了第一永磁鐵的安裝精度。
[0039]請(qǐng)參考圖1至圖6，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中格柵的拆分示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中格柵的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中流膠槽在單個(gè)矩形區(qū)域內(nèi)的一種實(shí)施方案的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中流膠槽在單個(gè)矩形區(qū)域內(nèi)的另一種實(shí)施方案的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法流程圖。
[0040]請(qǐng)重點(diǎn)參考圖1，如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，用于安裝平面電機(jī)所需的磁鐵，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置包括安裝基板1、格柵2、橫向基準(zhǔn)條3和縱向基準(zhǔn)條4，所述安裝基板I為非鐵磁材料制成(本實(shí)施例中為鋁板)并放置于一水平基準(zhǔn)面5上，所述格柵2固定于所述安裝基板I上，所述格柵2將所述安裝基板I分割成大小相等、均勻分布的矩形區(qū)域11 (本實(shí)施例中為正方形區(qū)域)，與所述矩形區(qū)域11形狀相應(yīng)的第一永磁鐵6 (本實(shí)施例中為正方形永磁鐵)通過膠水粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域11內(nèi)的安裝基板I上，所述橫向基準(zhǔn)條3和縱向基準(zhǔn)條4互相垂直并分別設(shè)置于所述安裝基板I外側(cè)的水平基準(zhǔn)面5上，所述橫向基準(zhǔn)條3和縱向基準(zhǔn)條4相互卡合，每個(gè)所述卡合處對(duì)應(yīng)匹配一個(gè)所述矩形區(qū)域11的相鄰兩邊。
[0041]本發(fā)明提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置相比于現(xiàn)有技術(shù)的區(qū)別在于:⑴采用將格柵2固定于安裝基板I上的方式，同時(shí)起到限位及固定第一永磁鐵6的作用，便于第一永磁鐵6的安裝；(2)采用橫向基準(zhǔn)條3和縱向基準(zhǔn)條4取代磨削工藝，使第一永磁鐵6更為平整，提高了磁極本體上表面的裝配平面度；(3)通過橫向基準(zhǔn)條3和縱向基準(zhǔn)條4的卡合，能夠在其相交處對(duì)第一永磁鐵6進(jìn)行額外的安裝限位，提高了第一永磁鐵6的安裝精度。
[0042]進(jìn)一步的，所述安裝基板I上設(shè)有若干縱橫交錯(cuò)的流膠槽7，所述流膠槽7的相交處均分布于每個(gè)所述矩形區(qū)域11內(nèi)，粘附第一永磁鐵6時(shí)多余的膠水能夠從該流膠槽7中流出，配上用于收集所述膠水的存儲(chǔ)槽，能夠?qū)⒛z水回收再次利用，節(jié)省了膠水的使用量。
[0043]請(qǐng)重點(diǎn)參考圖4，圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中流膠槽7在單個(gè)矩形區(qū)域內(nèi)的一種實(shí)施方案，所述流膠槽7在每個(gè)所述矩形區(qū)域11內(nèi)呈十字形交叉分布，所述相交處位于每個(gè)所述矩形區(qū)域11的中心。
[0044]請(qǐng)重點(diǎn)參考圖5，圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的平面電機(jī)磁陣列工裝裝置中流膠槽7在單個(gè)矩形區(qū)域內(nèi)的另一種實(shí)施方案，所述流膠槽7在每個(gè)所述矩形區(qū)域11內(nèi)呈井字形交叉分布，所述相交處分別靠近于每個(gè)所述矩形區(qū)域11的四角。
[0045]使用的流膠槽7越多，回收膠水效果越好，但第一永磁鐵6的粘附效果越差，上述兩個(gè)方案在實(shí)際效果上來說比較平衡，因此流膠槽7按上述兩個(gè)方案布置效果較為理想。
[0046]進(jìn)一步的，所述流膠槽7相對(duì)于所述安裝基板I的深度為0_5mm，其深度優(yōu)選為3mm，3mm的深度使膠水既能夠滲入到流膠槽7中，又不會(huì)因?yàn)樘疃绊懙谝挥来盆F6的粘附安裝效果。
[0047]進(jìn)一步的，所述水平基準(zhǔn)面5為鐵塊，鐵塊能夠?qū)Π惭b基板I上的第一永磁鐵6產(chǎn)生引力，使其不會(huì)輕易產(chǎn)生移動(dòng)而影響第一永磁鐵6安裝所需的時(shí)間和效果。
[0048]請(qǐng)重點(diǎn)參考圖2和圖3，如圖2和圖3所示，所述格柵2包括若干橫向定位條陣列21和若干縱向定位條陣列22,所述若干橫向定位條陣列21的上表面和若干縱向定位條陣列22的下表面上均設(shè)有對(duì)應(yīng)的凹槽，使所述若干橫向定位條陣列21與若干縱向定位條陣列22通過所述凹槽卡合，所述若干橫向定位條陣列21和若干縱向定位條陣列22在所述凹槽處通過若干螺釘23固定于所述安裝基板I上。
[0049]進(jìn)一步的，所述若干橫向定位條陣列21和若干縱向定位條陣列22與所述安裝基板I之間留有間隙。
[0050]通過上述格柵2的結(jié)構(gòu)使得螺釘23能夠調(diào)整安裝基板I與橫向定位條陣列21及縱向定位條陣列22之間的距離，使其不會(huì)相互碰觸，從而避免了因?yàn)橄嗷ヅ鲇|而產(chǎn)生的損壞安裝基板I的情況，也避免了格柵2會(huì)阻止膠水沿流膠槽7流出的情況。
[0051]進(jìn)一步的，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置還包括夾具裝置8，所述夾具裝置8用于置放形狀與格柵上各相鄰矩形區(qū)域11的間隙相對(duì)應(yīng)的第二永磁鐵(本實(shí)施例中為長(zhǎng)條形磁鐵)，并將將所述第二永磁鐵置于所述各第一永磁鐵6之間。
[0052]進(jìn)一步的，所述夾具裝置包括夾具81、兩根橫向絲桿82、兩根縱向絲桿83、旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)84和推桿85，所述兩根橫向絲桿82分別固定設(shè)置于所述安裝基板I兩側(cè)的水平基準(zhǔn)面5上，所述兩根縱向絲桿83的兩端均分別設(shè)置于所述兩根橫向絲桿82上，并沿所述兩根橫向絲桿82滑動(dòng)，所述夾具81、旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)84和推桿85組合設(shè)置于所述兩根縱向絲桿83上，并沿所述兩根縱向絲桿83滑動(dòng)，所述夾具81用于夾持并運(yùn)送所述第二永磁鐵，所述旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)84用于垂向調(diào)節(jié)所述夾具81的位置，所述夾具81通過所述推桿85夾緊或松開所述第二永磁鐵。
[0053]通過上述夾具裝置8能夠很容易地實(shí)現(xiàn)第二永磁鐵的安裝，加快了第二永磁鐵安裝的速度，也增加了第二永磁鐵的安裝精度。
[0054]請(qǐng)重點(diǎn)參考圖6，如圖6所示，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種上述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，并請(qǐng)結(jié)合圖1至圖5，所述安裝方法包括:
[0055]步驟一:將所述安裝基板I放置于所述基準(zhǔn)面5上，接著將所述格柵2固定于所述安裝基板I上，再在所述安裝基板I和第一永磁鐵6相互連接的部分上涂膠水，將第一永磁鐵6粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域11內(nèi)的安裝基板I上；
[0056]步驟二:安裝所述橫向基準(zhǔn)條3和縱向基準(zhǔn)條4，并將其依次平移，壓平各第一永磁鐵6，壓平后靜置該裝置，待膠水凝固后，拆除所述格柵2。
[0057]進(jìn)一步的，在步驟一中，所述第一永磁鐵6全部放置完畢后，使用橡膠錘或其他工具輕敲所述第一永磁鐵6外部，多余的膠水通過所述流膠槽7流出所述安裝基板I。
[0058]進(jìn)一步的，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法還包括:
[0059]步驟三:固定所述橫向基準(zhǔn)條3或縱向基準(zhǔn)條4，對(duì)應(yīng)移動(dòng)所述縱向基準(zhǔn)條4或橫向基準(zhǔn)條3，限制所述夾具裝置8沿橫向或縱向逐行或逐列在所述各第一永磁鐵6之間放置第二永磁鐵；
[0060]步驟四:以所述安裝基板I的中心為軸心在所述基準(zhǔn)面5上90度旋轉(zhuǎn)所述安裝基板I，重復(fù)步驟三，在所述各第一永磁鐵6之間放置第二永磁鐵，直至完成整個(gè)第二永磁鐵的裝配過程，最后卸除所述橫向基準(zhǔn)條3、縱向基準(zhǔn)條4和夾具裝置8。
[0061]進(jìn)一步的，所述膠水為環(huán)氧樹脂膠，它的工作特點(diǎn)是具有較長(zhǎng)的操作時(shí)間和固化時(shí)間，同時(shí)固化后的粘結(jié)強(qiáng)度足夠抵消磁體的互斥力，使第一永磁鐵6的安裝更為牢固，且精度更高。
[0062]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變形而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，用于安裝平面電機(jī)所需的磁鐵，其特征在于，包括安裝基板、格柵、橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條，所述安裝基板為非鐵磁材料制成并放置于一水平基準(zhǔn)面上，所述格柵固定于所述安裝基板上，所述格柵將所述安裝基板分割成大小相等、均勻分布的矩形區(qū)域，與所述矩形區(qū)域形狀相應(yīng)的第一永磁鐵通過膠水粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)的安裝基板上，所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條互相垂直并分別設(shè)置于所述安裝基板外側(cè)的水平基準(zhǔn)面上，所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條上分別設(shè)置有若干卡合處并可通過各卡合處相互卡合，所述每個(gè)卡合處分別對(duì)應(yīng)匹配所述格柵上各相鄰矩形區(qū)域間的間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述安裝基板上設(shè)有若干縱橫交錯(cuò)的流膠槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述流膠槽的相交處均分布于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述流膠槽在每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)呈十字形交叉分布，所述相交處位于每個(gè)所述矩形區(qū)域的中心。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述流膠槽在每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)呈井字形交叉分布，所述相交處分別靠近于每個(gè)所述矩形區(qū)域的四角。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述流膠槽相對(duì)于所述安裝基板的 深度為0-5_。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述流膠槽相對(duì)于所述安裝基板的深度為3mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述水平基準(zhǔn)面為鐵塊。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述格柵包括若干橫向定位條陣列和若干縱向定位條陣列，所述若干橫向定位條陣列的上表面和若干縱向定位條陣列的下表面上均設(shè)有對(duì)應(yīng)的凹槽，使所述若干橫向定位條陣列與若干縱向定位條陣列通過所述凹槽卡合，所述若干橫向定位條陣列和若干縱向定位條陣列在所述凹槽處通過若干螺釘固定于所述安裝基板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述若干橫向定位條陣列和若干縱向定位條陣列與所述安裝基板之間留有間隙。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，還包括夾具裝置，所述夾具裝置用于置放形狀與格柵上各相鄰矩形區(qū)域的間隙相對(duì)應(yīng)的第二永磁鐵，并將所述第二永磁鐵置于所述各第一永磁鐵之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置，其特征在于，所述夾具裝置包括夾具、兩根橫向絲桿、兩根縱向絲桿、旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)和推桿，所述兩根橫向絲桿分別固定設(shè)置于所述安裝基板兩側(cè)的水平基準(zhǔn)面上，所述兩根縱向絲桿的兩端均分別設(shè)置于所述兩根橫向絲桿上，并沿所述兩根橫向絲桿滑動(dòng)，所述夾具、旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)和推桿組合設(shè)置于所述兩根縱向絲桿上，并沿所述兩根縱向絲桿滑動(dòng)，所述夾具用于夾持并運(yùn)送所述第二永磁鐵，所述旋轉(zhuǎn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)用于垂向調(diào)節(jié)所述夾具的位置，所述夾具通過所述推桿夾緊或松開所述第二永磁鐵。
13.—種如權(quán)利要求1中所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，其特征在于，包括: 步驟一:將所述安裝基板放置于所述基準(zhǔn)面上，接著將所述格柵固定于所述安裝基板上，再在所述安裝基板和第一永磁鐵相互連接的部分上涂膠水，將第一永磁鐵粘附于每個(gè)所述矩形區(qū)域內(nèi)的安裝基板上； 步驟二:安裝所述橫向基準(zhǔn)條和縱向基準(zhǔn)條，并將其依次平移，壓平各第一永磁鐵，壓平后靜置該裝置，待膠水凝固后，拆除所述格柵。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，其特征在于，所述安裝基板上設(shè)有若干縱橫交錯(cuò)的流膠槽。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，其特征在于，在步驟一中，所述第一永磁鐵全部放置完畢后，使用橡膠錘輕敲所述第一永磁鐵外部，多余的膠水通過所述流膠槽流出所述安裝基板。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，其特征在于，所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置還包括夾具裝置，所述夾具裝置用于置放形狀與格柵上各相鄰矩形區(qū)域的間隙相對(duì)應(yīng)的第二永磁鐵，并將所述第二永磁鐵置于所述各第一永磁鐵之間。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，其特征在于，還包括: 步驟三:固定所述橫向基準(zhǔn)條或縱向基準(zhǔn)條，對(duì)應(yīng)移動(dòng)所述縱向基準(zhǔn)條或橫向基準(zhǔn)條，限制所述夾具裝置沿橫向或縱向逐行或逐列在所述各第一永磁鐵之間放置第二永磁鐵；步驟四:以所述安裝基板的中心為軸心在所述基準(zhǔn)面上90度旋轉(zhuǎn)所述安裝基板，重復(fù)步驟三，在所述各第一永磁鐵之間放置第二永磁鐵，直至完成整個(gè)第二永磁鐵的裝配過程，最后卸除所述橫向基準(zhǔn)條、縱向基準(zhǔn)條和夾具裝置。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述平面電機(jī)磁陣列工裝裝置的安裝方法，其特征在于，所述膠水為環(huán)氧樹脂膠。
【文檔編號(hào)】H02K15/00GK103904833SQ201210586838
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月28日
【發(fā)明者】吳立偉, 陳軍, 楊曉燕, 郭琳 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司