有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法，特別涉及具有層疊了無機(jī)膜和有機(jī)膜的阻擋膜的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在具有有機(jī)電致發(fā)光(electroluminescence，以下也稱為“EL”)元件的有機(jī)EL顯示裝置中提案有，為了抑制有機(jī)EL元件的劣化，以覆蓋有機(jī)EL元件的方式，或者在使用塑料基板的情況下，以覆蓋該塑料基板的基板表面的方式，設(shè)置層疊有無機(jī)膜和有機(jī)膜的阻擋膜，抑制水分和氧的混入的構(gòu)造。
[0003]例如，在專利文獻(xiàn)I中，公開了一種有機(jī)EL顯示元件，該有機(jī)EL顯示元件構(gòu)成為:利用在構(gòu)成上述有機(jī)EL元件的相對電極(陰極)上通過依次真空蒸鍍S1J莫和Al膜而設(shè)置的第一阻擋層、通過在該第一阻擋層上真空蒸鍍聚乙二醇丙烯酸酯(Poly ethyleneglycol acrylate)后使其固化而設(shè)置的樹脂層、和通過在該樹脂層上依次真空蒸鍍Al膜和3102膜而設(shè)置的第二阻擋層，構(gòu)成與上述阻擋膜相當(dāng)?shù)拿芊鈱印?br>[0004]此外，在專利文獻(xiàn)2中，公開了在構(gòu)成上述有機(jī)EL元件的陰極膜上，聚合物材料層和無機(jī)材料薄膜的疊層膜作為上述阻擋膜設(shè)置的電場發(fā)光元件。
[0005]此外，在專利文獻(xiàn)3中，公開了在與上述有機(jī)EL元件相當(dāng)?shù)脑可辖惶娴貙盈B有機(jī)層和無機(jī)層而成的阻擋層作為上述阻擋膜設(shè)置的有機(jī)電場發(fā)光元件。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-307873號公報
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2002-252080號公報
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開2003-17244號公報
[0011]專利文獻(xiàn)4:日本特開2003-282239號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明要解決的課題
[0013]但是，構(gòu)成阻擋膜的無機(jī)膜和有機(jī)膜相互的緊貼性不高，因此在阻擋膜中，可能在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面發(fā)生剝離。如果這樣，則水分或氧從無機(jī)膜與有機(jī)膜剝離的分界面侵入，導(dǎo)致有機(jī)EL元件劣化。此外，在使用具有彎曲性的塑料基板(膜基板)作為基底基板(base substrate)的有機(jī)EL顯示裝置中，由于該基板的彎曲導(dǎo)致在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面產(chǎn)生彎曲應(yīng)力，因此容易在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面發(fā)生剝離。而且，在無機(jī)膜和有機(jī)膜中，熱膨脹系數(shù)存在差異，因此由于溫度變化導(dǎo)致在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面產(chǎn)生熱應(yīng)力，導(dǎo)致容易在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面發(fā)生剝離。
[0014]于是，在上述專利文獻(xiàn)4中，提案有一種有機(jī)EL顯不面板，在該有機(jī)EL顯不面板中，通過將第一無機(jī)阻擋層、點(diǎn)狀的高分子化合物層的第一組、中間的第二無機(jī)阻擋層、點(diǎn)狀的高分子化合物層的第二組、中間的第三無機(jī)阻擋層、點(diǎn)狀的高分子化合物層的第三組和位于最靠表面的位置的第四無機(jī)阻擋層在樹脂基板上依次層疊，包合(clathrate)無機(jī)阻擋層作為上述阻擋膜設(shè)置。
[0015]此處，上述專利文獻(xiàn)4中公開的有機(jī)EL顯示面板中，由于高分子化合物層的有機(jī)膜被圖案形成為島狀，因此夾著有機(jī)膜的一對無機(jī)膜彼此接觸，由此一定程度上使得無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面處的剝離難以發(fā)生，但如上所述，在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面產(chǎn)生熱應(yīng)力、彎曲應(yīng)力時，該應(yīng)力分別施加于相互獨(dú)立的多個點(diǎn)狀(島狀)的有機(jī)膜的圖案，難以分散和緩和該應(yīng)力，可能在無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面發(fā)生剝離，因此存在改善的余地。
[0016]本發(fā)明鑒于上述問題而完成的，其目的在于，抑制在構(gòu)成阻擋膜的無機(jī)膜和有機(jī)膜的分界面產(chǎn)生的應(yīng)力所導(dǎo)致的無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面處的剝離。
[0017]用于解決課題的技術(shù)方案
[0018]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明依次層疊第一無機(jī)膜、設(shè)置有多個第一貫通孔的第一有機(jī)膜、第二無機(jī)膜、設(shè)置有多個第二貫通孔的第二有機(jī)膜和第三無機(jī)膜，來構(gòu)成阻擋膜。
[0019]具體來說，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置包括:基底基板；設(shè)置于上述基底基板的有機(jī)電致發(fā)光元件；和抑制上述有機(jī)電致發(fā)光元件的劣化的阻擋膜，上述阻擋膜具有:從上述基底基板側(cè)起依次設(shè)置的第一無機(jī)膜、第二無機(jī)膜和第三無機(jī)膜；設(shè)置在該第一無機(jī)膜與第二無機(jī)膜之間的第一有機(jī)膜；和設(shè)置在該第二無機(jī)膜與第三無機(jī)膜之間的第二有機(jī)膜，在上述第一有機(jī)膜設(shè)置有使上述第一無機(jī)膜和第二無機(jī)膜相互接觸的多個第一貫通孔，在上述第二有機(jī)膜設(shè)置有使上述第二無機(jī)膜和第三無機(jī)膜相互接觸的多個第二貫通孔。
[0020]上述第一貫通孔也可以設(shè)置為與上述第二貫通孔不重疊。
[0021]上述第一貫通孔和第二貫通孔也可以分別設(shè)置為線狀。
[0022]上述第一貫通孔和第二貫通孔也可以分別設(shè)置為點(diǎn)狀。
[0023]另外，分別點(diǎn)狀地設(shè)置有第一貫通孔和第二貫通孔的第一有機(jī)膜和第二有機(jī)膜，是在上述專利文獻(xiàn)4中公開的點(diǎn)狀的高分子化合物層中，使配置有高分子化合物層的區(qū)域和沒有配置高分子化合物層的區(qū)域正好反轉(zhuǎn)的構(gòu)造。
[0024]上述阻擋膜也可以是覆蓋上述有機(jī)電致發(fā)光元件的密封膜。
[0025]上述阻擋膜也可以是在上述基底基板的上述有機(jī)電致發(fā)光元件側(cè)的表面設(shè)置的基底涂層(base coat)膜。
[0026]上述阻擋膜base coat可以是在上述基底基板的與上述有機(jī)電致發(fā)光元件相反的一側(cè)的表面設(shè)置的保護(hù)膜。
[0027]此外，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置包括:基底基板；在上述基底基板設(shè)置的有機(jī)電致發(fā)光元件；和抑制上述有機(jī)電致發(fā)光元件的劣化的阻擋膜，上述阻擋膜具有:從上述基底基板側(cè)起依次設(shè)置的第I?第η無機(jī)膜；和在該相鄰的無機(jī)膜彼此之間從上述基底基板側(cè)起依次分別設(shè)置的第I?第(η-1)有機(jī)膜，其中，η是3以上的自然數(shù)，在上述第I?第(η-1)有機(jī)膜中，分別設(shè)置有使與該有機(jī)膜相鄰的無機(jī)膜彼此相互接觸的多個貫通孔，上述第I?第(η-1)有機(jī)膜的至少一層，與在不同于該有機(jī)膜的其它有機(jī)膜的至少一層設(shè)置的各貫通孔在俯視時相互重疊。
[0028]此外，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法包括:在基底基板形成有機(jī)電致發(fā)光元件的EL元件形成工序；和形成抑制上述有機(jī)電致發(fā)光元件的劣化的阻擋膜的阻擋膜形成工序，在上述阻擋膜形成工序中，依次形成第一無機(jī)膜、在厚度方向上貫通設(shè)置有多個第一貫通孔的第一有機(jī)膜、第二無機(jī)膜、在厚度方向上貫通設(shè)置有多個第二貫通孔的第二有機(jī)膜、和第三無機(jī)膜。
[0029]在上述阻擋膜形成工序中，也可以以使得上述第一貫通孔和第二貫通孔相互不重疊的方式，形成上述第一有機(jī)膜和第二有機(jī)膜。
[0030]在上述阻擋膜形成工序中，也可以通過真空成膜法形成上述第一有機(jī)膜和第二有機(jī)膜。
[0031]在上述阻擋膜形成工序中，也可以通過印刷法或光刻法形成上述第一有機(jī)膜和第二有機(jī)膜。
[0032]本發(fā)明也可以為如下方式:上述阻擋膜形成工序在上述EL元件形成工序之后進(jìn)行，在上述阻擋膜形成工序中，作為上述阻擋膜，形成覆蓋上述有機(jī)電致發(fā)光元件的密封膜。
[0033]本發(fā)明也可以為如下方式:上述阻擋膜形成工序在上述EL元件形成工序之前進(jìn)行，在上述阻擋膜形成工序中，作為上述阻擋膜，形成覆蓋上述基底基板的上述有機(jī)電致發(fā)光元件側(cè)的表面的基底涂層膜。
[0034]本發(fā)明也可以為如下方式:上述阻擋膜形成工序在上述EL元件形成工序之前進(jìn)行，在上述阻擋膜形成工序中，作為上述阻擋膜，形成覆蓋上述基底基板的與上述有機(jī)電致發(fā)光元件相反的一側(cè)的表面的保護(hù)膜。
[0035]發(fā)明效果
[0036]根據(jù)本發(fā)明，由于依次層疊第一無機(jī)膜、設(shè)置有多個第一貫通孔的第一有機(jī)膜、第二無機(jī)膜、設(shè)置有多個第二貫通孔的第二有機(jī)膜、和第三無機(jī)膜來構(gòu)成阻擋膜，因此能夠抑制在構(gòu)成阻擋膜的無機(jī)膜和有機(jī)膜的分界面處產(chǎn)生的應(yīng)力所引起的無機(jī)膜與有機(jī)膜的分界面處的剝離。
【附圖說明】
[0037]圖1是實(shí)施方式I的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
[0038]圖2是表示實(shí)施方式I的有機(jī)EL顯示裝置的像素構(gòu)造(也稱為“像素結(jié)構(gòu)”)的俯視圖。
[0039]圖3是構(gòu)成實(shí)施方式I的有機(jī)EL顯示裝置的有機(jī)EL元件的等效電路圖。
[0040]圖4是表示構(gòu)成實(shí)施方式I的有機(jī)EL顯示裝置的阻擋膜的貫通孔的構(gòu)造的俯視圖(即，平面圖)。
[0041]圖5是沿圖4中的V-V線的阻擋膜的截面圖。
[0042]圖6是表示實(shí)施方式I的阻擋膜的變形例I的貫通孔的構(gòu)造的俯視圖。
[0043]圖7是表示實(shí)施方式I的阻擋膜的變形例2的貫通孔的構(gòu)造的俯視圖。
[0044]圖8是表示實(shí)施方式I的阻擋膜的變形例3的貫通孔的構(gòu)造的俯視圖。
[0045]圖9是表示實(shí)施方式I的阻擋膜的變形例4的貫通孔的構(gòu)造的俯視圖。
[0046]圖10是表示實(shí)施方式I的阻擋膜的變形例5的截面圖。
[0047]圖11是實(shí)施方式2的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
[0048]圖12是構(gòu)成實(shí)施方式2的有機(jī)EL顯示裝置的阻擋膜的截面圖。
[0049]圖13是實(shí)