靜電消除器及靜電消除頭的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及消除靜電消除對象上的靜電的靜電消除器和靜電消除頭。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，在制造半導(dǎo)體器件等的凈化室中會用到消除空氣中的靜電或防止待制造工件帶電的靜電消除器。在JP2007-311229A中所描述的靜電消除器設(shè)置有主單元和百葉窗。在主單元中容納有放電電極和風(fēng)扇。風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)使從放電電極產(chǎn)生的離子通過百葉窗被送出到外部。
[0003]百葉窗包括框架內(nèi)的網(wǎng)格狀翼片。翼片的離風(fēng)扇的徑向中心側(cè)越近的部分沿風(fēng)扇的軸向形成的厚度越大。被風(fēng)扇排出的離子流受翼片的大厚度部分控制而沿平直方向行進。于是，提高了離子流的平直度，從而在范圍更寬的區(qū)域內(nèi)提供靜電消除效果。
[0004]由靜電消除器實現(xiàn)的靜電消除效果隨靜電消除對象的周圍環(huán)境而變化。因此，JP2007-311229A中的靜電消除器的靜電消除效果可能因季節(jié)而變得不充分。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種靜電消除器和一種靜電消除頭，該靜電消除器和該靜電消除頭能夠不考慮周圍環(huán)境而充分地消除靜電。
[0006](I)根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的一種靜電消除器是用于消除對象上的靜電的靜電消除器，所述靜電消除器包括:濕潤空氣產(chǎn)生部分，其使空氣濕潤以產(chǎn)生濕潤空氣；保持體，其具有允許由所述濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣流出的流出口 ；一個或多個靜電消除電極，其保持在所述保持體中；另一電極，其保持在所述保持體中；以及供電器件，其將電壓施加在所述一個或多個靜電消除電極和所述另一電極之間以產(chǎn)生電暈放電。所述一個或多個靜電消除電極在所述保持體中設(shè)置成，使得被允許從所述流出口流出的濕潤空氣將通過電暈放電產(chǎn)生的離子送出。
[0007]在這種靜電消除器中，利用濕潤空氣產(chǎn)生部分的空氣濕潤作用來產(chǎn)生濕潤空氣。濕潤空氣被允許從保持體的流出口流出。此外，一個或多個靜電消除電極和另一電極保持在保持體中。供電器件將用于產(chǎn)生電暈放電的電壓施加在一個或多個靜電消除電極和另一電極之間。
[0008]這里，一個或多個靜電消除電極在保持體中設(shè)置成使得濕潤空氣將通過電暈放電產(chǎn)生的離子送出。根據(jù)這種構(gòu)造，通過向?qū)ο蠊┙o濕潤空氣來消除對象上的靜電，并且通過向?qū)ο蠊┙o離子來進一步消除對象上的靜電。此外，與由低濕度空氣送出離子的情況相比提高了靜電消除效果。此外，即使在低濕度環(huán)境下，也可以在相當(dāng)程度上獲得靜電消除效果。因此，這樣能夠不考慮周圍環(huán)境而實現(xiàn)靜電的充分消除。
[0009](2)所述靜電消除器還可以包括溫度調(diào)節(jié)部分，所述溫度調(diào)節(jié)部分調(diào)節(jié)空氣的溫度，并且所述濕潤空氣產(chǎn)生部分可以使已經(jīng)被所述溫度調(diào)節(jié)部分調(diào)節(jié)了溫度的空氣濕潤。
[0010]在這種情況下，由于空氣的溫度得到了調(diào)節(jié)，所以可以增加空氣能夠從濕潤空氣產(chǎn)生部分獲得的濕氣量。因此，可以進一步提高靜電消除效率。
[0011](3)所述靜電消除器還可以包括第一控制器，所述第一控制器控制所述溫度調(diào)節(jié)部分，使得從所述流出口流出的濕潤空氣的絕對濕度小于或等于所述對象周圍空氣的飽和蒸汽量。
[0012]在這種情況下，供給到對象的濕潤空氣的絕對濕度小于或等于對象周圍空氣的飽和蒸汽量。因此，可以防止在對象上凝結(jié)。
[0013](4)所述靜電消除器還可以包括:溫度測量部分，其測量由所述濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣的溫度；以及外部溫度獲取部分，其獲取外部空氣的溫度，其中，所述第一控制器可以控制所述溫度調(diào)節(jié)部分，使得由所述溫度測量部分測得的濕潤空氣溫度低于或等于由所述外部溫度獲取部分獲得的外部空氣溫度。
[0014]在這種情況下，基于由溫度測量部分測得的濕潤空氣溫度和由外部溫度獲取部分獲得的外部空氣溫度，可以容易地防止在對象上凝結(jié)。此外，根據(jù)這種構(gòu)造，不需要直接測量靜電消除器的內(nèi)部和流出口處的相對濕度，因此可以簡化靜電消除器的構(gòu)造。
[0015](5)所述靜電消除器還可以包括:溫度測量部分，其測量由所述濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣的溫度；外部溫度獲取部分，其獲取外部空氣的溫度；輸入部分，其輸入目標相對濕度；以及第二控制器，其基于由所述溫度測量部分測得的濕潤空氣溫度來估計濕潤空氣的絕對濕度，并且控制所述溫度調(diào)節(jié)部分，使得由所述外部溫度獲取部分獲得的外部空氣溫度下的基于所述絕對濕度計算出的相對濕度變?yōu)樗瞿繕讼鄬穸取?br>[0016]在這種情況下，基于由溫度測量部分測得的濕潤空氣溫度和由外部溫度獲取部分獲得的外部空氣溫度，可以方便濕度控制。此外，根據(jù)這種構(gòu)造，不需要直接測量靜電消除器的內(nèi)部和流出口處的絕對濕度和相對濕度，因此可以簡化靜電消除器的構(gòu)造。
[0017](6)所述另一電極可以包括設(shè)置為彼此相對的第一對置電極和第二對置電極，所述一個或多個靜電消除電極可以設(shè)置在所述第一對置電極和第二對置電極之間，并且所述流出口可以包括所述第一對置電極和所述一個或多個靜電消除電極之間的允許濕潤空氣流出的第一流出口以及所述第二對置電極和所述一個或多個靜電消除電極之間的允許濕潤空氣流出的第二流出口。
[0018]在這種情況下，被允許從第一流出口流出的濕潤空氣將在第一對置電極和一個或多個靜電消除電極之間產(chǎn)生的離子送出。在這種情況下，被允許從第二流出口流出的濕潤空氣將在第二對置電極和一個或多個靜電消除電極之間產(chǎn)生的離子送出。根據(jù)這種構(gòu)造，在每一個靜電消除電極的兩側(cè)產(chǎn)生的離子可以被濕潤空氣有效地送出。因此，可以有效地消除對象上的靜電。
[0019](7)所述一個或多個靜電消除電極可以設(shè)置成位于被允許從所述流出口流出的濕潤空氣中。
[0020]在這種情況下，在每一個靜電消除電極周圍產(chǎn)生的離子可以被濕潤空氣有效地送出。這樣便于對象上的靜電的有效消除。
[0021](8)所述另一電極可以形成為環(huán)狀地圍繞所述靜電消除電極中每一個的周圍，并且所述流出口可以允許濕潤空氣流出到所述靜電消除電極中的每一個和所述另一電極之間的環(huán)形區(qū)域。
[0022]在這種情況下，在每一個靜電消除電極周圍產(chǎn)生的離子可以被濕潤空氣有效地送出。這樣便于對象上的靜電的有效消除。
[0023](9)所述保持體可以包括殼體，所述殼體具有內(nèi)部空間、流入口和所述流出口并且容納所述一個或多個靜電消除電極的至少一部分，并且所述靜電消除器還可以包括供給管，所述供給管將由所述濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣引導(dǎo)至所述殼體的所述流入□。
[0024]在這種情況下，供給管將由濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣引導(dǎo)至殼體。于是，可以將殼體與濕潤空氣產(chǎn)生部分分離。這樣便于殼體中的一個或多個靜電消除電極在對象附近的設(shè)置。因此，可以提高靜電消除效率。
[0025](10)所述殼體可以包括第一殼體和第二殼體，所述一個或多個靜電消除電極可以包括保持在所述第一殼體中的第一數(shù)目的第一靜電消除電極以及保持在所述第二殼體中的第二數(shù)目的第二靜電消除電極，所述第一數(shù)目可以大于所述第二數(shù)目，所述另一電極可以包括保持在所述第一殼體中的第一電極以及保持在所述第二殼體中的第二電極，所述供電器件可以包括將電壓施加在所述第一靜電消除電極和所述第一電極之間的第一供電器件以及將電壓施加在所述第二靜電消除電極和所述第二電極之間的第二供電器件，所述第一殼體、所述第一靜電消除電極、所述第一電極和所述第一供電器件可以組成第一靜電消除頭，所述第二殼體、所述第二靜電消除電極和所述第二電極可以組成第二靜電消除頭，并且所述第一靜電消除頭和所述第二靜電消除頭可以選擇性地與所述濕潤空氣產(chǎn)生部分連接和分尚。
[0026]在這種情況下，可以根據(jù)對象的用途和形狀來選擇與濕潤空氣產(chǎn)生部分連接的靜電消除頭。第二靜電消除頭的第二靜電消除電極的數(shù)目小于第一靜電消除頭的第一靜電消除電極的數(shù)目。此外，第二靜電消除頭可以不包括第二供電器件，從而便于比第一靜電消除頭更多地縮減第二靜電消除頭的尺寸。因此，第一靜電消除頭的使用可以方便在較大范圍內(nèi)或?qū)^大尺寸的對象進行靜電消除，而第二靜電消除頭的使用可以方便在較小范圍內(nèi)或?qū)^小尺寸的對象進行靜電消除。
[0027](11)所述保持體可以包括殼體，所述殼體具有所述流出口并且容納所述一個或多個靜電消除電極的至少一部分和所述濕潤空氣產(chǎn)生部分。
[0028]在這種情況下，流出口、一個或多個靜電消除電極的至少一部分和濕潤空氣產(chǎn)生部分設(shè)置為一體。因此，可以簡化靜電消除器的構(gòu)造并且使靜電消除器緊湊、重量輕。
[0029](12)所述另一電極可以設(shè)置為與所述靜電消除電極中的每一個垂直并與位于所述靜電消除電極中每一個的末端的平面相交。
[0030]在這種情況下，提高了電暈放電效率。因此，可以進一步提高靜電消除效率。
[0031](13)所述的靜電消除器還可以包括矯正片，所述矯正片保持在所述保持體中，并且所述矯正片可以設(shè)置為沿著固定方向矯正被允許從所述流出口流出的濕潤空氣。
[0032]在這種情況下，抑制了從流出口送出的濕潤空氣在流出口周圍的空氣中擴散。從而，濕潤空氣被送出到遠距離。因此，可以進一步提高靜電消除效率。
[0033](14)所述一個或多個靜電消除電極可以設(shè)置為沿著濕潤空氣的流出方向比所述矯正片的末端更突出。
[0034]在這種情況下，抑制了矯正片因產(chǎn)生的離子而帶電。因此，可以進一步提高靜電消除效率。
[0035](15)根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的一種靜電消除頭是這樣的靜電消除頭:其能夠通過供給管與用于使空氣濕潤以產(chǎn)生濕潤空氣的濕潤空氣產(chǎn)生部分連接并且消除對象上的靜電。所述靜電消除頭包括:保持體，其能夠通過所述供給管與所述濕潤空氣產(chǎn)生部分連接并且具有允許由所述濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣流出的流出口 ；一個或多個靜電消除電極，其能夠施加用于產(chǎn)生電暈放電的電壓并且保持在所述保持體中；以及另一電極，其能夠施加用于產(chǎn)生電暈放電的電壓并且保持在所述保持體中。所述一個或多個靜電消除電極在所述保持體中設(shè)置成，使得被允許從所述流出口流出的濕潤空氣將通過電暈放電產(chǎn)生的離子送出。
[0036]在這種靜電消除頭中，由濕潤空氣產(chǎn)生部分產(chǎn)生的濕潤空氣通過供給管供給到保持體并且被允許從保持體的流出口流出。此外，一個或多個靜電消除電極和另一電極保持在保持體中。供電器件將用于產(chǎn)生電暈放電的電壓施加在一個或多個靜電消除電極和另一電極之間。
[0037]這里，一個或多個靜電消除電極在保持體中設(shè)置成使得濕潤空氣將通過電暈放電產(chǎn)生的離子送出。根據(jù)這種構(gòu)造，通過向?qū)ο蠊┙o濕潤空氣來消除對象上的靜電，并且通過向?qū)ο蠊┙o離子來進一步消除對象上的靜電。此外，與由低濕度空氣送出離子的情況相比提高了靜電消除效果。此外，即使在低濕度環(huán)境下，也可以在相當(dāng)程度上獲得靜電消除效果。這樣能夠不考慮周圍環(huán)境而實現(xiàn)靜電的充分消除。
[0038]根據(jù)本發(fā)明，可以不考慮周圍環(huán)境而充分地消除靜電。
【附圖說明】
[0039]圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的靜電消除器的外部透視圖；
[0040]圖2是示出圖1所示靜電消除器的濕潤空氣產(chǎn)生部分的內(nèi)部構(gòu)造的示意性視圖；
[0041]圖3是示出第一實例中的靜電消除頭的外部透視圖；
[0042]圖4是沿著圖3所示靜電消除頭的寬度方向截取的豎直剖視圖；
[0043]圖5是圖3所示部分A的放大視圖；
[0044]圖6是沿著圖3所示靜電消除頭的縱向截取的剖視圖；
[0045]圖7是沿著圖3所示靜電消除頭的寬度方向截取的剖切透視圖；
[0046]圖8是圖7所示部分B的放大剖視圖；
[0047]圖9是示出第二實例中的靜電消除頭的外部透視圖；
[0048]圖10是圖9所示靜電消除頭的豎直剖視圖；
[0049]圖11是