信息分流轉(zhuǎn)換工具、半導體生產(chǎn)系統(tǒng)及其通信方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體制造技術領域，特別是涉及一種半導體生產(chǎn)系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]機臺(equipment, EQP)是半導體工藝制程中用來對原材料實際執(zhí)行半導體工藝操作的機器，其可以對半導體工藝中的各種參數(shù)進行設置和控制。EAP(EqUipmentAutomat1n Process,設備過程自動化)系統(tǒng)主要用來對生產(chǎn)線上的機臺進行實時監(jiān)控，是實現(xiàn)生產(chǎn)自動化不可缺少的監(jiān)控系統(tǒng)。
[0003]在傳統(tǒng)的制造系統(tǒng)中，ΕΑΡ和EQP—對一連接進行消息交互。而實際上，在生產(chǎn)過程中，還需要RTM(設備工藝制片數(shù)據(jù)收集)系統(tǒng)來收集機臺的工藝制片數(shù)據(jù)。當EQP被ΕΑΡ占用時，就不能使用RTM連接EQP。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要提供一種用于半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的信息分流轉(zhuǎn)換工具，可以同時使用ΕΑΡ系統(tǒng)和RTM系統(tǒng)與EQP通信。
[0005]還提供一種半導體生產(chǎn)系統(tǒng)。以及
[0006]一種半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的通信方法。
[0007]—種信息分流轉(zhuǎn)換工具，包括:
[0008]配置模塊，用于讀取配置文件，并根據(jù)配置文件配置連接參數(shù)和通信參數(shù)；
[0009]連接模塊，用于根據(jù)所述連接參數(shù)分別連接機臺和應用系統(tǒng)；
[0010]通信模塊，用于根據(jù)所述通信參數(shù)形成信息通道使機臺和應用系統(tǒng)相互通信；
[0011]其中，所述連接模塊基于HSMS傳輸方式的套接字技術連接應用系統(tǒng)。
[0012]在其中一個實施例中，所述連接模塊基于SECS-1傳輸方式或HSMS傳輸方式連接機臺。
[0013]一種半導體生產(chǎn)系統(tǒng)，包括機臺、應用系統(tǒng)以及信息分流轉(zhuǎn)換工具，所述信息分流轉(zhuǎn)換工具包括:
[0014]配置模塊，用于讀取配置文件，并根據(jù)配置文件配置連接參數(shù)和通信參數(shù)；
[0015]連接模塊，用于根據(jù)所述連接參數(shù)分別連接機臺和應用系統(tǒng)；
[0016]通信模塊，用于根據(jù)所述通信參數(shù)形成信息通道使機臺和應用系統(tǒng)相互通信；
[0017]其中，所述連接模塊基于HSMS傳輸方式的套接字技術連接應用系統(tǒng)；所述應用系統(tǒng)包括過程自動化系統(tǒng)以及工藝制片數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)。
[0018]在其中一個實施例中，所述連接模塊基于SECS-1傳輸方式或HSMS傳輸方式連接機臺。
[0019]一種半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的通信方法，基于上述的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)，所述方法包括:
[0020]信息分流轉(zhuǎn)換工具啟動時，由配置模塊讀取配置文件，并根據(jù)配置文件配置連接參數(shù)和通信參數(shù)；
[0021]信息分流轉(zhuǎn)換工具由連接模塊根據(jù)所述連接參數(shù)分別連接機臺和應用系統(tǒng)；
[0022]信息分流轉(zhuǎn)換工具由通信模塊根據(jù)所述通信參數(shù)形成信息通道使機臺和應用系統(tǒng)相互通信；
[0023]其中，所述連接模塊基于HSMS傳輸方式的套接字技術連接應用系統(tǒng)。
[0024]在其中一個實施例中，所述連接模塊基于SECS-1傳輸方式或HSMS傳輸方式連接機臺。
[0025]在其中一個實施例中，所述信息分流轉(zhuǎn)換工具由連接模塊根據(jù)所述連接參數(shù)連接機臺基于SECE-1傳輸方式，具體包括如下步驟:
[0026]發(fā)送方發(fā)送一個發(fā)送請求告知接收方需要發(fā)送信息；
[0027]接收方若接收到該發(fā)送請求，向發(fā)送方發(fā)送一個請求應答；
[0028]發(fā)送方接收到請求應答后，開始向接收方發(fā)送信息；
[0029]接收方接收完信息后進行校驗，若無誤則向發(fā)送方發(fā)送確認，否則要求發(fā)送方再次發(fā)送信息。
[0030]在其中一個實施例中，所述配置文件包含:機臺名稱、機臺類型、系統(tǒng)日志路徑、連接機臺的方式、機臺標識、終端服務器的串口端口、針對SECS-1方式或HSMS方式連接機臺的超時時間、針對HSMS方式連接機臺的參數(shù)信息、應用系統(tǒng)數(shù)量以及應用系統(tǒng)的連接參數(shù)信息。
[0031]在其中一個實施例中，所述連接模塊基于HSMS傳輸方式的套接字技術連接應用系統(tǒng)具體包括如下步驟:
[0032]在信息分流轉(zhuǎn)換工具啟動時初始化應用系統(tǒng)連接的端口號；
[0033]初始化成功后處于等待連接狀態(tài)，監(jiān)控應用系統(tǒng)的連接請求；
[0034]若接收到應用系統(tǒng)的連接請求，向應用系統(tǒng)響應該連接請求；
[0035]接收應用系統(tǒng)的信息。
[0036]由于基于套接字技術的連接和通信，上述信息分流轉(zhuǎn)換工具可以通過分配給應用系統(tǒng)的端口號識別應用系統(tǒng)，進而識別其發(fā)送的數(shù)據(jù)。因此信息分流轉(zhuǎn)換工具可以支持兩個以上的應用系統(tǒng)同時與其連接和通信，并且數(shù)據(jù)互不干擾。上述半導體生產(chǎn)系統(tǒng)中的機臺可以與兩個以上的應用系統(tǒng)通信。上述通信方法實現(xiàn)了兩個以上的應用系統(tǒng)與一個機臺之間的連接和通信。
【附圖說明】
[0037]圖1為一實施例的信息分流轉(zhuǎn)換工具模塊圖；
[0038]圖2為基于圖1的信息分流轉(zhuǎn)換工具的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)模塊圖；
[0039]圖3為基于圖1的信息分流轉(zhuǎn)換工具的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的物理結構圖；
[0040]圖4為一實施例的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)的通信流程圖。
【具體實施方式】
[0041]以下結合附圖和實施例進行進一步說明。
[0042]如圖1所示，為一實施例的信息分流轉(zhuǎn)換工具模塊圖。該信息分流轉(zhuǎn)換工具100包括配置模塊110、連接模塊120和通信模塊130。配置模塊110用于讀取配置文件，并根據(jù)配置文件配置連接參數(shù)和通信參數(shù)。連接模塊120用于根據(jù)所述連接參數(shù)分別連接機臺和應用系統(tǒng)。通信模塊130用于根據(jù)所述通信參數(shù)形成信息通道使機臺和應用系統(tǒng)相互通信。其中，所述連接模塊基于HSMS傳輸方式的套接字技術連接應用系統(tǒng)。
[0043]所述配置文件包含:機臺名稱、機臺類型、系統(tǒng)日志路徑、連接機臺的方式、機臺標識、終端服務器(Μ0ΧΑ)的串口端口(SerialPort)、針對SECS-1方式或HSMS方式連接機臺的超時時間、針對HSMS方式連接機臺的參數(shù)信息、應用系統(tǒng)數(shù)量以及應用系統(tǒng)的連接參數(shù)信息。
[0044]其中連接機臺的方式包括SECS-1傳輸方式或HSMS傳輸方式。連接模塊120可基于SECS-1傳輸方式或HSMS傳輸方式連接機臺。終端服務器(Μ0ΧΑ)的串口端口(SerialPort)用于使信息分流轉(zhuǎn)換工具100以TCP/IP方式鏈接Μ0ΧΑ，通過Μ0ΧΑ將TCP/IP轉(zhuǎn)換成基于串口 RS-232的SECS-1通信方式。針對SECS-1連接設備的超時時間包括T1?T4，分別是在連接過程中的各種超時閾值。連接機臺的參數(shù)信息包括:終端服務器(Μ0ΧΑ)的串口端口(SerialPort)、機臺標識(DevicelD)。針對HSMS連接設備的超時時間包括T3、T5?T8，分別是在連接過程中的各種超時閾值。連接機臺的參數(shù)信息包括:本地IP地址(IpAddressLocal)、遠端 IP 地址(IpAddressRemote)、本地端口(PortLocal)和遠端端口(PortRemote)。應用系統(tǒng)的連接參數(shù)信息包括:本地IP地址(IpAddressLocal)、遠端IP地址(IpAddressRemote)、本地端口(PortLocal)和遠端端口(PortRemote)。
[0045]配置文件中配置了機臺與信息分流轉(zhuǎn)換工具100之間、應用系統(tǒng)與信息分流轉(zhuǎn)換工具100之間的連接參數(shù)和通信參數(shù)。例如，信息分流轉(zhuǎn)換工具100根據(jù)機臺標識與相應的機臺、以SECS-1傳輸方式或HSMS傳輸方式連接。SECS-1傳輸方式中，以針對SECS-1方式連接機臺的超時時間T1?T4、在連接和通信時進行超時判斷和響應，配置文件中包含連接參數(shù):終端服務器(Μ0ΧΑ)的串口端口(SerialPort)、機臺標識(DevicelD)。在HSMS傳輸方式中，針對HSMS方式連接機臺的超時時間T3、T5?T8，在連接和通信時進行超時判斷和響應，配置文件中包含連接參數(shù):本地IP地址(IpAddressLocal)、遠端IP地址(IpAddressRemote)、本地端口(PortLocal)和遠端端口(PortRemote)。HSMS 傳輸方式是基于TCP/IP協(xié)議，因此需要IP地址和端口信息。
[0046]信息分流轉(zhuǎn)換工具100與應用系統(tǒng)之間總是以HSMS方式通信，并且在本實施例中，是基于套接字(socket)技術連接。基于套接字技術連接時，信息分流轉(zhuǎn)換工具100監(jiān)聽目標端口號處于等待連接狀態(tài)，應用系統(tǒng)發(fā)起連接請求后被信息分流轉(zhuǎn)換工具100監(jiān)聽至IJ，信息分流轉(zhuǎn)換工具100進行連接確認，建立連接。
[0047]由于基于套接字技術的連接和通信，信息分流轉(zhuǎn)換工具100可以通過分配給應用系統(tǒng)的端口號識別應用系統(tǒng)，進而識別其發(fā)送的數(shù)據(jù)。因此信息分流轉(zhuǎn)換工具100可以支持兩個以上的應用系統(tǒng)同時與其連接和通信，并且數(shù)據(jù)互不干擾。
[0048]參考圖2和圖3，該信息分流轉(zhuǎn)換工具100應用于半導體生產(chǎn)系統(tǒng)10。該半導體生產(chǎn)系統(tǒng)10還包括機臺200和應用系統(tǒng)300。連接模塊120用于根據(jù)所述連接參數(shù)分別連接機臺200和應用系統(tǒng)300。通信模塊130用于根據(jù)所述通信參數(shù)形成信息通道使機臺200和應用系統(tǒng)300相互通信。應用系統(tǒng)300包括過程自動化系統(tǒng)(ΕΑΡ)以及工藝制片數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)(RTM)?？梢岳斫?，應用系統(tǒng)300還可以是其它一些機臺信息管控應用系統(tǒng)等。