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一種可加熱與制冷雙向溫度可調的恒溫平臺的制作方法

文檔序號:8023369閱讀:567來源:國知局
專利名稱:一種可加熱與制冷雙向溫度可調的恒溫平臺的制作方法
技術領域
本發(fā)明利用半導體冷堆作為散熱和生熱的裝置,屬于半導體測量技術領域,實現(xiàn)具有恒溫功能的裝置。適用于需要保持恒定溫度平臺的場合。
背景技術
恒溫平臺(俗稱無限大散熱器)是一種提供具有散熱和補充熱量功能的恒溫平面裝置。它是很多場合必備的裝置條件之一。如測量半導體溫升和熱阻時,根據溫升和熱阻的測量標準,被測器件必需放置在一個恒定溫度的平臺上。目前的測試平臺有的無恒溫功能,或有的采用電阻絲加熱,只具有高于室溫的恒溫控制功能。即冷卻最大只能為切斷加熱功率的自然降溫。

發(fā)明內容
本發(fā)明中描述的恒溫平臺采用半導體冷堆作為散熱和生熱的驅動原件,具有很好的散熱能力。器件工作時產生的熱量傳到平臺后,能被該平臺及時散走,不影響平臺的恒定溫度。且恒溫平臺的溫度高溫可超過100C,低溫可控制在低于室溫,甚至到零下的雙向控溫功能。
本發(fā)明提供的一種可加熱與制冷雙向溫度可調的恒溫平臺,如圖1所示,其特征在于將半導體冷堆202上下兩面均涂上導熱脂,一面與導熱材料平臺201粘接,另一面則與水套平臺205粘接;水套平臺205中間流有換熱循環(huán)水,通過水套平臺205、水泵203和水箱204組成的回路及時將半導體冷堆202產生的熱量或冷量散掉;導熱材料平臺201中心連接溫度傳感器107,溫度傳感器107連接到溫度信號放大器105后,又輸出連接到A/D轉換器104后,輸入連到微處理器101;從微處理器101輸出驅動控制指令到D/A轉換器109,又輸出驅動信號到功率放大器106,輸出驅動電流給半導體冷堆202;鍵盤103連接到微處理器101,溫度設定是通過鍵盤輸入到微處理器內的;顯示器102也與微處理器連接,用于顯示輸入的溫度和實測到的恒溫平臺上的溫度,以及目前加載的驅動電流的狀況;半導體冷堆202的驅動是通過微處理器101控制的;所有控制軟件都存儲在與微處理器101相連的存儲器內;若測量溫度高于設定溫度,微處理器101輸出正向電流經功率放大器106驅動半導體冷堆,使其制冷工作,即從上面恒溫平臺吸取熱量到其下面水套,由流動的水將熱量帶走;當測量溫度低于設定溫度,微處理器101經D/A轉換器109到功率放大器106,輸出反向電流驅動半導體冷堆,使其加熱工作,即從下面吸取熱量傳到上面恒溫平臺,流動的水不斷給其提供熱量,以保持水套平臺205溫度不變。
本發(fā)明恒溫平臺上的溫度可以為高溫(高于室溫),也可以為低溫(低于室溫),甚至可以達到零下。由于采用的是電流直接驅動半導體冷堆,當恒溫平臺上溫度變化時,微處理器101可以迅速反應,調節(jié)電流,盡快保持平臺上的恒溫特性。
控溫裝置中設定了通信接口108用于與外部計算機通信,溫度的設定可以通過串口同時可實現(xiàn)由外部計算機設定溫度。
圖中顯示的一層半導體冷堆,若恒溫面上的熱量負載較大產生的熱量較多,或恒溫平臺上需要較低的溫度,可將兩層或多層冷堆通過導熱脂疊起來,實現(xiàn)更大的雙向熱量傳輸能力。
目前的恒溫裝置多數(shù)是采用電阻絲加熱,用于產生高于室溫的環(huán)境。而降溫的功能則是減小加熱功率,或最多為關斷電源,自然降溫。而往往熱平臺多采用金屬,熱容量較大。這樣使降溫,趨向恒溫的過程變得很長。本發(fā)明中利用半導體冷堆的雙向控溫功能,降溫過程中,加反向電流,從平臺上吸收熱量到下面的換熱水中。這樣大大加快了降溫過程,使恒溫過程變短。提高了恒溫平臺控溫和恒溫的能力。更為重要的是,一般低于室溫的恒溫多采用液氮冷卻的較多。操作起來復雜,不方便。本發(fā)明使得實現(xiàn)低于室溫的恒溫過程變得快捷、方便。


圖1本發(fā)明示意圖,圖中微處理器101,顯示器102,鍵盤103,A/D轉換器104,溫度信號放大器105,功率放大器106,溫度傳感器107,通信接口108,D/A轉換器109,導熱材料平臺201,半導體冷堆202,水泵203,水箱204,水套平臺20具體實施方式
本發(fā)明中描述的恒溫平臺具體實施方式
為恒溫平臺201為一個導熱性能好的材料,如紫銅、黃銅等。要有一定厚度,一般為2cm左右。溫度傳感器107可以使用熱電偶、熱敏電阻或PN結溫度傳感器等。若選用熱電偶,可以配有成熟的專用芯片,如AD595和相應的運算放大器OP07。A/D轉換器104可選用常規(guī)的器件,如LM331。半導體冷堆202可采用硅材料做成的冷堆。一般可采用四塊平鋪在銅制平臺的下面。四塊冷堆可以串聯(lián)起來使用,也可以并聯(lián)使用。使用四塊冷堆,每塊的溫差為75C的話,恒溫平臺空載情況下平臺上無熱源低溫可達到零下10C,高溫可達到100C。若要增大溫度范圍和散熱能力,可使用兩層或多層冷堆疊起來使用。冷堆下面的水套平臺205可采用軟管連接水入口和出口。換熱水箱204可采用金屬箱,如不銹鋼水箱,不易生銹且散熱性能好。換熱循環(huán)水泵203可采用如魚缸中的小型水泵。換熱水泵放置在水箱中,全部被水蓋住。
微處理器101為單片機。可選用MCS-51系列單片機中的80C32。可使用74LS373為地址鎖存器,128KByte的EEPROM-29EE010作為程序存儲器。顯示器102可采用點陣液晶顯示器或訂做的段碼液晶顯示器。顯示內容可為當前平臺測量溫度,設定溫度,驅動功率的加載顯示,以及恒溫狀態(tài)達到顯示。使用的電源根據平臺恒溫負載能力的要求,配置相應功率的電源。
鍵盤103可選用薄膜鍵盤,貼在面板上,也可使用獨立鍵盤。鍵盤設有0-9的數(shù)字鍵,輸入溫度值。還應有,負號鍵、刪除鍵、確認鍵、PID參數(shù)調節(jié)鍵。為方便計算機控制,設置與計算機通信的接口,可采用如串口通信,或使用USB接口通信。溫度的設定不通過鍵盤,也可通過計算機程序設定。
D/A轉換器109可采D/A芯片,如AD7521數(shù)/模轉換芯片和三塊運算放大器OP07組成。功率放大器106可采用常規(guī)的功率放大電路,如采用功率晶體管及濾波電路搭接而成。
控溫系統(tǒng)中的PID,即比例常數(shù)、積分常數(shù)和微分常數(shù),可通過鍵盤輸入,也可使用其缺省值。
權利要求
1.一種可加熱與制冷雙向溫度可調的恒溫平臺,其特征在于將半導體冷堆(202)上下兩面均涂上導熱脂,一面與導熱材料平臺(201)粘接,另一面則與水套平臺(205)粘接;水套平臺(205)中間流有換熱循環(huán)水,通過水套平臺(205)、水泵(203)和水箱(204)組成的回路及時將半導體冷堆(202)產生的熱量或冷量散掉;導熱材料平臺(201)中心連接溫度傳感器(107),溫度傳感器(107)連接到溫度信號放大器(105)后,又輸出連接到A/D轉換器(104)后,輸入連到微處理器(101);從微處理器(101)輸出驅動控制指令到D/A轉換器(109),又輸出驅動信號到功率放大器(106),輸出驅動電流給半導體冷堆(202);鍵盤(103)連接到微處理器(101),溫度設定是通過鍵盤輸入到微處理器內的;顯示器(102)也與微處理器連接,用于顯示輸入的溫度和實測到的恒溫平臺上的溫度,以及目前加載的驅動電流的狀況;半導體冷堆(202)的驅動是通過微處理器(101)控制的;所有控制軟件都存儲在與微處理器(101)相連的存儲器內;若測量溫度高于設定溫度,微處理器(101)輸出正向電流經功率放大器(106)驅動半導體冷堆,使其制冷工作,即從上面恒溫平臺吸取熱量到其下面水套,由流動的水將熱量帶走;當測量溫度低于設定溫度,微處理器(101)經D/A轉換器(109)到功率放大器(106),輸出反向電流驅動半導體冷堆,使其加熱工作,即從下面吸取熱量傳到上面恒溫平臺,流動的水不斷給其提供熱量,以保持水套平臺(205)溫度不變。
2.根據權利要求1所述的一種可加熱與制冷雙向溫度可調的恒溫平臺,其特征在于微處理器(101)設通信接口(108)用于與外部計算機通信,溫度的設定可以通過串口同時可實現(xiàn)由外部計算機設定溫度。
3.根據權利要求1所述的一種可加熱與制冷雙向溫度可調的恒溫平臺,其特征在于其中的半導體冷堆(202),若恒溫平臺上的熱量負載較大,即產生的熱量較多,或恒溫平臺上需要較低的溫度,可將兩層或多層冷堆通過導熱脂疊起來,實現(xiàn)更大的雙向熱量傳輸能力。
全文摘要
本發(fā)明屬半導體測量領域。目前恒溫裝置恒溫過程長。特征在于將半導體冷堆(202)上下面涂上導熱脂,分別與導熱材料平臺(201)、水套平臺(205)粘接;水套平臺中流有換熱循環(huán)水,通過水泵(203)和水箱(204)將半導體冷堆(202)產生的熱量或冷量散掉;導熱材料平臺連接溫度傳感器(107),溫度傳感器(107)連接到溫度信號放大器(105),輸出連接到A/D轉換器(104),輸入連到微處理器(101);微處理器輸出驅動指令到D/A轉換器(109),輸出驅動信號到功率放大器(106),輸出驅動電流給半導體冷堆(202);溫度控制設定通過鍵盤(103)輸入到微處理器內的;顯示器(102)用于顯示輸入的溫度指令和系統(tǒng)溫度;本發(fā)明使恒溫過程變短,提高了控溫和恒溫的能力。
文檔編號G12B15/02GK1734259SQ20051008522
公開日2006年2月15日 申請日期2005年7月22日 優(yōu)先權日2005年7月22日
發(fā)明者謝雪松, 馮士維, 呂長志, 謝云松, 張小玲, 張躍宗 申請人:北京工業(yè)大學
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