專利名稱：糊狀物分配器及控制糊狀物分配器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及分配糊狀物的分配器，尤其涉及用于精確地設(shè)置基板和噴嘴之間的垂直距離的分配器和用于控制該分配器的方法。
背景技術(shù)：
用于分配糊狀物的分配器被設(shè)計(jì)用于將多種糊狀物(諸如電阻膏和密封膏)按預(yù)定圖案分配在基板上。
分配器包括放置有基板的工作臺(tái)40和頭單元。頭單元50包括容器，用于容納糊狀物；以及噴嘴，連接至容器，用于將糊狀物分配在基板上。分配器通過使噴嘴移動(dòng)而基板保持固定，通過使基板移動(dòng)而噴嘴保持固定，或通過使基板和噴嘴沿不同方向移動(dòng)，在基板上形成糊狀物圖案。
在將糊狀物分配在基板上之前，預(yù)先設(shè)置基板和噴嘴之間的垂直距離和分配條件。分配條件包括基板和噴嘴之間的速度差(以下稱為“分配速度”)、基板和噴嘴之間的垂直距離(以下稱為“分配高度”)、以及施加至容器的壓力(以下稱為“分配壓力”)。糊狀物圖案的橫截面被測(cè)量以確定在基板上形成糊狀物圖案之后，形成在基板上的糊狀物圖案是否與規(guī)范一致。在傳統(tǒng)的分配器中，在分配糊狀物之前，采用磁性傳感器設(shè)置基板和噴嘴之間的垂直距離。磁性傳感器包括磁性單元，在其上部具有N極，在其下部具有S極；以及檢測(cè)單元，用于測(cè)量磁力的改變量。
但是，傳統(tǒng)的分配器有以下問題。
在設(shè)置基板和噴嘴之間的垂直距離時(shí)，磁性傳感器經(jīng)受電子等效噪聲(electronic equivalent of noise)，從而降低了從磁性傳感器輸出的信號(hào)的可靠性。
第一，磁性傳感器通過測(cè)量由于磁力的改變而引起的電流改變量，來設(shè)置基板和噴嘴之間的垂直距離。
磁性傳感器對(duì)電子等效噪聲非常敏感，并且由其產(chǎn)生得到的模擬信號(hào)可能變形。從而，很難確定得到的模擬信號(hào)是否是在沒有電子等效噪聲的情況下產(chǎn)生的，因此不能準(zhǔn)確地測(cè)量基板和噴嘴之間的垂直距離。
第二，傳統(tǒng)分配器中的磁性傳感器測(cè)量的是構(gòu)成頭單元的噴嘴部件550和傳感器部件530相互分離時(shí)的點(diǎn)，而不是測(cè)量噴嘴部件550上的噴嘴與基板形成接觸時(shí)，噴嘴部件550和傳感器部件530之間的距離。這要求在設(shè)置分配高度(即，噴嘴和基板之間的垂直距離)時(shí)，頭單元50緩慢地向下移動(dòng)。因此，增加了設(shè)置分配高度所需的時(shí)間。
當(dāng)磁性單元和檢測(cè)單元之間的距離超出容許公差范圍時(shí)，檢測(cè)磁力的檢測(cè)存在錯(cuò)誤。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于分配糊狀物的分配器，用于設(shè)置噴嘴和基板之間的垂直距離，以及一種用于控制該分配器的方法本發(fā)明的另一個(gè)目的在于減少設(shè)置噴嘴和基板之間的垂直距離所需的時(shí)間。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種用于分配糊狀物的分配器，包括傳感器部件530，沿垂直于基板的垂直方向移動(dòng)；噴嘴部件550，安裝在傳感器部件530上，沿垂直于基板的方向移動(dòng)；以及位置測(cè)量傳感器，將傳感器部件530和噴嘴部件550之間在垂直于基板表面方向上的位置改變作為數(shù)字信號(hào)輸出。
位置測(cè)量傳感器可以包括光反射單元571，反射發(fā)射光；以及光接收單元573，接收被反射的光。光接收單元573用于測(cè)量傳感器部件530和噴嘴部件550之間在垂直于基板表面方向上的位置改變。
光反射單元571可以位于傳感器部件530和噴嘴部件550中的一個(gè)上，并且光接收單元573可以位于另一個(gè)上。
噴嘴部件550可以被安裝在傳感器部件530上的ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)。當(dāng)噴嘴部件550的噴嘴與基板形成接觸時(shí)，噴嘴部件550可以與ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元分離，以及當(dāng)噴嘴部件550的噴嘴在基板之上時(shí)，噴嘴部件可以連接至ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元。
ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元可以包括ZZ軸電動(dòng)機(jī)和驅(qū)動(dòng)支架，驅(qū)動(dòng)支架通過ZZ軸電動(dòng)機(jī)在垂直于基板的方向上移動(dòng)。
噴嘴部件550可以包括支撐單元，用于支撐其上安裝有噴嘴的容器；以及噴嘴支架，用于將支撐單元部件連接至驅(qū)動(dòng)支架。
當(dāng)噴嘴向下移動(dòng)并與基板形成接觸時(shí)，驅(qū)動(dòng)支架可以與噴嘴支架分離。
當(dāng)噴嘴從基板向上移動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)支架可以連接至噴嘴支架。
分配器可以包括分配高度測(cè)量傳感器，安裝在傳感器部件530上，用于測(cè)量噴嘴和基板之間的垂直距離。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種用于分配糊狀物的分配器，包括傳感器部件530，沿垂直于基板的方向移動(dòng)；Z軸驅(qū)動(dòng)單元，用于驅(qū)動(dòng)傳感器部件530；噴嘴部件550，安裝在傳感器部件530上，沿垂直于基板的方向移動(dòng)；ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元，用于驅(qū)動(dòng)噴嘴部件550；位置測(cè)量傳感器，將傳感器部件530和噴嘴部件550之間在垂直于基板表面方向上的位置改變作為數(shù)字信號(hào)輸出；以及控制單元，用于根據(jù)位置測(cè)量傳感器測(cè)量的結(jié)果，通過控制噴嘴部件550和傳感器部件530的移動(dòng)，來控制安裝在噴嘴部件550上的噴嘴和基板之間的距離設(shè)置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于控制分配糊狀物的分配器的方法，包括使設(shè)置在分配器上的傳感器部件530和噴嘴部件550沿垂直于基板的方向移動(dòng)；判定作為向下移動(dòng)傳感器部件530和噴嘴部件550的結(jié)果，安裝在噴嘴部件550上的噴嘴是否與基板接觸；根據(jù)判定安裝在噴嘴部件550上的噴嘴是否與基板接觸的結(jié)果，移動(dòng)安裝在傳感器部件530上的驅(qū)動(dòng)支架；以及測(cè)量通過移動(dòng)驅(qū)動(dòng)支架產(chǎn)生的傳感器部件530和噴嘴部件550之間在垂直于基板表面方向上的距離。
用于控制分配器的方法可以包括將通過分配高度測(cè)量傳感器測(cè)量的噴嘴和基板之間的距離調(diào)節(jié)為在傳感器部件530和噴嘴部件550之間在垂直于基板表面方向上所測(cè)量的距離，以確定分配高度。
在測(cè)量傳感器部件530和噴嘴部件550之間在垂直于基板表面方向上的距離的操作中，安裝在噴嘴部件550和傳感器部件530上的位置測(cè)量傳感器可以將噴嘴部件550(與驅(qū)動(dòng)支架一起移動(dòng))移動(dòng)的距離值作為數(shù)字信號(hào)輸出。
在該方法中，當(dāng)噴嘴與基板形成接觸時(shí)，驅(qū)動(dòng)支架向上移動(dòng)至指定分配高度的點(diǎn)，作為噴嘴部件550移動(dòng)的距離，即，噴嘴部件550和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離可以被測(cè)量。
當(dāng)噴嘴不與基板形成接觸時(shí)，驅(qū)動(dòng)支架向下移動(dòng)至一點(diǎn)，該點(diǎn)具有使用位置測(cè)量傳感器變化所測(cè)量到的值。
本發(fā)明的上述和其他目的、特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將從以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)描述中而變得更加明顯。


附圖提供了對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并結(jié)合在本發(fā)明中構(gòu)成說明書的一部分，描述了本發(fā)明的實(shí)施例，并與說明書一起解釋本發(fā)明的原理。
在附圖中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的實(shí)施例的透視圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的用于控制糊狀物分配器的操作的結(jié)構(gòu)的示意圖；圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的頭單元50的結(jié)構(gòu)的示意圖；圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的位置測(cè)量傳感器的操作的示意圖；
圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的設(shè)置糊狀物分配器的噴嘴的位置的操作的流程圖；圖6a是示出根據(jù)本發(fā)明的頭單元50向下移動(dòng)至指定位置的情況的示意圖；圖6b是示出根據(jù)本發(fā)明的在頭單元50向下移動(dòng)至指定位置之后噴嘴與基板形成接觸的情況的示意圖；圖6c是示出根據(jù)本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)支架與噴嘴支架形成接觸的情況的示意圖；圖6d是示出根據(jù)本發(fā)明的噴嘴和基板之間的垂直距離被設(shè)置的情況的示意圖；以及圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的頭單元50向下移動(dòng)至指定位置之后噴嘴與基板分離的情況的示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，在附圖中示出了實(shí)例。
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的實(shí)施例的透視圖。參考圖1，以下描述糊狀物分配器的結(jié)構(gòu)。
在Y軸方向上可移動(dòng)的Y軸臺(tái)30設(shè)置在框架10的上部。使工作臺(tái)40沿θ方向旋轉(zhuǎn)的θ軸旋轉(zhuǎn)單元位于Y軸臺(tái)30上。其上放置有基板的工作臺(tái)40位于θ軸旋轉(zhuǎn)單元的上部。
在X軸方向上可移動(dòng)的X軸臺(tái)可以設(shè)置在框架10的上部。
至少一個(gè)頭支撐單元12設(shè)置在框架10的上部。在X軸方向上可移動(dòng)的多個(gè)分配頭50設(shè)置在頭支撐單元12上，每個(gè)頭單元均包括分配糊狀物的噴嘴555。
將多個(gè)分配頭50安裝在頭支撐單元12上使得縮短在基板上形成糊狀物圖案的時(shí)間成為可能。
頭支撐單元12可以沿Y軸方向移動(dòng)，以保證將基板裝載到工作臺(tái)40上或從工作臺(tái)40卸載基板的空間。
獲取圖片以測(cè)量基板的位置的相機(jī)60設(shè)置在頭支撐單元12上。
控制分配器的操作的控制單元70設(shè)置在分配器內(nèi)，并且連接至輸入和輸出操作分配糊狀物的分配器所必須的信息的輸入/輸出單元80。
控制單元70可以直接從輸入/輸出單元80或個(gè)人計(jì)算機(jī)100接收指示糊狀物圖案在基板上的位置的坐標(biāo)值。控制單元70可以通過輸入/輸出單元80接收從個(gè)人計(jì)算機(jī)100輸入的坐標(biāo)值。
圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的用于控制糊狀物分配器的操作的結(jié)構(gòu)的示意圖，參考圖2。
電動(dòng)機(jī)控制器3、輸入/輸出單元80、和個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)分別連接至控制單元70。PC可以直接連接至輸入/輸出單元80而不連接至控制單元70。
可以不依賴于分配器單獨(dú)提供PC 100。在PC 100中所產(chǎn)生的信息可以通過傳輸裝置(未示出)傳輸至分配器。
電動(dòng)機(jī)控制器3連接至使工作臺(tái)沿Y軸方向移動(dòng)的Y軸工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器3a、使工作臺(tái)繞θ軸旋轉(zhuǎn)的θ軸工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器、以及使頭單元50沿X軸方向移動(dòng)的X軸頭單元驅(qū)動(dòng)器3c。當(dāng)多個(gè)頭單元被安裝至頭支撐單元12時(shí)，頭單元必須具有他們各自的X軸驅(qū)動(dòng)器，分別連接至電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器3。
電動(dòng)機(jī)控制器3連接至使噴嘴沿Y軸方向移動(dòng)的Y軸噴嘴驅(qū)動(dòng)器、使噴嘴沿Z軸方向移動(dòng)的Z軸噴嘴驅(qū)動(dòng)器、以及使噴嘴沿ZZ軸方向移動(dòng)的ZZ軸噴嘴驅(qū)動(dòng)器?？刂茊卧?連接至使頭支撐單元12沿Y軸方向移動(dòng)的Y軸頭支撐單元驅(qū)動(dòng)器3g。
ZZ軸實(shí)質(zhì)上指示的是與Z軸相同的方向，但是提供了調(diào)節(jié)噴嘴位置的方向基礎(chǔ)，尤其是在最初設(shè)置噴嘴期間。
使噴嘴本身沿X軸方向移動(dòng)的X軸噴嘴驅(qū)動(dòng)器可以提供給電動(dòng)機(jī)控制器3，并且連接至電動(dòng)機(jī)控制器3。使工作臺(tái)40沿X軸方向移動(dòng)的X軸工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器可以提供給電動(dòng)機(jī)控制器3并連接至電動(dòng)機(jī)控制器3。
參考圖1和圖2，現(xiàn)在簡(jiǎn)要地描述分配糊狀物的操作。
在確定在實(shí)際基板上形成特定糊狀物圖案之后，實(shí)驗(yàn)性地將糊狀物分配在虛擬基板上，以設(shè)置適于特定糊狀物圖案的分配條件。在確定分配條件之后，將實(shí)際基板放在工作臺(tái)40上。
噴嘴和基板的位置通過相機(jī)60和測(cè)量裝置來測(cè)量，以定位基板的準(zhǔn)確分配位置。然后，噴嘴開始排出糊狀物。在分配糊狀物期間，噴嘴移動(dòng)而基板保持固定、基板移動(dòng)而噴嘴保持固定、或者基板和噴嘴都沿不同方向移動(dòng)。當(dāng)在基板上形成糊狀物圖案時(shí)，頭支撐單元12不動(dòng)，工作臺(tái)40沿Y軸方向移動(dòng)，并且頭單元50沿X軸方向移動(dòng)。
工作臺(tái)40可以沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。可替換地，噴嘴可以沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。
參考圖3和圖4，以下將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的頭單元50的實(shí)施例。
頭單元50包括傳感器部件530，可以向上和向下移動(dòng)(即，垂直于基板的表面的方向)；以及噴嘴部件550，可以向上和向下移動(dòng)，同時(shí)傳感器部件530不移動(dòng)或傳感器部件530移動(dòng)。
傳感器部件530通過Z軸驅(qū)動(dòng)單元510沿垂直于基板的表面的方向移動(dòng)并由Z軸驅(qū)動(dòng)器控制。通過ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元540使噴嘴部件550移動(dòng)，噴嘴部件安裝在頭單元50上并且由ZZ軸驅(qū)動(dòng)器控制。
更特別地，Z軸驅(qū)動(dòng)單元510包括Z軸電動(dòng)機(jī)511和使傳感器部件移動(dòng)的Z軸電動(dòng)機(jī)導(dǎo)軌513。ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元540包括ZZ軸電動(dòng)機(jī)541和被ZZ軸電動(dòng)機(jī)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支架542。噴嘴部件550包括糊狀物容器(未示出)，其上安裝有噴嘴；支撐單元553，支撐糊狀物容器；以及噴嘴支架551，使支撐單元553連接至驅(qū)動(dòng)支架。
噴嘴部件550被安裝在傳感器部件530上的ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元540移動(dòng)。噴嘴部件550與ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元540的接觸取決于噴嘴部件550的位置。
從其排出糊狀物的噴嘴555連接至糊狀物容器的端部。噴嘴支架551的一個(gè)端部被固定至支撐單元的上部，以及噴嘴支架551的另一個(gè)端部在連接至驅(qū)動(dòng)支架542和與驅(qū)動(dòng)支架542分離之間交替。
當(dāng)噴嘴555與基板200的表面形成接觸并且不能進(jìn)一步向下移動(dòng)，而傳感器部件530和其上安裝有噴嘴的噴嘴部件550向下移動(dòng)時(shí)，ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元540與噴嘴支架551分離。
實(shí)時(shí)地測(cè)量噴嘴與基板之間的距離的分配高度測(cè)量傳感器520設(shè)置在傳感器部件530上。更具體地，分配高度測(cè)量傳感器520設(shè)置在傳感器部件530的下部區(qū)域，并且使用激光束測(cè)量噴嘴與基板之間的距離。
測(cè)量噴嘴部件550所經(jīng)過的距離(即，噴嘴部件550與傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離)的位置測(cè)量傳感器570設(shè)置在頭單元50上。
位置測(cè)量傳感器570包括光反射單元571，安裝在傳感器部件530上；光接收單元573，對(duì)應(yīng)于光反射單元571安裝在噴嘴部件550上。光反射單元571包括反射激光束的光反射層571B和覆蓋光反射層571B的涂層。光反射單元571被安裝在噴嘴部件550上，以及光接收單元573可以被設(shè)置在傳感器部件530上。
光反射層571B具有等節(jié)距(uniform pitch)的波形狀的表面，如圖3所示。波的螺距根據(jù)用戶的需要而改變。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的波的螺距約為1μm。涂層571A是激光束從其通過的平面。
下面描述使用位置測(cè)量傳感器570測(cè)量噴嘴部件550經(jīng)過的距離(即，噴嘴和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離)的操作。
提供給頭單元的發(fā)光單元575發(fā)射光。從發(fā)光單元575發(fā)射的光入射在光接收單元573上。這里，入射在光接收單元573上的光的角度根據(jù)光反射單元571的表面上的成角度的波而改變。光反射單元571和/或發(fā)光單元575的位置改變導(dǎo)致入射光的角度與入射光的參考角度不同?；谌肷涔獾慕嵌扰c參考角度之間的差產(chǎn)生的次數(shù)，計(jì)算噴嘴部件550和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離。噴嘴部件550和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離的差值被轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)用于輸出。
當(dāng)噴嘴部件550和傳感器部件530以相同的速度移動(dòng)或同時(shí)停止時(shí)，噴嘴部件550和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離為“0”。
當(dāng)噴嘴部件550停止并且傳感器部件530移動(dòng)時(shí)，入射在光接收單元573上的光的角度改變，從而得到噴嘴部件550和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離的差。因此，檢測(cè)入射光的角度的改變以計(jì)算噴嘴部件550和傳感器部件530之間在垂直于基板表面方向上的距離。
控制單元70基于從位置測(cè)量傳感器獲取的測(cè)量結(jié)果控制傳感器部件530和噴嘴部件550，以設(shè)置噴嘴和基板之間在垂直于基板表面方向上的垂直距離。
參考圖5至圖7，下面將詳細(xì)地描述設(shè)置噴嘴位置的操作。
如圖6a所示，包括傳感器部件530和噴嘴部件550的頭單元50向下移動(dòng)(即，垂直于基板的表面的方向)，以在分配糊狀物之前設(shè)置噴嘴555和基板200之間的垂直距離(S10)。這里，通過Z軸驅(qū)動(dòng)單元510使頭單元50移動(dòng)。更具體地，頭單元50向下移動(dòng)，直到分配高度測(cè)量傳感器520指示第二分配參考點(diǎn)“-a”。
如圖6b所示，當(dāng)噴嘴555與基板200形成接觸時(shí)，噴嘴不能進(jìn)一步向下移動(dòng)，但傳感器部件530向下移動(dòng)。在噴嘴與基板形成接觸之后，噴嘴部件550保持固定，驅(qū)動(dòng)支架542與噴嘴支架551分離，并且僅有驅(qū)動(dòng)支架542與傳感器部件530一起向下移動(dòng)。
在安裝在傳感器部件530上的分配高度測(cè)量傳感器指示第二分配參考點(diǎn)“-a”之后，控制單元70判定噴嘴555是否與基板200形成接觸(S30)。
如圖6c所示，作為判定噴嘴555是否與基板200形成接觸的結(jié)果，當(dāng)噴嘴555與基板形成接觸時(shí)，驅(qū)動(dòng)支架542向上移動(dòng)(S40)。包括光反射單元571和光接收單元573的位置測(cè)量傳感器570精確地測(cè)量噴嘴與基板分離的點(diǎn)。驅(qū)動(dòng)支架542與噴嘴支架551結(jié)合的點(diǎn)是通過僅使安裝在噴嘴部件550上的光接收單元573移動(dòng)而安裝在傳感器部件530上的光反射單元571保持固定來測(cè)量的。
當(dāng)噴嘴與基板分離時(shí)，ZZ軸電動(dòng)機(jī)541必須在該時(shí)刻停止驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)支架542，從而驅(qū)動(dòng)支架542停止移動(dòng)。但是ZZ軸電動(dòng)機(jī)541因?yàn)轫憫?yīng)時(shí)間的延遲而不能在準(zhǔn)確的點(diǎn)停止驅(qū)動(dòng)支架，從而驅(qū)動(dòng)支架在進(jìn)一步向上移動(dòng)一點(diǎn)之后停止(S40)。
位置測(cè)量傳感器570將噴嘴部件550的位置在垂直于基板表面方向上相對(duì)于傳感器部件530的位置的改變作為數(shù)字信號(hào)輸出，而不產(chǎn)生電子等效噪聲。結(jié)果，控制單元70精確地識(shí)別噴嘴從基板向上經(jīng)過的距離。
控制單元70基于通過位置測(cè)量傳感器測(cè)量的值校正噴嘴的錯(cuò)誤位置。即，通過控制單元70控制的ZZ軸電動(dòng)機(jī)541驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)支架540，以使噴嘴部件550向下移動(dòng)。
ZZ軸電動(dòng)機(jī)541(諸如線性電動(dòng)機(jī))的使用能夠在準(zhǔn)確點(diǎn)使驅(qū)動(dòng)支架停止，這使得忽略校正噴嘴的錯(cuò)誤位置的操作成為可能。
控制單元70使包括傳感器部件530和噴嘴部件550的頭單元50向上移動(dòng)，直到安裝在傳感器部件530上的分配高度測(cè)量傳感器520指示第一分配參考點(diǎn)“0”。從而，如圖6d所示，分配高度測(cè)量傳感器520指示“0”，并且噴嘴555在特定高度“A”(即，噴嘴555和基板200之間的特定距離)停止。
如圖7所示，即使頭單元50向下移動(dòng)直到分配高度測(cè)量傳感器520指示第二分配參考點(diǎn)“-a”，噴嘴也不與基板形成接觸。在這種情況下，驅(qū)動(dòng)支架542與噴嘴部件550一起向下移動(dòng)，直到噴嘴與基板形成接觸，同時(shí)傳感器部件530保持固定。
如圖6b所示，ZZ軸電動(dòng)機(jī)541必須在噴嘴555與基板形成接觸的時(shí)刻停止驅(qū)動(dòng)支架550。但是，ZZ軸電動(dòng)機(jī)541由于響應(yīng)時(shí)間的延遲不能使驅(qū)動(dòng)支架在準(zhǔn)確的點(diǎn)停止，因此驅(qū)動(dòng)支架542在進(jìn)一步向下移動(dòng)一點(diǎn)之后停止。
位置測(cè)量傳感器570將噴嘴部件550的位置在垂直于基板表面方向上相對(duì)于傳感器部件530的位置的改變作為數(shù)字信號(hào)輸出，而不產(chǎn)生電子等效噪聲。結(jié)果，控制單元70精確地識(shí)別噴嘴向下向基板移動(dòng)的距離。
控制單元70基于位置測(cè)量傳感器測(cè)量的值校正噴嘴的錯(cuò)誤位置。即，由控制單元70控制的ZZ軸電動(dòng)機(jī)541驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)支架540，使噴嘴部件550向上移動(dòng)(S600)。
ZZ軸電動(dòng)機(jī)541(諸如線性電動(dòng)機(jī))的使用能夠使驅(qū)動(dòng)支架在準(zhǔn)確的點(diǎn)停止，這使得忽略校正噴嘴的錯(cuò)誤位置的步驟成為可能。
控制單元70使包括傳感器部件530和噴嘴部件550的頭單元50向上移動(dòng)，直到安裝在傳感器部件530上的分配高度測(cè)量傳感器520指示第一分配參考點(diǎn)“0”。從而，如圖6d所示，分配高度傳感器520指示“0”，以及噴嘴555在特定高度“A”(即，噴嘴555與基板200之間的特定距離)停止。
根據(jù)本發(fā)明，噴嘴部件550的位置在垂直于基板表面方向上相對(duì)于傳感器部件530的位置的改變作為數(shù)字信號(hào)被輸出，而不產(chǎn)生電子等效噪聲。這使得精確地測(cè)量噴嘴和基板之間的距離以及大大減少缺陷百分比和設(shè)置噴嘴和基板之間的垂直距離的處理時(shí)間成為可能。
在不脫離本發(fā)明的精神和基本特征的情況下，本發(fā)明可以以多種形式實(shí)施，也應(yīng)該明白上述實(shí)施例不限于以上描述的任何細(xì)節(jié)，除非特別指出，而是更應(yīng)該廣泛地解釋為在所附權(quán)利要求限定的精神和范圍內(nèi)，從而所有落入權(quán)利要求或其等價(jià)物的范圍內(nèi)的改變和修改都應(yīng)該包括在所附權(quán)利要求內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種糊狀物分配器，包括傳感器部件，沿垂直于基板的垂直方向移動(dòng)；噴嘴部件，安裝在所述傳感器部件上，沿垂直于所述基板的方向移動(dòng)；以及位置測(cè)量傳感器，將所述傳感器部件(530)和所述噴嘴部件(550)之間在垂直于所述基板表面方向上的位置改變作為數(shù)字信號(hào)輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糊狀物分配器，其中，所述位置測(cè)量傳感器包括光反射單元，發(fā)射光以測(cè)量所述傳感器部件和所述噴嘴部件之間在垂直于所述基板表面方向上的位置改變；以及光接收單元(573)，接收來自所述光反射單元的反射光。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的糊狀物分配器，其中，所述光反射單元設(shè)置在所述傳感器部件和所述噴嘴部件中的一個(gè)上，以及所述光接收單元(573)設(shè)置在所述傳感器部件和所述噴嘴部件中的另一個(gè)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的糊狀物分配器，其中，通過安裝在所述傳感器部件上的ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元使所述噴嘴部件移動(dòng)，并且所述噴嘴部件和所述ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)合取決于所述噴嘴部件的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的糊狀物分配器，其中，所述ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元包括ZZ軸電動(dòng)機(jī)；以及驅(qū)動(dòng)支架，沿垂直于所述基板的方向移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的糊狀物分配器，其中，所述噴嘴部件包括支撐單元，用于支撐其上具有噴嘴的容器；以及噴嘴支架，用于將所述支撐單元連接至所述驅(qū)動(dòng)支架。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的糊狀物分配器，其中，當(dāng)所述噴嘴與所述基板形成接觸并且不能進(jìn)一步向下移動(dòng)時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)支架與所述噴嘴支架分離，而所述傳感器部件向下移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的糊狀物分配器，其中，在所述噴嘴與所述基板分離的時(shí)刻，所述驅(qū)動(dòng)支架與所述噴嘴支架形成接觸并連接至所述噴嘴支架，而所述噴嘴部件向上移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的糊狀物分配器，進(jìn)一步包括分配高度測(cè)量傳感器，安裝在所述傳感器部件上，測(cè)量所述噴嘴和所述基板之間的垂直距離。
10.一種糊狀物分配器，包括傳感器部件，沿垂直于基板的垂直方向移動(dòng)；Z軸驅(qū)動(dòng)單元，用于使所述傳感器部件移動(dòng)；噴嘴部件，安裝在所述傳感器部件上，沿垂直于所述基板的方向移動(dòng)；ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元，用于使所述噴嘴部件移動(dòng)；位置測(cè)量傳感器，用于輸出所述傳感器部件和所述噴嘴部件之間在垂直于基板表面方向上的位置改變；以及控制單元，用于根據(jù)所述位置測(cè)量傳感器的測(cè)量結(jié)果控制所述傳感器部件和所述噴嘴部件的操作，以通過控制來設(shè)置安裝在所述噴嘴部件上的噴嘴和所述基板之間在垂直于基板表面方向上的垂直距離。
11.一種控制糊狀物分配器的方法，包括使設(shè)置在所述糊狀物分配器上的傳感器部件和噴嘴部件沿垂直于基板的方向移動(dòng)；基于所述傳感器部件和所述噴嘴部件向下移動(dòng)的結(jié)果，判定安裝在所述噴嘴部件上的所述噴嘴是否與所述基板形成接觸；根據(jù)安裝在所述噴嘴部件上的所述噴嘴是否與所述基板形成接觸的判定結(jié)果，使安裝在所述傳感器部件上的驅(qū)動(dòng)支架(542)移動(dòng)；以及測(cè)量通過移動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)器支架產(chǎn)生的所述傳感器部件和所述噴嘴部件之間在垂直于所述基板表面的方向上的距離。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的控制糊狀物分配器的方法，進(jìn)一步包括基于所測(cè)量的所述傳感器部件和所述噴嘴部件之間在垂直于基板表面的方向上的距離，調(diào)節(jié)所述噴嘴部件的位置。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的控制糊狀物分配器的方法，其中，安裝在所述傳感器部件和所述噴嘴部件上的位置測(cè)量傳感器將所述傳感器部件和所述噴嘴部件之間在垂直于基板表面的方向上的位置改變作為數(shù)字信號(hào)輸出。
14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的控制糊狀物分配器的方法，其中，當(dāng)所述噴嘴與所述基板形成接觸時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)支架向上移動(dòng)至指定分配高度的點(diǎn)，因此所述噴嘴部件移動(dòng)的距離，即所述噴嘴部件和所述傳感器部件之間在垂直于所述基板表面的方向上的距離被測(cè)得。
15.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的控制糊狀物分配器的方法，其中，當(dāng)所述噴嘴與所述基板形成接觸時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)支架向下移動(dòng)至指定分配高度的點(diǎn)，因此所述噴嘴部件移動(dòng)的距離，即所述噴嘴部件和所述傳感器部件之間在垂直于所述基板表面的方向上的距離被測(cè)得。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種糊狀物分配器和用于控制糊狀物分配器的方法。糊狀物分配器包括傳感器部件，沿垂直于基板的垂直方向移動(dòng)；噴嘴部件，安裝在傳感器部件上，沿垂直于基板的方向移動(dòng)；以及位置測(cè)量傳感器，將傳感器部件和噴嘴部件之間在垂直于所述基板表面的方向上的位置改變作為數(shù)字信號(hào)輸出。根據(jù)本發(fā)明，噴嘴部件的位置在垂直于所述基板表面的方向上相對(duì)于傳感器部件的位置的改變作為數(shù)字信號(hào)被輸出，而不產(chǎn)生電子等效噪聲。這使得精確地測(cè)量噴嘴和基板之間的距離以及大量減少缺陷百分比和設(shè)置噴嘴和基板之間的垂直距離的處理時(shí)間成為可能。
文檔編號(hào)B41J29/38GK1847014SQ2006100723
公開日2006年10月18日 申請(qǐng)日期2006年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月15日
發(fā)明者林永一 申請(qǐng)人:塔工程有限公司