本申請涉及光學(xué)系統(tǒng)，尤其涉及一種光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法及對準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)：

1、在使用光學(xué)系統(tǒng)的過程中，經(jīng)常會涉及光源與光學(xué)器件的對準(zhǔn)，例如在電子束檢測設(shè)備的輔助照明光學(xué)系統(tǒng)中，光源發(fā)出光線的光軸需要與凸透鏡的光軸重合。在對準(zhǔn)光源和光學(xué)器件時，通常會設(shè)置成像設(shè)備。但成像設(shè)備通常會占用較多的空間，影響光學(xué)系統(tǒng)中其他器件的布置。此外，成像相關(guān)的供電線路和信號傳輸線路也會增加系統(tǒng)的復(fù)雜程度，增加了對準(zhǔn)過程的成本，降低了對準(zhǔn)的效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請實施例提供了一種光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法及對準(zhǔn)裝置，能夠簡化光源和光學(xué)器件對準(zhǔn)過程，提高光源和光學(xué)器件對準(zhǔn)效率。

2、第一方面，本申請實施例提供了一種光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，光源組件具有一出光孔，對準(zhǔn)方法包括：設(shè)置并調(diào)節(jié)反射組件，以使光源組件發(fā)出的出射光束經(jīng)過反射組件回射，形成第一回射光束，第一回射光束射入出光孔；在光源組件和反射組件之間，設(shè)置并調(diào)節(jié)分光鏡，以使出射光束經(jīng)分光鏡，形成第一光束和第二光束，第一光束經(jīng)過反射組件回射，形成第二回射光束，第二回射光束與出射光束共線；在分光鏡和反射組件之間，設(shè)置并調(diào)節(jié)光學(xué)器件組，以使第一光束經(jīng)光學(xué)器件組，形成第三光束，第三光束經(jīng)反射組件回射至光學(xué)器件組，形成第三回射光束，第三回射光束經(jīng)過光學(xué)器件組，形成第四光束，第四光束與出射光束共線。

3、根據(jù)本申請第一方面的實施例，設(shè)置并調(diào)節(jié)反射組件之后，以及設(shè)置并調(diào)節(jié)分光鏡之前，還包括：在光源組件和反射組件之間，設(shè)置光闌組件，光闌組件包括光闌屏和光闌孔；調(diào)節(jié)光闌組件的位置和/或角度，以使部分的出射光束透過光闌孔，且第一回射光束透過光闌孔，并在光闌屏成像獲得衍射同心圓環(huán)。

4、根據(jù)本申請第一方面的實施例，反射組件包括角錐棱鏡；設(shè)置并調(diào)節(jié)反射組件，包括：調(diào)節(jié)角錐棱鏡的位置和/或角度，以使出射光束經(jīng)過反射組件回射，形成第一回射光束，第一回射光束射入出光孔。

5、根據(jù)本申請第一方面的實施例，分光鏡的一側(cè)表面設(shè)有反射膜；設(shè)置并調(diào)節(jié)分光鏡，包括：調(diào)整分光鏡的位置和/或角度，以使出射光束經(jīng)分光鏡，形成第一光束和第二光束，第一光束經(jīng)過反射組件回射，形成第二回射光束，第二回射光束經(jīng)過分光鏡反射形成第一反射光束，第一反射光束經(jīng)過反射膜反射后，與第二光束重合，代表第二回射光束與出射光束共線。

6、根據(jù)本申請第一方面的實施例，第二回射光束與出射光束共線，還包括：在分光鏡沿垂直出射光束的光軸方向的一側(cè)設(shè)置光屏，以使被反射膜反射后的第一反射光束與第二光束均在光屏成像，第一反射光束在光屏所成的像與第二光束在光屏所成的像重合，代表第二回射光束與出射光束共線。

7、根據(jù)本申請第一方面的實施例，設(shè)置并調(diào)節(jié)光學(xué)器件組，包括：在分光鏡和反射組件之間，設(shè)置光學(xué)器件組，調(diào)節(jié)光學(xué)器件組的位置和角度，以使第一光束經(jīng)光學(xué)器件組，形成第三光束，第三光束經(jīng)反射組件回射至光學(xué)器件組，形成第三回射光束，第三回射光束經(jīng)過光學(xué)器件組，形成第四光束，第四光束經(jīng)過分光鏡反射，形成第二反射光束，第二反射光束經(jīng)過反射膜反射，在光屏成像，第二反射光束在光屏所成的像與第二光束在光屏所成的像重合。

8、第二方面，本申請實施例提供了一種對準(zhǔn)裝置，對準(zhǔn)裝置用于光源組件與光學(xué)器件組的對準(zhǔn)；對準(zhǔn)裝置包括：分光鏡，設(shè)置于光源組件和光學(xué)器件組之間，分光鏡用于部分地反射且部分地透射光源組件發(fā)出的出射光束，以形成第一光束和第二光束，第一光束透過光學(xué)器件組，形成第三光束；反射組件，設(shè)置于光學(xué)器件組遠(yuǎn)離分光鏡的一側(cè)，反射組件用于回射第三光束，形成第三回射光束，第三回射光束經(jīng)過光學(xué)器件組形成第四光束，第四光束和出射光束用于判斷于光源組件與光學(xué)器件組是否對準(zhǔn)。

9、根據(jù)本申請第二方面的實施例，反射組件包括角錐棱鏡，角錐棱鏡包括入射面和錐角部；入射面用于接收第三光束，錐角部用于反射第三光束，并形成第三回射光束，使第三光束和第三回射光束平行或重合。

10、根據(jù)本申請第二方面的實施例，還包括：光闌組件，設(shè)置于光源組件和分光鏡之間，用于限制出射光束的直徑，且用于光源組件和分光鏡的輔助校準(zhǔn)。

11、根據(jù)本申請第二方面的實施例，分光鏡部分地反射第三回射光束，形成第二反射光束，分光鏡包括反射膜，反射膜用于反射第二反射光束；對準(zhǔn)裝置還包括：光屏，設(shè)置于分光組件的一側(cè)，光屏用于第二光束成像，且用于被反射膜反射后的第二反射光束成像。

12、本申請實施例提供的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法及對準(zhǔn)裝置中，利用光源組件發(fā)出出射光束，布設(shè)反射組件，使得反射組件反射的第一回射光束和出射光束重合；布設(shè)分光鏡，利用分光鏡形成第一光束和第二光束，第一光束經(jīng)過反射組件回射形成第二回射光束，第二回射光束與出射光束共線；布設(shè)光學(xué)器件組，第一光束經(jīng)光學(xué)器件組，形成第三光束，第三光束經(jīng)反射組件回射至光學(xué)器件組，形成第三回射光束，第三回射光束經(jīng)過光學(xué)器件組，形成第四光束，第四光束與出射光束共線，代表光源組件和光學(xué)器件組已經(jīng)對準(zhǔn)。本申請實施例的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法可以省去成像設(shè)備，從而簡化光源和光學(xué)器件的對準(zhǔn)過程，同時，可以提高光源和光學(xué)器件的對準(zhǔn)效率，并降低光源和光學(xué)器件對準(zhǔn)的成本。

技術(shù)特征：

1.一種光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，其特征在于，光源組件具有一出光孔，所述對準(zhǔn)方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，其特征在于，所述設(shè)置并調(diào)節(jié)反射組件之后，以及所述設(shè)置并調(diào)節(jié)分光鏡之前，還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，其特征在于，所述反射組件包括角錐棱鏡；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，其特征在于，所述分光鏡的一側(cè)表面設(shè)有反射膜；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，其特征在于，所述第二回射光束與所述出射光束共線，還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，其特征在于，所述設(shè)置并調(diào)節(jié)光學(xué)器件組，包括：

7.一種對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述對準(zhǔn)裝置用于光源組件與光學(xué)器件組的對準(zhǔn)；所述對準(zhǔn)裝置包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述反射組件包括角錐棱鏡，所述角錐棱鏡包括入射面和錐角部；所述入射面用于接收所述第三光束，所述錐角部用于反射所述第三光束，并形成所述第三回射光束，使所述第三光束和所述第三回射光束平行或重合。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述分光鏡部分地反射所述第三回射光束，形成第二反射光束，所述分光鏡包括反射膜，所述反射膜用于反射所述第二反射光束；

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法及對準(zhǔn)裝置。光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法，包括如下步驟：設(shè)置反射組件；調(diào)整反射組件；布設(shè)分光鏡；調(diào)整分光鏡；布設(shè)光學(xué)器件組；調(diào)整光學(xué)器件組。本申請公開的光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法及對準(zhǔn)裝置中，光源組件和光學(xué)器件組對準(zhǔn)方法可以省去成像設(shè)備，從而簡化光源和光學(xué)器件的對準(zhǔn)過程，同時，可以提高光源和光學(xué)器件的對準(zhǔn)效率，并降低光源和光學(xué)器件對準(zhǔn)的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：張建,王磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8