一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭，包括固定座、隔離罩、內(nèi)冷卻水循環(huán)通道、內(nèi)轉(zhuǎn)子、接電柱、外轉(zhuǎn)子、進(jìn)水口、出水口、及固定孔；固定座內(nèi)設(shè)第一凹槽；隔離罩縱剖面呈“山”字構(gòu)型，分外蓋、中柱、及二者之間的第二凹槽，外蓋封蓋在第一凹槽上，外轉(zhuǎn)子設(shè)于第一凹槽內(nèi)且包裹在外蓋外部，接電柱設(shè)在外蓋的頂端；內(nèi)轉(zhuǎn)子與第二凹槽內(nèi)壁緊密貼合，內(nèi)冷卻水循環(huán)通道位于中柱外側(cè)與內(nèi)轉(zhuǎn)子之間。本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)陰極端頭，真空、大氣之間采用磁力耦合密封，把動(dòng)密封改為了靜密封，解決了真空度保持差的問題，這種密封方式免維護(hù)，考慮到其他部件的壽命，可以確保每年維護(hù)一次，提高了端頭的使用可靠性。
【專利說明】
一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及磁控濺射設(shè)備配件，尤其涉及一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在使用的旋轉(zhuǎn)陰極端頭，真空、大氣之間采用骨架密封，骨架密封屬于動(dòng)密封范疇，也會(huì)逐步失效，這樣增加了端頭的使用不可靠性，維修率高，維修周期不確定，真空度保持差，實(shí)際使用時(shí)維修時(shí)間可能一個(gè)月或更長，給生產(chǎn)和工藝都造成了不確定性。
[0003]因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，需要改進(jìn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]—種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭，包括固定座、隔離罩、內(nèi)冷卻水循環(huán)通道、內(nèi)轉(zhuǎn)子、接電柱、外轉(zhuǎn)子、進(jìn)水口、出水口、及固定孔；固定座內(nèi)設(shè)第一凹槽;隔離罩縱剖面呈“山”字構(gòu)型，分外蓋、中柱、及二者之間的第二凹槽，外蓋封蓋在第一凹槽上，外轉(zhuǎn)子設(shè)于第一凹槽內(nèi)且包裹在外蓋外部，接電柱設(shè)在外蓋的頂端；內(nèi)轉(zhuǎn)子與第二凹槽內(nèi)壁緊密貼合，內(nèi)冷卻水循環(huán)通道位于中柱外側(cè)與內(nèi)轉(zhuǎn)子之間，進(jìn)水口、出水口、固定孔均設(shè)于固定座側(cè)壁，進(jìn)水口、出水口分別與內(nèi)冷卻水循環(huán)通道連通；固定座側(cè)壁還設(shè)有一水平弧形孔，用以露出外轉(zhuǎn)子的一部分弧長。
[0007]較佳地，所述水平弧形孔的弧度為30°?180°。
[0008]較佳地，所述中柱內(nèi)設(shè)一半開口的圓柱孔。
[0009]采用上述方案，本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)陰極端頭，真空、大氣之間采用磁力耦合密封，把動(dòng)密封改為了靜密封，解決了真空度保持差的問題，這種密封方式免維護(hù)，考慮到其他部件的壽命，可以確保每年維護(hù)一次，提高了端頭的使用可靠性。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的側(cè)視圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型的俯視圖；
[0012]圖3為圖2的A-A剖視圖；
[0013]圖4為圖3的分解圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0015]參照?qǐng)D1至圖4，本實(shí)用新型提供一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭，包括固定座1、隔離罩2、內(nèi)冷卻水循環(huán)通道3、內(nèi)轉(zhuǎn)子4、接電柱5、外轉(zhuǎn)子6、進(jìn)水口 7、出水口8、及固定孔9。
[0016]其中，固定座I設(shè)有半開口的第一凹槽，隔離罩2封蓋在第一凹槽上。
[0017]其中，隔離罩2縱剖面呈“山”字構(gòu)型，分外蓋21、中柱22、及二者之間的第二凹槽23，外蓋21封蓋在第一凹槽上，外轉(zhuǎn)子6設(shè)于第一凹槽內(nèi)且包裹在外蓋21外部，接電柱5設(shè)在外蓋21的頂端；內(nèi)轉(zhuǎn)子4與第二凹槽23內(nèi)壁緊密貼合，內(nèi)冷卻水循環(huán)通道3位于中柱22外側(cè)與內(nèi)轉(zhuǎn)子4之間；中柱22內(nèi)設(shè)一半開口的圓柱孔221，用于更好地固定外部的圓柱形靶材。
[0018]其中，固定座I外側(cè)壁還開設(shè)一水平弧形孔，其與第一凹槽連通，露出外轉(zhuǎn)子6的一部分弧長，露出的外轉(zhuǎn)子6用于導(dǎo)出皮帶與外部動(dòng)力源皮帶連接，因此，為使得皮帶連接方便，水平弧形孔的弧度在180°以內(nèi)，優(yōu)選地的弧度為30°?180°。固定座I外側(cè)還設(shè)有進(jìn)水口
7、出水口8、及固定孔9，進(jìn)水孔7、出水孔8分別與內(nèi)冷卻水循環(huán)通道3連通，固定孔9用于將該密封端頭整個(gè)固定在磁控濺射設(shè)備內(nèi)部。
[0019]本實(shí)用新型的工作原理:
[0020]參照?qǐng)D1至圖4，圓柱形靶材安裝在內(nèi)轉(zhuǎn)子4上，與內(nèi)轉(zhuǎn)子4的頭端外部固定連接，靶材冷卻循環(huán)水通過進(jìn)水口 7進(jìn)入端頭，經(jīng)過內(nèi)冷卻水循環(huán)通道3冷卻靶材，最后通過出水口 8流出，循環(huán)冷卻；靶材陰極電源通過接電柱5上電，整體端頭通過固定孔9固定在真空室內(nèi)壁;外轉(zhuǎn)子6外部通過皮帶輪帶動(dòng)，中間通過隔離罩2隔離，外轉(zhuǎn)子6通過磁場(chǎng)與內(nèi)轉(zhuǎn)子4耦合，帶動(dòng)內(nèi)轉(zhuǎn)子4旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)了真空的絕對(duì)密封。
[0021]以上僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭，其特征在于，包括固定座、隔離罩、內(nèi)冷卻水循環(huán)通道、內(nèi)轉(zhuǎn)子、接電柱、外轉(zhuǎn)子、進(jìn)水口、出水口、及固定孔；固定座內(nèi)設(shè)第一凹槽；隔離罩縱剖面呈“山”字構(gòu)型，分外蓋、中柱、及二者之間的第二凹槽，外蓋封蓋在第一凹槽上，外轉(zhuǎn)子設(shè)于第一凹槽內(nèi)且包裹在外蓋外部，接電柱設(shè)在外蓋的頂端；內(nèi)轉(zhuǎn)子與第二凹槽內(nèi)壁緊密貼合，內(nèi)冷卻水循環(huán)通道位于中柱外側(cè)與內(nèi)轉(zhuǎn)子之間，進(jìn)水口、出水口、固定孔均設(shè)于固定座側(cè)壁，進(jìn)水口、出水口分別與內(nèi)冷卻水循環(huán)通道連通；固定座側(cè)壁還設(shè)有一水平弧形孔，用以露出外轉(zhuǎn)子的一部分弧長。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭，其特征在于，所述水平弧形孔的弧度為30°~180°。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射旋轉(zhuǎn)磁密封端頭，其特征在于，所述中柱內(nèi)設(shè)一半開口的圓柱孔。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK205710899SQ201620681853
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年7月1日
【發(fā)明人】趙勇
【申請(qǐng)人】深圳市昊興科技有限公司