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防腐蝕三氟化氮電解槽的制作方法

文檔序號(hào):41843882發(fā)布日期:2025-05-09 18:02閱讀:3來源:國知局
防腐蝕三氟化氮電解槽的制作方法

本技術(shù)涉及電解槽設(shè)備,具體涉及防腐蝕三氟化氮電解槽。


背景技術(shù):

1、三氟化氮在電子行業(yè)中廣泛應(yīng)用于電路板蝕刻、液晶屏蝕刻及清洗、芯片制造、高能激光器等領(lǐng)域,因其優(yōu)異的蝕刻速率、選擇性和無殘留物質(zhì)的特性備受青睞。作為制備三氟化氮的關(guān)鍵設(shè)備,三氟化氮電解槽的性能直接影響產(chǎn)品質(zhì)量、收率及制備工藝的電耗。

2、典型的三氟化氮電解槽由槽體、陽極和陰極組成,多數(shù)采用隔膜隔開陽極室和陰極室。當(dāng)直流電通過電解槽時(shí),陽極與溶液界面處發(fā)生氧化反應(yīng),陰極與溶液界面處發(fā)生還原反應(yīng),以制取所需產(chǎn)品。

3、然而,三氟化氮具有強(qiáng)氧化性,能與多種物質(zhì)發(fā)生反應(yīng),包括金屬和非金屬,當(dāng)三氟化氮接觸電解槽內(nèi)壁時(shí),易腐蝕槽體的內(nèi)壁。另外,三氟化氮電解槽的陰極氣體收集腔和陽極氣體收集腔通常為間隔設(shè)計(jì),導(dǎo)致各部位的電位差不均衡。電解液揮發(fā)后,在稍低溫度的陽極上方密封蓋處冷凝形成電解液液膜,由于電位差存在,陽極上方密封蓋的金屬離子失去電子進(jìn)入液膜,從而形成局部腐蝕電流,進(jìn)而影響密封蓋的耐蝕性能。

4、現(xiàn)有技術(shù)中,通常采用在槽體的內(nèi)壁和密封蓋的內(nèi)表面襯鎳板或pfa涂層的方法來解決這一問題,但這些方法會(huì)增加制備成本。此外,襯pfa涂層的電解槽傳熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)繁瑣且傳熱效果較差,導(dǎo)致設(shè)備笨重且單位面積產(chǎn)量低。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種防腐蝕三氟化氮電解槽,以解決現(xiàn)有技術(shù)中電解槽的槽體內(nèi)壁易被三氟化氮腐蝕,以及電解槽內(nèi)易產(chǎn)生局部腐蝕電流影響密封蓋的耐蝕性能的問題。利用電解槽本身電路將槽體整體作為反應(yīng)陰極,并設(shè)置有降溫夾套對(duì)密封蓋進(jìn)行降溫,使揮發(fā)的電解液凝固成固體,避免形成局部腐蝕電流,從而提高電解槽的耐腐蝕性,并降低了電解槽的制備成本。

2、為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:

3、一種防腐蝕三氟化氮電解槽,包括:

4、槽體,采用碳鋼制成,用于容納電解液,所述槽體包括容納腔和頂部開口,所述槽體的外壁與外部電源的負(fù)極電連接;

5、密封蓋,用于封閉所述頂部開口;

6、陽極接線柱,穿設(shè)在所述密封蓋上,用于與所述外部電源的正極電連接;

7、陰極接線柱,穿設(shè)在所述密封蓋上,并與所述槽體的外壁電連接;

8、陰極板,設(shè)置在所述容納腔內(nèi),所述陰極板固定在所述陰極接線柱上,并與所述槽體的內(nèi)壁電連接;

9、陽極板,設(shè)置在所述容納腔內(nèi),并固定在所述陽極接線柱上;

10、降溫夾套,設(shè)置在所述密封蓋的頂部,用于給所述密封蓋降溫,所述降溫夾套的溫度小于所述電解液中電解質(zhì)的熔點(diǎn)溫度。

11、在一些實(shí)施方式中,所述陽極板的邊緣與所述槽體的內(nèi)壁間的間距為135mm~145mm。

12、在一些實(shí)施方式中,所述陽極板的邊緣設(shè)置有絕緣套管。

13、在一些實(shí)施方式中,所述槽體的外壁上設(shè)置有若干連接銅板,所述槽體通過所述連接銅板分別與所述外部電源的負(fù)極、所述陰極接線柱電連接。

14、在一些實(shí)施方式中,所述連接銅板與所述槽體焊接連接。

15、在一些實(shí)施方式中,所述密封蓋與所述陽極接線柱之間、所述密封蓋與所述陰極接線柱之間均設(shè)置有絕緣錐套。

16、由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用,本申請與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果在于:

17、本申請利用電解槽與外部電源原有的連接電路,將陰極板與槽體電連接,使槽體串聯(lián)進(jìn)該電路中,將槽體作為負(fù)電極,以確保在電解過程中槽體和陰極板能夠持續(xù)地提供電子給電解液中的正離子,進(jìn)而傳輸?shù)疥枠O板。這種設(shè)計(jì)可保證槽體不斷補(bǔ)充電子,以有效防止了槽體中金屬鐵失去電子變?yōu)槎r(jià)鐵離子并溶解入電解液,從而減少對(duì)槽體的腐蝕。

18、此外,在密封蓋的頂部設(shè)置了降溫夾套,其溫度低于電解液中電解質(zhì)的熔點(diǎn)溫度。在電解過程中,降溫夾套使得揮發(fā)到密封蓋上的電解液能迅速凝固成不導(dǎo)電的固體,有效阻止局部腐蝕電流的形成,避免對(duì)密封蓋造成腐蝕。



技術(shù)特征:

1.一種防腐蝕三氟化氮電解槽,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的防腐蝕三氟化氮電解槽,其特征在于,所述陽極板的邊緣與所述槽體的內(nèi)壁間的間距為135mm~145mm。

3.如權(quán)利要求1所述的防腐蝕三氟化氮電解槽,其特征在于,所述陽極板的邊緣設(shè)置有絕緣套管。

4.如權(quán)利要求1所述的防腐蝕三氟化氮電解槽,其特征在于,所述槽體的外壁上設(shè)置有若干連接銅板,所述槽體通過所述連接銅板分別與所述外部電源的負(fù)極、所述陰極接線柱電連接。

5.如權(quán)利要求4所述的防腐蝕三氟化氮電解槽,其特征在于,所述連接銅板與所述槽體焊接連接。

6.如權(quán)利要求1所述的防腐蝕三氟化氮電解槽,其特征在于,所述密封蓋與所述陽極接線柱之間、所述密封蓋與所述陰極接線柱之間均設(shè)置有絕緣錐套。


技術(shù)總結(jié)
本申請公開防腐蝕三氟化氮電解槽包括槽體,采用碳鋼制成,包括容納腔和頂部開口,槽體的外壁與外部電源的負(fù)極電連接;密封蓋,用于封閉頂部開口;陽極接線柱,穿設(shè)在密封蓋上,用于與外部電源的正極電連接;陰極接線柱,穿設(shè)在密封蓋上,并與槽體的外壁電連接;陰極板,設(shè)置在容納腔內(nèi),陰極板固定在陰極接線柱上,并與槽體的內(nèi)壁電連接;陽極板,設(shè)置在容納腔內(nèi),并固定在陽極接線柱上;降溫夾套,設(shè)置在密封蓋的頂部,用于給密封蓋降溫,降溫夾套的溫度小于電解液中電解質(zhì)的熔點(diǎn)溫度。本申請將槽體串聯(lián)至電路中,使其成為負(fù)電載體,以持續(xù)補(bǔ)充電子,從而避免腐蝕,此外設(shè)置降溫夾套,防止局部腐蝕電流形成,避免對(duì)密封蓋造成腐蝕。

技術(shù)研發(fā)人員:嚴(yán)海峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:松瓷科技(上海)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240729
技術(shù)公布日:2025/5/8
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