專利名稱：磁盤用玻璃基板和磁記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及磁盤用玻璃基板及其評(píng)價(jià)方法。
背景技術(shù)：
近年來，隨著信息化技術(shù)的高度化，信息記錄技術(shù)、特別是磁記錄技術(shù)顯著地進(jìn)
止/J/ O作為這樣的磁記錄技術(shù)之一的HDD (硬盤驅(qū)動(dòng)器)，以在盤狀的基板的表面具有由磁性體薄膜構(gòu)成的磁記錄層的磁盤、使磁盤高速旋轉(zhuǎn)的主軸馬達(dá)、安裝在搖臂的前端，在磁盤的磁記錄層上讀寫磁數(shù)據(jù)的磁頭、和使磁頭沿磁盤上的半徑方向移動(dòng)的定位裝置為主要的構(gòu)成要素(專利文獻(xiàn)I)。因?yàn)橄鄬?duì)于形成在磁盤的兩主表面的磁記錄層分別相對(duì)配置有磁頭，所以每I個(gè)磁盤具有2個(gè)磁頭是一般的結(jié)構(gòu)。在這里，作為磁記錄介質(zhì)用基板，鋁基板曾經(jīng)被廣泛地使用。可是，隨著磁盤的小型化、薄板化和高密度記錄化，近年來，與鋁基板相比，基板表面的平坦性和基板強(qiáng)度優(yōu)異的玻璃基板的需求提高。玻璃基板以往例如如專利文獻(xiàn)2的
段所示，將玻璃形成圓盤狀并進(jìn)行倒角，研磨端面和主表面，之后實(shí)施用于提高耐沖擊性、耐振動(dòng)性的化學(xué)強(qiáng)化處理而制造(專利文獻(xiàn)2)。這樣制造的玻璃基板通過在兩面設(shè)置磁性層等記錄層，被作為磁記錄介質(zhì)而利用。在這里，在磁盤用玻璃基板的情況下，為了連結(jié)主軸馬達(dá)而設(shè)有內(nèi)孔，但是為了防止旋轉(zhuǎn)時(shí)的振擺、隨著該振擺的TMR(Track Mis Registration),內(nèi)孔的形狀優(yōu)選接近于正圓。作為表示正圓的接近程度的指標(biāo)，一般周知有正圓度。正圓度是表示從圓形形體的幾何學(xué)上的真正的圓偏移的大小的指標(biāo)，以往的定義，例如根據(jù)Jis標(biāo)準(zhǔn)被定義為“由2個(gè)同心的幾何學(xué)上的圓夾著圓形形體時(shí)，同心圓的間隔為最小情況下的、2圓半徑之差”(非專利文獻(xiàn)I)。即，在磁盤用基板的內(nèi)孔的情況下，測(cè)量沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓，輪廓的最大值的外接圓與最小值的內(nèi)接圓的差值是正圓度。另外，在本申請(qǐng)中所說的外接圓，是上述正圓度的定義中的2個(gè)同心圓中的半徑大的圓(輪廓中接近最外側(cè)的圓)。此外，內(nèi)接圓是半徑小的圓(輪廓中接近最內(nèi)側(cè)的圓)。另外，磁盤用玻璃基板通常被大量生產(chǎn)，由于正圓度產(chǎn)生偏差，所以以偏差被收納在規(guī)定的數(shù)值范圍(尺寸公差)內(nèi)的方式制造。此外，從另一觀點(diǎn)出發(fā)，在磁盤用玻璃基板的情況下，為了與主軸馬達(dá)連結(jié)而設(shè)有圓孔，但是為了使旋轉(zhuǎn)時(shí)的振擺、TMR (Track Mis Registration)為最小限,優(yōu)選圓孔的中心與外周端描畫的圓的中心重合。
但是，在磁盤用玻璃基板的情況下，由于實(shí)際上外周端和圓孔并不描畫正圓，成為具有凹凸形狀的環(huán)狀的形狀，所以需要表示這樣的形狀的中心的重合度的指標(biāo)。作為評(píng)價(jià)該重合的程度的指標(biāo)是同心度(同軸度)。所謂同軸度，在JIS (日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn))中被定義為“以具有共同的軸線的方式被配置的2個(gè)機(jī)械部分的軸線不重合的程度。對(duì)于2條線或2個(gè)軸，以在指定的長(zhǎng)度中的幾個(gè)點(diǎn)測(cè)量到的它們的距離表示。在該距離不超過容許值時(shí)，被看作是同軸、重合、或?qū)π?保持對(duì)準(zhǔn))。在2個(gè)軸的情況下，擺動(dòng)地測(cè)量安裝在一個(gè)軸上的試驗(yàn)指示器的情況下的讀出的最大差的1/2為同軸度。”(非專利文獻(xiàn)2)。在如磁盤用基板那樣的圓板的情況下，由于存在外徑(外周)和內(nèi)徑(內(nèi)周)部分的2個(gè)輪廓，一般例如以外周輪廓的最小二乘圓中心與內(nèi)周輪廓的最小二乘圓中心的差值為同軸度。另外，磁盤用玻璃基板通常被大量生產(chǎn)，由于同軸度產(chǎn)生偏差，所以以偏差被收納在規(guī)定的數(shù)值范圍(尺寸公差)內(nèi)的方式制造。另外，從另一觀點(diǎn)出發(fā)，在磁盤用玻璃基板的情況下，與磁盤所要求的板厚相應(yīng)地形成為規(guī)定的板厚，但是為了防止旋轉(zhuǎn)時(shí)的振擺、隨著該振擺的TMR (Track MisRegistration),優(yōu)選玻璃基板的板厚是恒定值。作為玻璃基板的板厚的定義，以往，以在玻璃基板上一點(diǎn)或多個(gè)點(diǎn)所測(cè)量到的兩主表面間的距離表示(專利文獻(xiàn)3)。另外，磁盤用玻璃基板通常被大量生產(chǎn)，由于板厚產(chǎn)生偏差，所以以偏差被收納在規(guī)定的數(shù)值范圍(尺寸公差)內(nèi)的方式制造。專利文獻(xiàn)1:日本特開2001 - 243735號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2000 - 076652號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本特開平8 - 147691號(hào)公報(bào)非專利文獻(xiàn)I JIS B 0621 — 1984非專利文獻(xiàn)2 JISB0182 :1993作業(yè)機(jī)械一試驗(yàn)和檢查用語

發(fā)明內(nèi)容
在這里，由于近年來的HDD的高記錄密度化和高速旋轉(zhuǎn)化的加速，存在以下的傾向，即，與以往相比，由于TMR的影響、即磁盤的晃動(dòng)(Flattering),在磁盤上上浮的磁頭丟失包含記錄其半徑/磁道位置信息的跟蹤信息的伺服信息的現(xiàn)象變得更加顯著。其主要原因在于，因記錄密度提高引起的磁道窄幅化并且因高速旋轉(zhuǎn)引起的磁盤的機(jī)械振動(dòng)而造成的讀取錯(cuò)誤。因此，在磁盤用玻璃基板上，為了防止磁頭因磁盤的磁道窄幅化、HDD的高速旋轉(zhuǎn)而丟失包含跟蹤信息的伺服信息，為了能夠穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)，例如要求(A)正圓度、(B)同軸度、(C)玻璃的板厚也與以往相比具有更高的精度，該要求一般在具有80GB以上/5400rpm以上的性能的HDD中變得明顯?？墒牵谏鲜?A)正圓度的情況下，即使以以往的正圓度的定義管理尺寸公差而制造了磁盤用玻璃基板的情況下，在以該玻璃基板作為磁盤而制造了 HDD時(shí)，也有時(shí)無法完全地防止丟失伺服信息的現(xiàn)象(第I課題)。
S卩，即使是具有相同的正圓度的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板，也混合有能排除上述那樣的TMR的影響的玻璃基板和無法排除上述那樣的TMR的影響的玻璃基板，存在到目前為止那樣的、僅單純地由外形/內(nèi)孔輪廓的最大值的外接圓與最小值的內(nèi)接圓的差值這樣的參數(shù)無法明確地區(qū)分其好壞的情況，無法明確TMR與平面形狀的因果關(guān)系。本發(fā)明的第I技術(shù)方案是為了改善這樣的第I問題點(diǎn)而提出的，其目的在于提供一種在做成HDD時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定地讀出記錄于磁盤中的包含跟蹤信息的伺服信息的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。接著，在(B)同軸度的情況下，即使以以往的同軸度的定義管理尺寸公差而制造了磁盤用玻璃基板的情況下，在將該玻璃基板作為磁盤而制造了 HDD時(shí)，也有時(shí)無法完全地防止丟失伺服信息的現(xiàn)象(第2課題)。即，即使是具有相同的同軸度的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板，也混合有能排除上述那樣的TMR的影響的玻璃基板和無法排除上述那樣的TMR的影響的玻璃基板，存在到目前為止那樣的、僅單純地由外孔/內(nèi)孔輪廓中心的中心間距離這樣的參數(shù)無法明確地區(qū)分其好壞的情況，無法明確TMR與平面形狀的因果關(guān)系。本發(fā)明的第2技術(shù)方案是為了改善這樣的第2問題點(diǎn)而提出的，其目的在于提供一種在做成HDD時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定地讀出記錄于磁盤中的包含跟蹤信息的伺服信息的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。接著，在(C)玻璃的板厚的情況下，即使以以往的板厚的定義管理尺寸公差而制造了磁盤用玻璃基板的情況下，在將該玻璃基板作為磁盤而制造了 HDD時(shí)，也有時(shí)無法完全地防止丟失伺服信息的現(xiàn)象(第3課題)。S卩，即使是具有相同的板厚的磁盤用玻璃基板，也混合有能排除上述那樣的TMR的影響的玻璃基板和無法排 除上述那樣的TMR的影響的玻璃基板，存在到目前為止那樣的、僅單純地由在玻璃基板上的一點(diǎn)或多個(gè)點(diǎn)測(cè)量到的兩主表面間的距離這樣的參數(shù)無法明確地區(qū)分其好壞的情況，無法明確TMR與平面形狀的因果關(guān)系。本發(fā)明的第3技術(shù)方案是為了改善這樣的第3問題點(diǎn)而提出的，其目的在于提供一種在做成HDD時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定地讀出記錄于磁盤中的包含跟蹤信息的伺服信息的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。本發(fā)明人為了解決上述第I課題，進(jìn)行了潛心研究，其結(jié)果，著眼于以往的正圓度的定義只不過是表示內(nèi)孔的輪廓的最大值與最小值的差值的指標(biāo)，未考慮輪廓的偏差、位置依賴性這樣的點(diǎn)。S卩，著眼于在以往的正圓度的定義中，內(nèi)孔形狀的起伏(凹凸)無論是在偏置于特定的部位的情況下，還是在均等地存在的情況下，只要最大值和最小值相同，正圓度被評(píng)價(jià)為相同。因此，本發(fā)明人進(jìn)一步反復(fù)地研究，其結(jié)果，通過將也考慮到內(nèi)孔的形狀的偏差、起伏的位置的指標(biāo)用作評(píng)價(jià)內(nèi)孔的形狀的指標(biāo)，發(fā)現(xiàn)能夠把握TMR與內(nèi)孔的形狀的因果關(guān)系，最后完成了弟I技術(shù)方案。具體而言，為了解決上述第I課題，第I技術(shù)方案具有以下的構(gòu)成。(構(gòu)成I一 I) 一種磁盤用玻璃基板，其特征在于，該磁盤用玻璃基板具有內(nèi)孔，表示上述內(nèi)孔的輪廓中的凹凸形狀的偏置的參數(shù)位于規(guī)定的范圍內(nèi)。
(構(gòu)成I一 2)根據(jù)構(gòu)成I 一 I所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述參數(shù)具有上述內(nèi)孔的輪廓與上述內(nèi)孔的輪廓的最小值的內(nèi)接圓或最小二乘圓的、徑向的差值。(構(gòu)成I一 3)根據(jù)構(gòu)成I 一 2所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述差值是從通過上述內(nèi)徑輪廓的最小二乘中心法求出的圓的中心相對(duì)于上述內(nèi)孔的輪廓的最小值的內(nèi)接圓或最小二乘圓引出的直線上的、上述內(nèi)孔的輪廓與上述內(nèi)接圓或最小二乘圓之間的差。(構(gòu)成I一 4)根據(jù)構(gòu)成I 一 I I 一 3中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板,其特征在于，上述規(guī)定的范圍具有由上述參數(shù)與磁盤平衡或TMR (Track Mis Registration)特性的相關(guān)性規(guī)定的范圍。(構(gòu)成I一 5)根據(jù)構(gòu)成I 一 2 I 一 4中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板,其特征在于，上述規(guī)定的范圍具有由規(guī)定上述差值的分布狀態(tài)的偏度和/或峰度與磁盤平衡或TMR(Track Mis Registration)特性的相關(guān)性規(guī)定的范圍。(構(gòu)成I一 6)根據(jù)構(gòu)成I 一 5所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述磁盤平衡或 TMR (Track Mis Registration)特性是軸向位移 3s。(構(gòu)成I— 7)根據(jù)構(gòu)成I — 6所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述規(guī)定的范圍是在偏度和/或峰度與軸向位移3s的相關(guān)圖中，軸向位移3s成為恒定值的平坦部的、偏度和/或峰度的上下限以內(nèi)的范圍。(構(gòu)成I一 8) —種磁記錄介質(zhì),其特征在于,該磁記錄介質(zhì)具有構(gòu)成I 一 I I 一7中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板、和設(shè)于上述玻璃基板的主表面的底層、磁性層、保護(hù)層、潤(rùn)滑層。(構(gòu)成I一 9)一種磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，判斷表示具有內(nèi)孔的磁盤用玻璃基板的上述內(nèi)孔的輪廓中的凹凸形狀的偏置的參數(shù)是否位于規(guī)定的范圍內(nèi)。(構(gòu)成I一 10)根據(jù)構(gòu)成I 一 9所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，上述參數(shù)具有上述內(nèi)孔的輪廓與上述內(nèi)孔的輪廓的最小值的內(nèi)接圓或最小二乘圓的、徑向
的差值。(構(gòu)成I— 11)根據(jù)構(gòu)成I — 10所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，上述差值是從通過上述內(nèi)徑輪廓的最小二乘中心法求出的圓的中心相對(duì)于上述內(nèi)孔的輪廓的最小值的內(nèi)接圓或最小二乘圓引出的直線上的、上述內(nèi)孔的輪廓與上述內(nèi)接圓或最小二乘圓之間的差。(構(gòu)成I— 12)根據(jù)構(gòu)成I — 10或I — 11所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，上述規(guī)定的范圍具有由上述參數(shù)與磁盤平衡或TMR (Track Mis Registration)特性的相關(guān)性規(guī)定的范圍。(構(gòu)成I一 13)根據(jù)構(gòu)成I 一 10 I 一 12中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，上述規(guī)定的范圍具有規(guī)定上述差值的分布狀態(tài)的偏度和/或峰度與磁盤平衡或TMR (Track Mis Registration)特性的相關(guān)性規(guī)定的范圍。(構(gòu)成I— 14)根據(jù)構(gòu)成I — 13所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，上述磁盤平衡或TMR (Track Mis Registration)特性是軸向位移3s。(構(gòu)成I一 15)根據(jù)構(gòu)成I 一 14所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法，其特征在于，上述規(guī)定的范圍是在偏度和/或峰度與軸向位移3s的相關(guān)圖中，軸向位移3s成為恒定值的平坦部的、偏度和/或峰度的上下限以內(nèi)的范圍。(構(gòu)成I一 16) —種磁盤用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在工序中具有構(gòu)成I 一 9 I 一 15中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板的評(píng)價(jià)方法。另一方面，本發(fā)明人為了解決上述第2課題，進(jìn)行了潛心研究，其結(jié)果，著眼于以往的同軸度的定義一般由用最小二乘圓而平均化了的輪廓彼此的中心間距離表現(xiàn)，未考慮內(nèi)外周的輪廓的偏差，以及未考慮輪廓的相對(duì)的偏置的這些點(diǎn)。即著眼于，在以往的同軸度的定義中，內(nèi)外周的起伏(凹凸)無論偏置在特定的部位的情況下，還是均等地存在的情況下，只要最小二乘圓相同，同軸度就被評(píng)價(jià)為相同的值。因此，本發(fā)明人進(jìn)一步反復(fù)進(jìn)行了研究，其結(jié)果，作為評(píng)價(jià)同軸度的指標(biāo)，不僅使用以往的指標(biāo)，還使用也考慮了內(nèi)外周的輪廓的偏差、相對(duì)的偏置的指標(biāo)，發(fā)現(xiàn)能夠把握與TMR的因果關(guān)系，最后完成了第2技術(shù)方案。具體而言，為了解決上述第2課題，第2技術(shù)方案具有以下的構(gòu)成。

(構(gòu)成2— I)一種磁盤用玻璃基板,其特征在于，由表不具有內(nèi)孔的玻璃基板的外周形狀的輪廓和內(nèi)周形狀的輪廓中的凹凸形狀的偏置的參數(shù)、和上述外周形狀與內(nèi)周形狀的中心位置差規(guī)定的評(píng)價(jià)值，位于規(guī)定的范圍內(nèi)。(構(gòu)成2- 2)根據(jù)構(gòu)成2 -1所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述參數(shù)具有外周形狀的輪廓和內(nèi)周形狀的輪廓各自與各最小二乘圓的徑向的差值。(構(gòu)成2- 3)根據(jù)構(gòu)成2 - 2所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述差值是從通過上述外周形狀的輪廓和內(nèi)周形狀的上述輪廓各自的最小二乘中心法求出的圓的中心相對(duì)于各最小二乘圓引出的直線上的、上述輪廓與上述最小二乘圓之間的差。(構(gòu)成2— 4)根據(jù)構(gòu)成2 — I 2 — 3中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板,其特征在于，上述中心位置差是通過外周形狀的輪廓和內(nèi)周形狀的輪廓的最小二乘中心法求出的圓的中心間的差。(構(gòu)成2- 5)根據(jù)構(gòu)成2 - 4所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述參數(shù)具有規(guī)定上述差值的柱狀圖的分布狀態(tài)的偏度。(構(gòu)成2- 6)根據(jù)構(gòu)成2 - 5所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于，上述評(píng)價(jià)值是從由以下的數(shù)式(I)、(2)表示的式中求出的修正同軸度(Amendment Concentricity、AC)。數(shù)學(xué)式I
權(quán)利要求
1.一種磁盤用玻璃基板，該磁盤用玻璃基板具有內(nèi)孔，其特征在于， 通過沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(I)所示的Sk的值在O. 55 一 O. 55的范圍內(nèi)，
2.—種磁盤用玻璃基板，該磁盤用玻璃基板具有內(nèi)孔，其特征在于， 從通過沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(2)所示的Ku的值減去3而得到的值(Ku — 3)在1.6 一1.6的范圍內(nèi)，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 從通過沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(3)所示的Ku的值減去3而得到的值(Ku — 3)在1.6 一1.6的范圍內(nèi)，
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 正圓度是5. 5 μ m以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 該磁盤用玻璃基板是與每I張2. 5英寸的盤的記錄容量是80GByte以上的磁盤相對(duì)應(yīng)的玻璃基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板,其特征在于， 使用通過沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(4)所示的Skm的值、通過磁盤用玻璃基板的外形的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(4)所示的Skm的值、和同軸度C的值算出的下述數(shù)式(4)所示的AC的值是9. 6 μ m以下，
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 下述數(shù)式(7)、(8)所示的、通過距磁盤用玻璃基板的中心的徑向的位置與板厚的關(guān)系求出的M值(X IO6) mm3在20以內(nèi)，
8.—種磁記錄介質(zhì)，其特征在于，具有 權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板；以及 設(shè)于上述玻璃基板的主表面的底層、磁性層、保護(hù)層、潤(rùn)滑層。
9.一種磁盤用玻璃基板，該磁盤用玻璃基板具有內(nèi)孔，其特征在于， 使用通過沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(I)所示的Skm的值、通過磁盤用玻璃基板的外形的形狀輪廓算出的下述數(shù)式(I)所示的Skm的值、和同軸度C的值算出的下述數(shù)式(I)所示的AC的值是9. 6 μ m以下，
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 下述數(shù)式(4)、(5)所示的、通過距磁盤用玻璃基板的中心的徑向的位置與板厚的關(guān)系求出的M值(X106) mm3在20以內(nèi)，
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 上述同軸度C是7 μ m以下。
12.根據(jù)權(quán)利要求9 11中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 該磁盤用玻璃基板是與每I張2. 5英寸的盤的記錄容量是80GByte以上的磁盤相對(duì)應(yīng)的玻璃基板。
13.—種磁記錄介質(zhì)，其特征在于，具有 權(quán)利要求9 12中任一項(xiàng)所述的磁盤用玻璃基板；以及 設(shè)于上述玻璃基板的主表面的底層、磁性層、保護(hù)層、潤(rùn)滑層。
14.一種磁盤用玻璃基板，該磁盤用玻璃基板具有內(nèi)孔，其特征在于， 下述數(shù)式(I)、(2)所示的、通過距磁盤用玻璃基板的中心的徑向的位置與板厚的關(guān)系求出的M值(X106) mm3在20以內(nèi)，
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁盤用玻璃基板，其特征在于， 該磁盤用玻璃基板是與每I張2. 5英寸的盤的記錄容量是80GByte以上的磁盤相對(duì)應(yīng)的玻璃基板。
16.一種磁記錄介質(zhì)，其特征在于，具有 權(quán)利要求14或15所述的磁盤用玻璃基板；以及 設(shè)于上述玻璃基板的主表面的底層、磁性層、保護(hù)層、潤(rùn)滑層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在做成HDD時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定地讀出記錄于磁盤中的包含跟蹤信息的伺服信息的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。本發(fā)明的玻璃基板(1)的通過沿著內(nèi)孔的整周的形狀輪廓算出的Sk和/或Ku、或考慮了偏度的修正同軸度(AC)的值在規(guī)定的范圍內(nèi)。
文檔編號(hào)G11B5/73GK103035255SQ20121036663
公開日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月5日
發(fā)明者西森賢一 申請(qǐng)人:Hoya株式會(huì)社, Hoya玻璃磁盤(泰國(guó))公司