芯片esd保護(hù)電路的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種芯片ESD保護(hù)電路，包括集成電路層和導(dǎo)電層，其中集成電路層中第一電源域和第二電源域上分別設(shè)置有與第一電源域的第一地線連接的第一地焊盤，且第一地焊盤鍵合在導(dǎo)電層上；第二電源域上設(shè)置有第二電源鉗位單元，第二電源鉗位單元的第一端與第二電源域的第二電源線連接，第二端與第一地線或第二電源域的第二地線連接；第二電源域上還設(shè)置有雙向ESD保護(hù)電路，雙向ESD保護(hù)電路設(shè)置在第一地線連接與第二地線之間。通過本發(fā)明可以提高芯片的ESD保護(hù)能力，降低芯片版圖面積。
【專利說明】
芯片ESD保護(hù)電路
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 本發(fā)明屬于集成電路領(lǐng)域，具體涉及一種芯片ESD(Electrostatic Discharge，靜電放電)保護(hù)電路。
【背景技術(shù)】
[0002]ESD是影響集成電路可靠性的一個重要因素。在芯片制造、封裝、測試、運輸、使用全過程中，都不可避免的產(chǎn)生靜電電荷的積累及相應(yīng)的放電現(xiàn)象。芯片受到ESD損壞，可導(dǎo)致芯片功能失效、漏電增大、能力降低。
[0003]隨著集成電路工藝的發(fā)展，越來越多的電路模塊被集成到一個芯片上。比如，混合信號集成電路同時包含了模擬電路和數(shù)字電路，它們的電源電壓可能相同，也可能不同。為了降低噪聲，通常針對電源電壓不同的電路采用不同的電源域，而在不同電源域的界面電路上可能會產(chǎn)生異常的ESD損傷。
[0004]目前，在對芯片進(jìn)行ESD保護(hù)時通常采用在集成電路板上設(shè)置ESD總線的方式。隨著芯片中電源域數(shù)量的增加、芯片尺寸的增大，需要對ESD總線的尺寸進(jìn)行改進(jìn)。芯片尺寸越大，ESD總線長度越大，如果保持ESD總線寬度不變，那么ESD總線長度的增加導(dǎo)致走線寄生電阻的增大，從而增加ESD泄流通路的寄生電阻，導(dǎo)致ESD保護(hù)能力下降。如果保持ESD總線的寄生電阻不變，那么要求ESD總線的寬度等比例增加，這就要求芯片版圖面積進(jìn)一步增加，與此同時芯片的寄生電容也會增大，這會導(dǎo)致集成電路速度降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種芯片ESD保護(hù)電路，以解決現(xiàn)有多電源域集成電路的芯片ESD保護(hù)方式保護(hù)能力較低以及為實現(xiàn)ESD保護(hù)而出現(xiàn)的芯片版圖面積較大、集成電路速度降低的問題。
[0006]根據(jù)本發(fā)明實施例的第一方面，提供一種芯片ESD保護(hù)電路，包括集成電路層和導(dǎo)電層，其中所述集成電路層中第一電源域和第二電源域上分別設(shè)置有與所述第一電源域的第一地線連接的第一地焊盤，且所述第一地焊盤鍵合在所述導(dǎo)電層上；
[0007]所述第二電源域上設(shè)置有第二電源鉗位單元，所述第二電源鉗位單元的第一端與所述第二電源域的第二電源線連接，第二端與所述第一地線或所述第二電源域的第二地線連接;所述第二電源域上還設(shè)置有雙向ESD保護(hù)電路，所述雙向ESD保護(hù)電路設(shè)置在所述第一地線連接與所述第二地線之間。
[0008]在一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第一電源域上設(shè)置有第一電源鉗位單元，所述第一電源鉗位單元的第一端連接所述第一電源域的第一電源線，第二端連接所述第一地線。
[0009]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第二電源線與第二電源焊盤連接;所述第一電源線與第一電源焊盤連接。
[0010]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第二電源域上還設(shè)置有第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路，所述第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路的第一端連接所述第二電源域的第二輸入/輸出焊盤，第二端連接所述第一電源線或所述第二電源線，第三端連接所述第一地線或所述第二地線。
[0011]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第一電源域上還設(shè)置有第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路，所述第一輸入/輸出E S D保護(hù)電路的第一端連接所述第一電源域的第一輸入/輸出焊盤，第二端連接所述第一電源線或所述第二電源線，第三端連接所述第一地線。
[0012]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第二電源域中的第一地焊盤位于所述第二電源域中各個第二輸入/輸出焊盤中間位置處。
[0013]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述導(dǎo)電層為熱沉，或者管殼襯底上涂敷的導(dǎo)電層。
[0014]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第二輸入/輸出焊盤通過所述第二電源域的內(nèi)部電路連接所述第二電源線和所述第二地線。
[0015]在另一種可選的實現(xiàn)方式中，所述第一輸入/輸出焊盤通過所述第一電源域的內(nèi)部電路連接所述第一電源線和所述第一地線。
[0016]本發(fā)明的有益效果是:
[0017]1、本發(fā)明通過設(shè)置導(dǎo)電層以及與導(dǎo)電層鍵合，并在第一電源域和第二電源域分別設(shè)置的與第一電源域中第一地線連接的第一地焊盤，可以在兩個電源域之間提供一條低阻抗靜電泄流路徑。由于電源域之間的靜電泄放可以不通過片內(nèi)ESD總線形成泄放路徑，而是通過導(dǎo)電層形成一條低阻抗泄流通路，而導(dǎo)電層的阻抗非常小，幾乎不會隨著芯片面積增大而增大，因此本發(fā)明可以提高ESD保護(hù)能力，同時降低版圖面積，并且不會引起額外寄生電容的增加，適用于多電源域高速、大尺寸集成電路中的ESD設(shè)計應(yīng)用；
[0018]2、本發(fā)明通過使電源域的輸入/輸出焊盤通過輸入/輸出ESD保護(hù)電路分別連接對應(yīng)的電源線和地線，可以對輸入/輸出焊盤提供靜電保護(hù)，從而可以避免靜電流對芯片正常工作的影響，提高芯片工作的穩(wěn)定性；
[0019]3、本發(fā)明通過使第二電源域的第一地焊盤位于其各個輸入/輸出焊盤中間位置處，由此在靜電流泄放過程中，從各個輸入/輸出焊盤輸入的靜電流可以沿著較短電源線或地線傳輸至第一地焊盤，從而可以降低電源域之間的靜電流泄放路徑中的阻抗，提高芯片的ESD保護(hù)能力。
【附圖說明】
[0020]圖1是本發(fā)明芯片ESD保護(hù)電路的一個實施例結(jié)構(gòu)圖；
[0021]圖2是本發(fā)明芯片ESD保護(hù)電路的另一個實施例結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0022]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，并使本發(fā)明實施例的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例中技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0023]在本發(fā)明的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說明的是，術(shù)語“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是機(jī)械連接或電連接，也可以是兩個元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語的具體含義。
[0024]本發(fā)明實施例中，芯片ESD保護(hù)電路可以包括集成電路層和導(dǎo)電層，其中所述集成電路層中第一電源域和第二電源域上分別設(shè)置有與所述第一電源域的第一地線連接的第一地焊盤，且所述第一地焊盤鍵合在所述導(dǎo)電層上;所述第二電源域上設(shè)置有第二電源鉗位單元，所述第二電源鉗位單元的第一端與所述第二電源域的第二電源線連接，第二端與所述第一地線或所述第二電源域的第二地線連接;所述第二電源域上還設(shè)置有雙向ESD保護(hù)電路，所述雙向ESD保護(hù)電路設(shè)置在所述第一地線與所述第二地線之間。所述第一電源域上設(shè)置有第一電源鉗位單元，所述第一電源鉗位單元的第一端連接所述第一電源域的第一電源線，第二端連接所述第一地線。所述第二電源線與第二電源焊盤連接，所述第一電源線與第一電源焊盤連接。由此，可以實現(xiàn)第一電源域與第二電源域中任意兩個端口產(chǎn)生的靜電流的泄放。其中，第一電源域和第二電源域中的第一地焊盤都可以通過鍵合絲鍵合在導(dǎo)電層上。
[0025]另外，所述第二電源域上還設(shè)置有第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路，所述第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路的第一端連接所述第二電源域的第二輸入/輸出焊盤，第二端連接所述第一電源線或所述第二電源線，第三端連接所述第一地線或所述第二地線。所述第一電源域上還設(shè)置有第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路，所述第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路的第一端連接所述第一電源域的第一輸入/輸出焊盤，第二端連接所述第一電源線或所述第二電源線，第三端連接所述第一地線。所述第二電源域中的第一地焊盤位于所述第二電源域中各個第二輸入/輸出焊盤中間位置處。所述導(dǎo)電層為熱沉，或者管殼襯底上涂敷的導(dǎo)電層。所述第二輸入/輸出焊盤通過所述第二電源域的內(nèi)部電路連接所述第二電源線和所述第二地線。所述第一輸入/輸出焊盤通過所述第一電源域的內(nèi)部電路連接所述第一電源線和所述第一地線。
[0026]參見圖1，為本發(fā)明芯片ESD保護(hù)電路的一個實施例結(jié)構(gòu)圖。該芯片ESD保護(hù)電路，包括集成電路層和導(dǎo)電層I，其中所述集成電路層中第一電源域51上可以設(shè)置有與所述第一電源域51的第一地線31連接的第一地焊盤21，第二電源域52上可以設(shè)置有第一地焊盤23，且所述第一地焊盤21和23都可以通過鍵合絲9鍵合在所述導(dǎo)電層I上，由此第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I間接連接第一地線31。所述第二電源域52上可以設(shè)置有第二電源鉗位單元62，所述第二電源鉗位單元62的第一端與所述第二電源域52的第二電源線33連接，第二端與所述第二電源域52的第二地線34連接;所述第二電源域52上還設(shè)置有雙向ESD保護(hù)電路8，雙向ESD保護(hù)電路8的第一端與間接連接第一地線31的第一地焊盤23連接，第二端與第二地線34連接。
[0027]該第二電源域52上還可以設(shè)置有第二地焊盤22、第二電源焊盤302、第二輸入/輸出焊盤200，其中該第二地焊盤22與第二電源域52中的第二地線34連接，第二電源焊盤302與第二電源線33連接，第二輸入/輸出焊盤200與對應(yīng)的第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第一端連接，第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端可以連接第二電源線33，第三端可以連接第二地線34，且第二輸入/輸出焊盤200通過第二電源域52的內(nèi)部電路連接第二電源線33和第二地線34(圖中未示出)。
[0028]另外，該第一電源域51上還可以設(shè)置有第一電源鉗位單元61、第一電源焊盤300和第一輸入/輸出焊盤301，其中第一電源鉗位單元61的第一端連接第一電源域51的第一電源線32，第二端連接第一地線31，第一電源焊盤300連接第一電源線32，該第一輸入/輸出焊盤301與對應(yīng)的第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第一端連接，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第一電源線32，第三端可以連接第一地線31，且第一輸入/輸出焊盤301通過第一電源域51的內(nèi)部電路連接第一電源線32和第一地線31。
[0029]本實施例中，第二電源域52中任意一個焊盤(包括第一地焊盤23、第二電源焊盤302、第二地焊盤22和第二輸入/輸出焊盤200)與第一電源域51中的任意一個焊盤(包括第一地焊盤21、第一電源焊盤300和第一輸入/輸出焊盤301)之間都可能產(chǎn)生靜電泄放。
[0030]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向放電和反向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向放電和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸給第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。
[0031]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以首先從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，然后通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放；當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。
[0032]當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向放電和反向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第二地焊盤22傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向放電和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第二地焊盤22傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸給第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。
[0033]當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以首先從第二地焊盤22傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第二地焊盤22傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)ǎ允轨o電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。
[0034]當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8在檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)ǎ允轨o電流傳輸?shù)谝坏睾副P23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8在檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸?shù)谝坏睾副P23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再從第一地焊盤21傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，并傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。
[0035]當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301發(fā)生正向放電時，靜電流可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8在檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸?shù)谝坏睾副P23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再從第一地焊盤21傳輸至第一地線31，并從第一地線31通過第一輸入AtaESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8在檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸?shù)谝坏睾副P23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再從第一地焊盤21傳輸至第一地線31，此時在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，此后靜電流通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。
[0036]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。
[0037]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地焊盤23，此后靜電流通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第二電源線32，再傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。
[0038]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸給第一地焊盤23，此后靜電流首先通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸至第一地線31，然后通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。
[0039]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二地線34，雙向ESD保護(hù)電路檢測到第二地線34上的靜電流后雙向?qū)?，以使靜電流傳輸給第一地焊盤23，此后靜電流首先通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸至第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。
[0040]需要說明的是:在上述實施例中只提及了第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第二電源線33，第三端連接第二地線34，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第一電源線32，第三端連接第一地線31。實際上，在上述實施例中第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72和第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71還可以存在以下連接方式:
[0041 ] (I)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第二電源線33，第三端連接第二地線34，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第二電源線33，第三端連接第一地線31。其中，第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中的第一地焊盤21、第一電源焊盤300、第一輸入/輸出焊盤301之間的正向放電過程與圖1所示實施例中對應(yīng)的放電過程相同。第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中第一地焊盤21、第一電源焊盤300之間的負(fù)向放電過程與圖1所示實施例中對應(yīng)的放電過程相同。
[0042](2)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第二電源線33，第三端連接第一地線31，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第一電源線32，第三端連接第一地線31。其中，第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中的第一地焊盤21、第一電源焊盤300、第一輸入/輸出焊盤301之間的正向放電過程與圖1所示實施例中對應(yīng)的過程相同。當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21進(jìn)行負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第一地線31，從而傳輸至第一地焊盤21實現(xiàn)泄放;當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一電源焊盤300進(jìn)行負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，從而傳輸至第一電源焊盤300實現(xiàn)泄放；當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間進(jìn)行負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，從而通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301實現(xiàn)泄放。
[0043](3)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第二電源線33，第三端連接第一地線31，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第二電源線33，第三端連接第一地線31。其中，第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中的第一地焊盤21、第一電源焊盤300、第一輸入/輸出焊盤301之間的正向放電過程與圖1所示實施例中對應(yīng)的過程相同。第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中第一地焊盤21、第一電源焊盤300之間的負(fù)向放電過程與第(2)種方式中對應(yīng)的放電過程相同。
[0044](4)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第一電源線32，第三端連接第二地線34，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第一電源線32，第三端連接第一地線31。其中，當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中第一電源焊盤300之間進(jìn)行正向放電時，靜電流可以首先從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第一電源線32，然后傳輸至第一電源焊盤300實現(xiàn)泄放。第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中第一地焊盤21、第一電源焊盤300和第一輸入/輸出焊盤301之間進(jìn)行負(fù)向放電的過程與圖1所示實施例中對應(yīng)的放電過程相同。
[0045](5)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第一電源線32，第三端連接第二地線34，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第二電源線33，第三端連接第一地線31。其中，第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中第一電源焊盤300之間進(jìn)行正向放電的過程與第(4)種方式中對應(yīng)的放電過程相同。第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中第一地焊盤21、第一電源焊盤300之間進(jìn)行負(fù)向放電的過程與圖1所示實施例中對應(yīng)的放電過程相同。
[0046](6)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第一電源線32，第三端連接第一地線31，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第一電源線32，第三端連接第一地線31。其中，第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中第一電源焊盤300之間進(jìn)行正向放電的過程與第(4)種方式中對應(yīng)的放電過程相同。第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中第一地焊盤21、第一電源焊盤300、第一輸入/輸出焊盤301之間的負(fù)向放電過程與第(2)種方式中對應(yīng)的放電過程相同。
[0047](7)第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端連接第一電源線32，第三端連接第一地線31，第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端連接第二電源線33，第三端連接第一地線31。其中，第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中第一電源焊盤300之間進(jìn)行正向放電的過程與第(4)種方式中對應(yīng)的放電過程相同。第二輸入/輸出焊盤200分別與第一電源域51中第一地焊盤21、第一電源焊盤300之間的負(fù)向放電過程與第(2)種方式中對應(yīng)的放電過程相同。
[0048]由上述實施例可見，本發(fā)明通過設(shè)置導(dǎo)電層以及與導(dǎo)電層鍵合，并在第一電源域和第二電源域分別設(shè)置的與第一電源域中第一地線連接的第一地焊盤，可以為兩個電源域之間提供了一條低阻抗靜電泄流路徑，由于電源域之間的靜電泄放可以不通過片內(nèi)ESD總線形成泄放路徑，而是通過導(dǎo)電層形成一條低阻抗泄流通路，而導(dǎo)電層的阻抗非常小，幾乎不會隨著芯片面積增大而增大，因此本發(fā)明可以提高ESD保護(hù)能力，同時降低版圖面積，并且不會引起額外寄生電容的增加，適用于多電源域高速、大尺寸集成電路中的ESD設(shè)計應(yīng)用。
[0049]參見圖2，為本發(fā)明芯片ESD保護(hù)電路的另一個實施例結(jié)構(gòu)圖。圖2與圖1所示芯片ESD保護(hù)電路的區(qū)別在于，第二電源鉗位單元62的第二端連接第一地線31;且第一地焊盤23直接連接第一地線31，雙向ESD保護(hù)電路8的第一端連接第一地線31，第二端通過第二地焊盤22連接第二地線。
[0050]本實施例中，第二電源域52中任意一個焊盤(包括第一地焊盤23、第二電源焊盤302、第二地焊盤22和第二輸入/輸出焊盤200)與第一電源域51中的任意一個焊盤(包括第一地焊盤21、第一電源焊盤300和第一輸入/輸出焊盤301)之間都可能產(chǎn)生靜泄放。
[0051 ]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向放電和反向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放;或者靜電流可以從第一地焊盤23傳輸至第一地線31，再沿著第一地線31傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。當(dāng)芯片面積較大，第一地線較長時，由于相比于第一地線，導(dǎo)電層的阻抗更小，因此當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0052]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向放電和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸給第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放;或者靜電流可以首先從第一地焊盤23傳輸至第一地線31，然后沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61的第二端，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸給第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0053]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以首先從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，然后通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者靜電流可以首先從第一地焊盤23傳輸至第一地線31，然后沿著第一地線31傳輸至第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71，通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，由于相比于第一地線，導(dǎo)電層的阻抗更小，因此當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0054]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第一地焊盤23通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，再傳輸給第一地線31，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者靜電流可以首先從第一地焊盤23傳輸至第一地線31，然后沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸給第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0055]當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向放電和反向放電時，靜電流泄放路徑相同，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地焊盤22上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，然后通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放;或者也可以沿著第一地線31直接傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0056]當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向放電和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地焊盤22上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，并從第一地焊盤21傳輸至第一地線31，然后在第一電源鉗位單元300的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元300，在第一電源鉗位單元300的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0057]當(dāng)?shù)诙睾副P22與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生正向放電時，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地焊盤22上的靜電流后雙向?qū)ǎ詫㈧o電流傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0058]當(dāng)?shù)谝坏睾副P23與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生負(fù)向放電時，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地焊盤22上的靜電流后雙向?qū)ǎ詫㈧o電流傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0059]當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，然后在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0060]當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向和負(fù)向放電時，靜電流泄放路徑相同，可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0061 ]當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301發(fā)生正向放電時，靜電流可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0062]當(dāng)?shù)诙娫春副P302與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以首先從第二電源焊盤302傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0063]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二地線，從而傳輸給與第二地線連接的第二地焊盤22，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地焊盤22上的靜電流時雙向?qū)ǎ詫㈧o電流傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，然后通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放;或者可以沿著第一地線31傳輸至第一地焊盤21，從而在第一地焊盤21上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0064]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，并從第一電源線32傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放;或者可以首先沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，并從第一電源線32傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0065]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一電源焊盤300之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二地線，并從第二地線傳輸至第二地焊盤22，雙向ESD保護(hù)電路8檢測到第二地焊盤22上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地線31。靜電流在被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，并從第一電源線32傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放;或者可以首先沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，然后在第一電源鉗位單元61的作用下從第一地線31傳輸至第一電源線32，并從第一電源線32傳輸至第一電源焊盤300，從而在第一電源焊盤300上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0066]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生正向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二電源線33，在第二電源鉗位單元62的作用下靜電流從第二電源線33傳輸至第一地線31。靜電流被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，再通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者可以首先沿著第一地線31傳輸至第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71，然后通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0067]當(dāng)?shù)诙斎?輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301之間發(fā)生負(fù)向放電時，靜電流可以從第二輸入/輸出焊盤200通過第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72傳輸至第二地線，再從第二地線傳輸至第二地焊盤22，雙向ESD保護(hù)電路8在檢測到第二地焊盤22上的靜電流后雙向?qū)?，以將靜電流傳輸至第一地線31。靜電流被傳輸至第一地線31后，可以首先傳輸至第一地焊盤23，再通過導(dǎo)電層I傳輸至第一地焊盤21，然后傳輸至第一地線31，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放;或者可以首先沿著第一地線31傳輸至第一電源鉗位單元61，在第一電源鉗位單元61的作用下靜電流從第一地線31傳輸至第一電源線32，并通過第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301，從而在第一輸入/輸出焊盤301上實現(xiàn)泄放。同樣地，當(dāng)相比于第二種泄放路徑的阻抗，第一種泄放路徑的阻抗更小時，靜電流會優(yōu)選自動選擇第一種泄放路徑進(jìn)行泄放。
[0068]由上述兩個實施例可以看出，當(dāng)?shù)诙娫从?2的第一地焊盤23、第二地焊盤22和第二電源焊盤302中一個與第一電源域51的第一地焊盤21或第一電源焊盤300進(jìn)行正向放電和負(fù)向放電時，靜電泄放路徑相同。當(dāng)?shù)诙娫从?2的第一地焊盤23、第二地焊盤22和第二電源焊盤302中一個與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301進(jìn)行正向放電時，靜電流從該第一輸入/輸出焊盤301對應(yīng)的第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第三端輸入，通過該第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301進(jìn)行泄放；當(dāng)?shù)诙娫从?2的第一地焊盤23、第二地焊盤22和第二電源焊盤302中一個與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301進(jìn)行負(fù)向放電時，靜電流從該第一輸入/輸出焊盤301對應(yīng)的第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端輸入，通過該第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71傳輸至第一輸入/輸出焊盤301進(jìn)行泄放。
[0069]當(dāng)?shù)诙娫从?2的第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21或第一電源焊盤300進(jìn)行正向放電時，靜電流從第二輸入/輸出焊盤200傳輸至第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端；當(dāng)?shù)诙娫从?2的第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中的第一地焊盤21或第一電源焊盤300進(jìn)行負(fù)向放電時，靜電流從第二輸入/輸出焊盤200傳輸至第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第三端。當(dāng)?shù)诙娫从?2的第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301進(jìn)行正向放電時，靜電流從靜電流從第二輸入/輸出焊盤200傳輸至第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第二端，且從該第一輸入/輸出焊盤301對應(yīng)的第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第三端輸入；當(dāng)?shù)诙娫从?2的第二輸入/輸出焊盤200與第一電源域51中的第一輸入/輸出焊盤301進(jìn)行負(fù)向放電時，靜電流從靜電流從第二輸入/輸出焊盤200傳輸至第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72的第三端，且從該第一輸入/輸出焊盤301對應(yīng)的第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71的第二端輸入。
[0070]需要注意的是:本發(fā)明還適用于包括大于兩個電源域的情況，其中一個電源域可以作為至少一個其他電源域的第一電源域，也可以作為至少一個其他電源域的第二電源域。由于電源鉗位單元、輸入/輸出保護(hù)電路和雙向ESD保護(hù)電路在ESD芯片設(shè)計中屬于常用的電路元件，因而在此不再予以贅述。另外，針對圖2所示實施例中第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路72和第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路71可能存在的其他連接方式可參照圖1所示實施例，在此不再予以贅述。
[0071]由上述實施例可見，本發(fā)明通過設(shè)置導(dǎo)電層以及與導(dǎo)電層鍵合，并在第一電源域和第二電源域分別設(shè)置的與第一電源域中第一地線連接的第一地焊盤，可以為兩個電源域之間提供了一條低阻抗靜電泄流路徑，由于電源域之間的靜電泄放可以不是通過片內(nèi)ESD總線形成泄放路徑，而是通過導(dǎo)電層形成一條低阻抗泄流通路，而導(dǎo)電層的阻抗非常小，幾乎不會隨著芯片面積增大而增大，因此本發(fā)明可以提高ESD保護(hù)能力，同時降低版圖面積，并且不會引起額外寄生電容的增加，適用于多電源域高速、大尺寸集成電路中的ESD設(shè)計應(yīng)用。
[0072]本領(lǐng)域技術(shù)人員在考慮說明書及實踐這里公開的發(fā)明后，將容易想到本發(fā)明的其它實施方案。本申請旨在涵蓋本發(fā)明的任何變型、用途或者適應(yīng)性變化，這些變型、用途或者適應(yīng)性變化遵循本發(fā)明的一般性原理并包括本發(fā)明未公開的本技術(shù)領(lǐng)域中的公知常識或慣用技術(shù)手段。說明書和實施例僅被視為示例性的，本發(fā)明的真正范圍和精神由下面的權(quán)利要求指出。
[0073]應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明并不局限于上面已經(jīng)描述并在附圖中示出的精確結(jié)構(gòu)，并且可以在不脫離其范圍進(jìn)行各種修改和改變。本發(fā)明的范圍僅由所附的權(quán)利要求來限制。
【主權(quán)項】
1.一種芯片ESD保護(hù)電路，其特征在于，包括集成電路層和導(dǎo)電層，其中所述集成電路層中第一電源域和第二電源域上分別設(shè)置有與所述第一電源域的第一地線連接的第一地焊盤，且所述第一地焊盤鍵合在所述導(dǎo)電層上； 所述第二電源域上設(shè)置有第二電源鉗位單元，所述第二電源鉗位單元的第一端與所述第二電源域的第二電源線連接，第二端與所述第一地線或所述第二電源域的第二地線連接;所述第二電源域上還設(shè)置有雙向ESD保護(hù)電路，所述雙向ESD保護(hù)電路設(shè)置在所述第一地線連接與所述第二地線之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其特征在于，所述第一電源域上設(shè)置有第一電源鉗位單元，所述第一電源鉗位單元的第一端連接所述第一電源域的第一電源線，第二端連接所述第一地線。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電路，其特征在于，所述第二電源線與第二電源焊盤連接；所述第一電源線與第一電源焊盤連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其特征在于，所述第二電源域上還設(shè)置有第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路，所述第二輸入/輸出ESD保護(hù)電路的第一端連接所述第二電源域的第二輸入/輸出焊盤，第二端連接所述第一電源線或所述第二電源線，第三端連接所述第一地線或所述第二地線。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電路，其特征在于，所述第一電源域上還設(shè)置有第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路，所述第一輸入/輸出ESD保護(hù)電路的第一端連接所述第一電源域的第一輸入/輸出焊盤，第二端連接所述第一電源線或所述第二電源線，第三端連接所述第一地線。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其特征在于，所述第二電源域中的第一地焊盤位于所述第二電源域中各個第二輸入/輸出焊盤中間位置處。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其特征在于，所述導(dǎo)電層為熱沉，或者管殼襯底上涂敷的導(dǎo)電層。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電路，其特征在于，所述第二輸入/輸出焊盤通過所述第二電源域的內(nèi)部電路連接所述第二電源線和所述第二地線。9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電路，其特征在于，所述第一輸入/輸出焊盤通過所述第一電源域的內(nèi)部電路連接所述第一電源線和所述第一地線。
【文檔編號】H05F3/02GK105977938SQ201610437164
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年6月17日
【發(fā)明人】王妍, 劉濤, 陳光炳, 王育新, 付東兵, 楊煜軍, 陳良, 蒲陽
【申請人】中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所